一种鼓泡供源柜制造技术

本实用新型专利技术涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种鼓泡供源柜，包括柜体，柜体中设有水平隔板，水平隔板将柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，上控制柜中设有竖向隔板，竖向隔板将上控制柜分隔成内控制区和外控制区，外控制区和下源瓶柜中均设有烟雾探测器，外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，外控制区中设有气体检测器，下源瓶柜中设有瓶体固定组件，柜体的底部安装有移动装置。与现有技术相比，本实用新型专利技术结构紧凑，将空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置集成于一体，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，很大程度上解决了源瓶存储放置及运输的问题，安全性高，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种鼓泡供源柜


[0001]本技术涉及特殊供气源瓶储存
，特别涉及一种鼓泡供源柜。

技术介绍

[0002]在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气供液系统。在供液系统中源瓶的存放是一个比较关键的问题，源液瓶的位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间的问题，在储存过程中会因为主观或客观问题造成气体的泄露，但是现有的储存柜中，不能够方便的将源液瓶安装在柜体中并保证其稳定，且柜体的防爆型与封闭性不够好，适用性与推广性不够好。

技术实现思路

[0003]针对以上述
技术介绍
的不足，本技术提供一种鼓泡供源柜。
[0004]本技术采用的技术方案如下：一种鼓泡供源柜，关键在于：包括柜体，所述柜体中设有水平隔板，所述水平隔板将所述柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，所述上控制柜中设有竖向隔板，所述竖向隔板将所述上控制柜分隔成内控制区和外控制区，所述外控制区和所述下源瓶柜中均设有烟雾探测器，所述外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，所述外控制区中设有气体检测器，所述下源瓶柜中设有瓶体固定组件，所述柜体的底部安装有移动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种鼓泡供源柜，其特征在于：包括柜体(1)，所述柜体(1)中设有水平隔板，所述水平隔板将所述柜体(1)分隔成上控制柜(11)和下源瓶柜(12)，所述上控制柜(11)中设有竖向隔板，所述竖向隔板将所述上控制柜(11)分隔成内控制区和外控制区，所述外控制区和所述下源瓶柜(12)中均设有烟雾探测器(2)，所述外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，所述外控制区中设有气体检测器(3)，所述下源瓶柜(12)中设有瓶体固定组件(5)，所述柜体(1)的底部安装有移动装置(6)。2.根据权利要求1所述的一种鼓泡供源柜，其特征在于：所述外控制区顶部安装有排风阀(7)、指示灯(4)和负压表(8)，所述排风阀(7)管道连接所述尾气处理装置。3.根据权利要求1所述的一种鼓泡供源柜，其特征在于：所述内控制区设有控制器，所述外控制区设有手动电控面板(10)，所述控制器和所述手动电控面板(10)电连接。4.根据权利要求1所述的一种鼓泡供源柜，其特征在于：所述瓶体固...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑少宾，甘泽光，黄加政，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：