基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，它包括铝膜，所述铝膜上开设有多个圆通孔，多个圆通孔呈周期型六角密排排布在铝膜上。本发明专利技术通过合理的参数设置实现了两个等离激元模式的耦合，从而产生了透射共振峰，进而得到了一个高灵敏度的折射率传感器，通过检测待测物质的折射率实现折射率传感器性能的提高。另外本发明专利技术采用金属铝作为薄膜材料，材料成本相对低廉且易于集成。材料成本相对低廉且易于集成。材料成本相对低廉且易于集成。

【技术实现步骤摘要】
基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及光学传感
，具体地指一种基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]表面等离激元(surface plasmons，SPs)是金属表面的自由电子在入射电磁波的激发下产生的集体震荡所产生的一种特殊电磁模式，它又可以分为表面等离极化激元(surface plasmons polarization，SPP)与局域表面等离激元(localized surface plasmons resonance，LSPR)。表面等离极化激元(SPP)是电磁场与导体内的电子等离子体振荡的耦合作用激发的一种沿着介质和导体界面方向传播的电磁波，在沿界面垂直方向上呈现约束且倏逝衰减。局域表面等离激元(LSPR)是亚波长导电纳米结构的表面电子在入射光的照射下引起共振，这一共振能够使纳米结构的内外侧近场区域的电场放大。
[0003]光学异常透射(extraordinary optical transmission,EOT)现象是表面等离激元领域中最新颖的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，其特征在于：它包括铝膜(1)，所述铝膜(1)上开设有多个圆通孔(2)，多个圆通孔(2)呈周期型六角密排排布在铝膜(1)上。2.根据权利要求1所述的基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，其特征在于：圆通孔(2)和铝膜(1)的厚度均为d，d的取值范围为10～30nm。3.根据权利要求1所述的基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，其特征在于：周期型六角密排排布方式中的四个圆通孔(2)的圆心分别为矩形仿真区域(3)的四个顶点，周期型六角密排排布方式中的中心圆通孔(2)的圆心为矩形仿真区域(3)的重心，矩形仿真区域(3)的矩形仿真区域宽度方向上的周期为P，矩形仿真区域(3)的矩形仿真区域长度方向上的周期为圆通孔(2)的半径为R。4.根据权利要求3所述的基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，其特征在于：所述周期P与半径R之间的关系满足如下公式：R＝0.51P
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11。5.根据权利要求4所述的基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，其特征在于：各个圆通孔(2)的半径R均相等，半径R的取值范围为193～448nm；各个矩形仿真区域(3)的周期P均相等，且周期P的长度范围为400～900nm。6.根据权利要求3所述的基于光学异常透射的铝孔阵列折射率传感器，其特征在于：圆孔的占空比f，7.一种权利要求3所述传感器的制备方法，其特征在于，它包括如下步骤：步骤一：使用电子束蒸发镀膜系统完成铝膜的蒸镀，得到厚度...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜庆国，陈炎鑫，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：