本发明公开了一种超声波室内三维定位系统及方法。所述的超声波室内三维定位系统包括中央控制模块、发射模块和接收模块，所述中央控制模块包含中央控制单元、声速修正模块和无线通讯模块，所述的发射模块包括发射控制单元、超声发射模块和无线通讯模块，所...

本发明公开了一种压电微机械超声换能器阵列，包括衬底层、支撑层和结构层，其中结构层由上电极、压电层、下电极构成，部分刻蚀后与支撑层形成一组振动薄膜，衬底层部分刻蚀后形成与振动薄膜相对应的一组空腔结构，构成由PMUT振元组成的阵列，所述PM...

本实用新型提供一种晶圆单面腐蚀保护夹具，包括吸附组件以及防腐组件，吸附组件包括真空吸盘、固定开设在真空吸盘一侧外缘面的导气槽、分别贯穿真空吸盘的导气槽过孔以及导气孔，防腐组件包括沿导气槽几何中心位置向外周方向延伸出的一密封卡槽。本实用新...

本实用新型提供一种压电微机械超声换能器封装结构，包括下电极、压电层、上电极、机械层、衬底层以及过渡层，下电极、压电层以及上电极自下而上由SOI材料依次沉积且设于机械层外缘面；衬底层与下电极以机械层相对称，且固定设于机械层另一外缘面；衬底...

本实用新型提供一种带有多个芯片的薄膜压电马达，包括转子、薄膜压电材料以及支撑组件，支撑组件外缘面设有薄膜压电材料，薄膜压电材料远离与支撑组件连接处的外缘面设有复数马达结构，每个马达结构内部均配合安装有转子，用于通过外部驱动电压作用以迫使...

本实用新型公开了一种基于深反应离子刻蚀加工掩膜图形用直角补偿装置，涉及深反应离子刻蚀加工技术领域，为解决现有深反应离子刻蚀加工掩膜图形作业时对光线角度调节效果一般，对此我们需要对其进行加强的问题。所述直角补偿机构本体的外壁安装有直角管体...

本实用新型公开了一种深反应离子刻蚀用可动结构的牺牲层保护装置，涉及深反应离子刻蚀技术领域，为解决现有深反应离子刻蚀用可动结构在取出时会被液体造成流动损坏，导致牺牲层进一步损坏的问题。所述连接柱的外部设置有防护伸缩套，所述防护伸缩套的两侧...

本发明公开了一种基于PMUT的图像声呐接收阵及其制造方法。所述的图像声呐接收阵包括承压壳体、PMUT模块、PCB转接板和电子仓；所述的PMUT模块在PCB转接板上均匀分布组成阵列，通过引脚焊盘和PCB转接板进行连接，所述的PCB转接板和...

本实用新型公开了一种集成压电薄膜芯片和减速器的薄膜压电马达，包括压电薄膜芯片，一组转子齿轮，以及中心齿轮和/或内齿圈；所述的压电薄膜芯片上包含一组薄膜压电马达的定子，所述的定子与转子齿轮底部的转子平台形成旋转式压电马达单元；所述转子齿轮...

本发明公开了一种集成压电薄膜芯片和减速器的薄膜压电马达，包括压电薄膜芯片，一组转子齿轮，以及中心齿轮和/或内齿圈；所述的压电薄膜芯片上包含一组薄膜压电马达的定子，所述的定子与转子齿轮底部的转子平台形成旋转式压电马达单元；所述转子齿轮，中...

本发明公开了一种多频自聚焦微机械超声换能器，包括二种以上频率的振元，相同频率的振元组成一个振元阵列；任一所述的振元阵列由至少一组圆环状排列的振元组成，所述振元阵列的圆环中心相互重合；并且任一所述的振元所处圆环半径由公式(1)确定。本发明...

本发明提供了一种硅基绝缘层上多晶硅与玻璃的阳极键合方法，所述方法为：(1)在硅衬底面上沉积一层绝缘层；(2)以光刻胶作掩膜，对绝缘层进行刻蚀，将硅衬底面与多晶硅将要连通的区域暴露出来形成开槽区；(3)在开设有开槽区的硅衬底面的绝缘层上沉...

本发明公开了一种基于硅硅直接键合的压力传感器，包括一个具有浅槽（８）的硅衬底（１），硅衬底（１）上为单晶硅应力薄膜（２），硅衬底（１）与应力薄膜（２）间为二氧化硅层（３）；在应力薄膜（２）上为四个Ｐ型单晶硅压阻（４），应力薄膜（２）与压...

本发明公开了一种多轴惯性传感器及测量多轴平动和转动加速度的方法。传感器包括：一个可沿主轴运动的框架；一对或多对感应质量块，每一个感应质量块都由内弹性结构悬挂于框架上，内弹性结构的对称轴和所挂感应质量块的对称轴一致；一外弹性结构，将框架悬...

本发明公开了一种基于ＭＥＭＳ技术的集成五轴运动传感器，包括：一个可沿主轴运动的框架；两对相同的感应质量块，每一个感应质量块都由内弹性结构悬挂于框架上；一外弹性结构，将框架悬挂于在传感器平台上；以及分别与两对感应质量块相连以形成电容传感器...

本发明提供一种全血乳酸／血糖测试条以及封装该测试条的一体化采血针。测试条是一种电化学生物传感器，包括测试电极片、盖片和反应试剂层，测试电极片与盖片之间形成两端开放的毛细管腔体，在毛细管腔体内壁上形成反应试剂层。封装测试条的一体化采血针，...

本发明提出了一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪，包括光纤连接器、入射狭缝、反射镜、闪耀光栅、聚焦镜和探测器等组成部分。反射镜采用微电子机械系统技术（ＭＥＭＳ）制作而成，其镜面可在外加信号的控制下周期性运动；闪耀光栅为色散元件，与反射...