D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器。所述光纤SPR传感器包括具有开口环形通道和曲面侧壁的D型光子晶体光纤；包括纤芯、空气孔、金属膜、TiO2层、温敏介质、液体分析物及完美匹配层。本发明专利技术由光子晶体光纤的纤芯和大小一致的空气孔排列而成，基底材料为石英，纤芯的中间的一个空气孔填有温敏介质PDMS，并在其外圈涂有金属薄膜；在开口环形的平面上有金属薄膜与TiO2层。温敏介质的折射率随着温度改变而变化，同时纳米金层表面自由电子共振产生吸收峰，其共振波长会发生偏移，通过观测共振波长的偏移过程实现对温度的传感测量，采用的是表面等离子共振原理。该传感器灵敏度高，检测范围宽，抗腐蚀能力强。抗腐蚀能力强。抗腐蚀能力强。

【技术实现步骤摘要】
D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器


[0001]本专利技术属于光纤表面等离子共振传感
，具体涉及D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器。

技术介绍

[0002]光纤表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)传感器对外界环境折射率的变化非常敏感，由于其具有灵敏度和分辨率高、能实时检测等优点而被广泛应用于各个领域。SPR是一个在界面处由于两种电磁波模式发生强烈耦合激发出表面等离子体激元波。由于入射光的共振峰位置对背景折射率非常敏感，因此，通过对共振峰位置的分析，能够有效的检测到由于各种因素引起的背景折射率变化。
[0003]表面等离子体共振(SPR)技术是近年来发展起来的一种新型传感检测方法。光纤 SPR传感器是SPR传感技术发展的自然延伸，是实现传感器集成化、微型化、高灵敏度、高可靠性的具体体现，SPR传感的基本条件是倏逝场渗透到金膜中。多年来，随着科技的不断发展，在光学传感技术中，表面等离子体共振技术应用于传感器的研究热度很高。基于SPR技术的传感器对外界环境折射率的变化十分敏感，由于其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器，如图1所示，包括光纤传感器本体，其特征在于：所述光纤传感器本体由光子晶体光纤(1)、纤芯(2)、空气孔(3)、TiO2层(4)、温敏介质PDMS(5)、分析物传感区(6)、金属膜(7)和完美匹配层(8)组成，整个光子晶体光纤呈D型开口环形通道形状，整个内部有着23个空气孔并且平行排列成五层，第一层在环形通道的左右两侧各有两个空气孔，第二层在两纤芯的外面一侧各有两个，在两纤芯之间有着一个温敏介质PDMS(5)，其外圈有着一层金属膜(7)，第三、四、五层分别有着六、五、四个空气孔并且平行排列，在D型的侧抛平面有着一个环形通道，其内部有着一层金属膜(7)，在其表面还覆盖着一层薄薄TiO2层(4)。2.根据权利要求1所述的D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器，其特征在于：通过有限元分析法进行分析，其折射率可根据Sellmeier方程算出。3.根据权利要求1所述的D型双芯光子晶体光纤双参量等离子体传感器，其特征在于：所述光子晶体光纤(1)的侧抛平面为D型开口环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖功利，王博文，杨宏艳，曾丽珍，苏佳鹏，林志雄，李海鸥，李琦，张法碧，傅涛，孙堂友，陈永和，刘兴鹏，王阳培华，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：