一种鼓泡供源柜制造技术

本实用新型专利技术涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种鼓泡供源柜，包括柜体，柜体中设有水平隔板，水平隔板将柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，上控制柜中设有竖向隔板，竖向隔板将上控制柜分隔成内控制区和外控制区，外控制区和下源瓶柜中均设有烟雾探测器，外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，外控制区中设有气体检测器，下源瓶柜中设有瓶体固定组件，柜体的底部安装有移动装置。与现有技术相比，本实用新型专利技术结构紧凑，将空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置集成于一体，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，很大程度上解决了源瓶存储放置及运输的问题，安全性高，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种鼓泡供源柜


[0001]本技术涉及特殊供气源瓶储存
，特别涉及一种鼓泡供源柜。

技术介绍

[0002]在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气供液系统。在供液系统中源瓶的存放是一个比较关键的问题，源液瓶的位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间的问题，在储存过程中会因为主观或客观问题造成气体的泄露，但是现有的储存柜中，不能够方便的将源液瓶安装在柜体中并保证其稳定，且柜体的防爆型与封闭性不够好，适用性与推广性不够好。

技术实现思路

[0003]针对以上述
技术介绍
的不足，本技术提供一种鼓泡供源柜。
[0004]本技术采用的技术方案如下：一种鼓泡供源柜，关键在于：包括柜体，所述柜体中设有水平隔板，所述水平隔板将所述柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，所述上控制柜中设有竖向隔板，所述竖向隔板将所述上控制柜分隔成内控制区和外控制区，所述外控制区和所述下源瓶柜中均设有烟雾探测器，所述外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，所述外控制区中设有气体检测器，所述下源瓶柜中设有瓶体固定组件，所述柜体的底部安装有移动装置。
[0005]优选的，所述外控制区顶部安装有排风阀、指示灯和负压表，所述排风阀管道连接所述尾气处理装置。该方案的效果是可以实时显示储气柜内的负压值和直观的告知工作人员气柜中气体泄露情况，并保证柜体内有可能泄露的气体经过尾气处理后及时排放出去，避免危险情况发生。
[0006]优选的，所述内控制区设有控制器，所述外控制区设有手动电控面板，所述控制器和所述手动电控面板电连接。
[0007]优选的，所述瓶体固定组件包括固定设置在所述下源瓶柜柜壁上的固定座和设置在下源瓶柜底面上的限位槽，所述固定座的一端活动连接有环形紧固件，所述固定座的另一端开设有锁紧槽，所述环形紧固件的自由端插入所述锁紧槽中，并与所述锁紧槽的槽壁紧密接触。该方案的效果是可以通过调节环形紧固件伸入锁紧槽的深度，将不同大小的源瓶固定在柜体中。
[0008]优选的，所述下源瓶柜的内壁设有防火夹层，所述防火夹层中填充防火棉。该方案的效果是提高柜体的防火性能，避免火势扩大。
[0009]优选的，所述移动装置包括四个滑轮，四个所述滑轮分别设置在所述柜体的四角处，所述柜体的外侧面转动连接有四个支撑腿，所述支撑腿与所述滑轮一一对应设置。该方案的效果是可以将柜体移动至需要的位置，当需要停放时将支撑腿旋转放下即可，方便柜体运输及停放。
[0010]优选的，所述上控制柜和下源瓶柜分别安装有上柜门和下柜门，所述上柜门开设
有进气风口，所述进气风口覆盖有滤网。该方案的效果是保证储气柜在使用过程中空气流通及保证柜内洁净。
[0011]有益效果：与现有技术相比，本技术提供的一种鼓泡供源柜，结构紧凑，且功能齐全，将空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置集成于一体，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，很大程度上解决了源瓶存储放置及运输的问题，防止特殊气体泄露，极大保证了安全性，提高了使用性，并且大大减少了设备的占地面积，节约工厂建设成本。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的另一使用状态图；
