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本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种鼓泡供源柜，包括柜体，柜体中设有水平隔板，水平隔板将柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，上控制柜中设有竖向隔板，竖向隔板将上控制柜分隔成内控制区和外控制区，外控制区和下源瓶柜中均设有烟雾探测器，...
该专利属于深圳融科半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳融科半导体装备有限公司授权不得商用。

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