一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，涉及深反应离子刻蚀加工技术领域，为解决现有深反应离子刻蚀加工掩膜图形作业时对光线角度调节效果一般，对此我们需要对其进行加强的问题。所述直角补偿机构本体的外壁安装有直角管体，且直角管体为L型，所述直角管体的内部安装有第二电动转轴，所述第二电动转轴的一端安装有镜架，所述镜架的前端安装有反射镜体，所述直角管体的一端安装有管体入口，所述直角管体的另一端安装有管体出口，所述直角管体上端的内壁安装有第一电动转轴，且第一电动转轴安装有两组，所述第一电动转轴的一端安装有第一电动挡板，所述管体入口的上方安装有光源箱。所述管体入口的上方安装有光源箱。所述管体入口的上方安装有光源箱。

【技术实现步骤摘要】
一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置


[0001]本技术涉及深反应离子刻蚀加工
，具体为一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置。

技术介绍

[0002]深反应离子刻蚀加工装置，是以离子诱导化学反应为基础来达到刻蚀效果的设备。
[0003]但是，现有深反应离子刻蚀加工掩膜图形作业时对光线角度调节效果一般，对此我们需要对其进行加强的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有深反应离子刻蚀加工掩膜图形作业时对光线角度调节效果一般，对此我们需要对其进行加强的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，包括直角补偿机构本体，所述直角补偿机构本体的外壁安装有直角管体，且直角管体为L型，所述直角管体的内部安装有第二电动转轴，所述第二电动转轴的一端安装有镜架，所述镜架的前端安装有反射镜体，所述直角管体的一端安装有管体入口，所述直角管体的另一端安装有管体出口，所述直角管体上端的内壁安装有第一电动转轴，且第一电动转轴安装有两组，所述第一电动转轴的一端安装有第一电动挡板，所述管体入口的上方安装有光源箱，所述光源箱的内部安装有光源发生机构，所述光源发生机构的下端安装有光源口。
[0006]优选的，所述第一电动转轴下方的一侧安装有光线感应器，所述第一电动转轴的下方安装有光线通道。
[0007]优选的，所述管体出口两侧的外壁均安装有出口安装件，且出口安装件安装有四个，所述出口安装件的外壁安装有安装螺孔。
[0008]优选的，所述直角管体下表面的两侧均安装有底部连接件，所述底部连接件的外壁安装有连接螺孔。
[0009]优选的，所述直角管体后端面的外壁安装有可拆卸板。
[0010]优选的，所述光源箱前端面的外壁安装有箱体检修盖，所述箱体检修盖外壁的四个角均安装有检修盖螺丝。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过光源发生机构与光源口将光源从上至下发出，光线从管体入口进入内部，第一电动转轴与第一电动挡板用于控制光线入口处的开关情况，并且能够根据角度起到对光线进行部分阻挡的效果，光线到达直角管体直角处后，会在反射镜体处向管
体出口处反射而出，反射镜体的反射角度可通过第二电动转轴来进行调节，使整个机构对光线的可调性得到提高，相较于一般的直角补偿机构，本技术提高了光线角度的可调效果，使整体设备更加适合用户在深反应离子刻蚀加工掩膜图形作业时使用。
[0013]2、光线感应器作用在光线通道处，其能够对从上至下的光线进行感应检测，当上方发出光线而光线感应器未能够接受到光线时，则能够通过对上方第一电动挡板的位置角度进行调节来避免上方光线受到阻挡，这样做的好处是提高了光线照射时的感应检测能力，使整体更加的智能。
[0014]3、出口安装件与安装螺孔用于和接收光线的物件进行组合安装使用，底部连接件和连接螺孔用于将整个机构进行固定，使得用户组合安装时更加的方便，放置使用时也更加的稳固。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的光源箱局部结构示意图；
[0017]图3为本技术的直角管体内部结构示意图；