[0014]图3为图2的A
‑
A剖视图。
具体实施方式
[0015]为使本领域技术人员更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作详细说明。
[0016]实施例1
[0017]如图1所示，一种鼓泡供源柜，包括柜体1，所述柜体1中设有水平隔板，所述水平隔板将所述柜体1分隔成上控制柜11和下源瓶柜12，所述上控制柜11和下源瓶柜12分别安装有上柜门和下柜门，所述上柜门开设有进气风口，所述进气风口覆盖有滤网9，所述上控制柜11中设有竖向隔板，所述竖向隔板将所述上控制柜11分隔成内控制区和外控制区，所述外控制区和所述下源瓶柜12中均设有烟雾探测器2，所述外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，所述外控制区中设有气体检测器3，所述下源瓶柜12中设有瓶体固定组件5，所述柜体1的底部安装有移动装置6。
[0018]实施例2
[0019]如图1
‑
3所示，一种鼓泡供源柜，包括柜体1，所述柜体1中设有水平隔板，所述水平隔板将所述柜体1分隔成上控制柜11和下源瓶柜12，所述上控制柜11和下源瓶柜12分别安装有上柜门和下柜门，所述上柜门开设有进气风口，所述进气风口覆盖有滤网9，所述上控制柜11中设有竖向隔板，所述竖向隔板将所述上控制柜11分隔成内控制区和外控制区，所述外控制区和所述下源瓶柜12中均设有烟雾探测器2，所述外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，所述外控制区中设有气体检测器3，所述下源瓶柜12中设有瓶体固定组件5，所述柜体1的底部安装有移动装置6；所述外控制区顶部安装有排风阀7、指示灯4和负压表8，所述排风阀7管道连接所述尾气处理装置，尾气处理装置包括与排风阀依次管道连接的尾气吸收器和风机；所述内控制区设有控制器，所述外控制区设有手动电控面板10，所述控制器和所述手动电控面板10电连接；所述瓶体固定组件5包括固定设置在所述下源瓶柜12柜壁上的固定座51和设置在下源瓶柜12底面上的限位槽53，所述固定座51的一端活动连接有环形紧固件52，所述固定座51的另一端开设有锁紧槽，所述环形紧固件52的自由端插入所述锁紧槽中，并与所述锁紧槽的槽壁紧密接触；所述下源瓶柜12的内壁设有防火夹层，所述防火夹层中填充防火棉13；所述移动装置6包括四个滑轮61，四个所述滑轮61分别设置在所述
柜体1的四角处，所述柜体1的外侧面转动连接有四个支撑腿62，所述支撑腿62与所述滑轮61一一对应设置。
[0020]工作原理：使用过程中，当气体检测器检测到柜内气体浓度达到预设值或当烟雾探测器检测到柜内烟雾，通过控制器控制指示灯、和风机工作，关闭源瓶，或打开上柜门，手动控制手动电控面板的开关，使风机工作，关闭源瓶并将柜体内泄露的气体及时排出，及避免柜内气体继续泄露增大火势，而导致危险情况进一步扩大。
[0021]最后需要说明，上述描述仅为本技术的优选实施例，本领域的技术人员在本技术的启示下，在不违背本技术宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种鼓泡供源柜，其特征在于：包括柜体(1)，所述柜体(1)中设有水平隔板，所述水平隔板将所述柜体(1)分隔成上控制柜(11)和下源瓶柜(12)，所述上控制柜(11)中设有竖向隔板，所述竖向隔板将所述上控制柜(11)分隔成内控制区和外控制区，所述外控制区和所述下源瓶柜(12)中均设有烟雾探测器(2)，所述外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，所述外控制区中设有气体检测器(3)，所述下源瓶柜(12)中设有瓶体固定组件(5)，所述柜体(1)的底部安装有移动装置(6)。2.根据权利要求1所述的一种鼓泡供源柜，其特征在于：所述外控制区顶部安装有排风阀(7)、指示灯(4)和负压表(8)，所述排风阀(7)管道连接所述尾气处理装置。3.根据权利要求1所述的一种鼓泡供源柜，其特征在于：所述内控制区设有控制器，所述外控制区设有手动电控面板(10)，所述控制器和所述手动电控面板(10)电连接。4.根据权利要求1所述的一种鼓泡供源柜，其特征在于：所述瓶体固...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑少宾，甘泽光，黄加政，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：