[0018]图中：1、直角补偿机构本体；2、直角管体；3、光源箱；4、箱体检修盖；5、底部连接件；6、连接螺孔；7、管体出口；8、出口安装件；9、安装螺孔；10、管体入口；11、光源发生机构；12、光源口；13、第一电动转轴；14、第一电动挡板；15、光线感应器；16、光线通道；17、第二电动转轴；18、镜架；19、反射镜体；20、可拆卸板；21、检修盖螺丝。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，包括直角补偿机构本体1，直角补偿机构本体1的外壁安装有直角管体2，且直角管体2为L型，直角管体2的内部安装有第二电动转轴17，第二电动转轴17的一端安装有镜架18，镜架18的前端安装有反射镜体19，直角管体2的一端安装有管体入口10，直角管体2的另一端安装有管体出口7，直角管体2上端的内壁安装有第一电动转轴13，且第一电动转轴13安装有两组，第一电动转轴13的一端安装有第一电动挡板14，管体入口10的上方安装有光源箱3，光源箱3的内部安装有光源发生机构11，光源发生机构11的下端安装有光源口12。
[0021]进一步，第一电动转轴13下方的一侧安装有光线感应器15，第一电动转轴13的下方安装有光线通道16，光线感应器15作用在光线通道16处，其能够对从上至下的光线进行感应检测，当上方发出光线而光线感应器15未能够接受到光线时，则能够通过对上方第一电动挡板14的位置角度进行调节来避免上方光线受到阻挡，这样做的好处是提高了光线照射时的感应检测能力，使整体更加的智能。
[0022]进一步，管体出口7两侧的外壁均安装有出口安装件8，且出口安装件8安装有四个，出口安装件8的外壁安装有安装螺孔9，出口安装件8与安装螺孔9用于和接收光线的物
件进行组合安装使用。
[0023]进一步，直角管体2下表面的两侧均安装有底部连接件5，底部连接件5的外壁安装有连接螺孔6，底部连接件5和连接螺孔6用于将整个机构进行固定，使得用户组合安装时更加的方便，放置使用时也更加的稳固。
[0024]进一步，直角管体2后端面的外壁安装有可拆卸板20，可拆卸板20用于方便用户对反射镜体19处进行检查维修。
[0025]进一步，光源箱3前端面的外壁安装有箱体检修盖4，箱体检修盖4外壁的四个角均安装有检修盖螺丝21，箱体检修盖4与检修盖螺丝21用于方便用户对光源箱3进行检修。
[0026]工作原理：使用时，通过光源发生机构11与光源口12将光源从上至下发出，光线从管体入口10进入内部，第一电动转轴13与第一电动挡板14用于控制光线入口处的开关情况，并且能够根据角度起到对光线进行部分阻挡的效果，光线到达直角管体2直角处后，会在反射镜体19处向管体出口7处反射而出，反射镜体19的反射角度可通过第二电动转轴17来进行调节，使整个机构对光线的可调性得到提高，光线感应器15作用在光线通道16处，其能够对从上至下的光线进行感应检测，当上方发出光线而光线感应器15未能够接受到光线时，则能够通过对上方第一电动挡板14的位置角度进行调节来避免上方光线受到阻挡，这样做的好处是提高了光线照射时的感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，包括直角补偿机构本体(1)，其特征在于：所述直角补偿机构本体(1)的外壁安装有直角管体(2)，且直角管体(2)为L型，所述直角管体(2)的内部安装有第二电动转轴(17)，所述第二电动转轴(17)的一端安装有镜架(18)，所述镜架(18)的前端安装有反射镜体(19)，所述直角管体(2)的一端安装有管体入口(10)，所述直角管体(2)的另一端安装有管体出口(7)，所述直角管体(2)上端的内壁安装有第一电动转轴(13)，且第一电动转轴(13)安装有两组，所述第一电动转轴(13)的一端安装有第一电动挡板(14)，所述管体入口(10)的上方安装有光源箱(3)，所述光源箱(3)的内部安装有光源发生机构(11)，所述光源发生机构(11)的下端安装有光源口(12)。2.根据权利要求1所述的一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，其特征在于：所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐波，何野，胡启俊，
申请(专利权)人：江苏英特神斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：