一种可调整观测角度的光学探头固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光学测量技术领域，特别涉及一种可调整观测角度的光学探头固定装置，包括底座，阻尼转轴及探头支撑杆，所述阻尼转轴的上部与所述探头支撑杆固定连接，所述阻尼转轴的下部与所述底座固定；所述探头支撑杆包括杆体，所述杆体的下部开设有第一螺孔，固定螺丝穿过所述第一螺孔与所述阻尼转轴上部固定连接，所述杆体的上部螺纹连接有锁定螺母。与现有技术相比，本实用新型专利技术提供的一种可调整观测角度的光学探头固定装置，结构简单，通过锁定螺母与探头本体可拆卸连接，通过转动阻尼转轴即可快速调整探头的监测角度以满足实际需求，操作方便、安装牢固，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种可调整观测角度的光学探头固定装置


[0001]本技术涉及光学测量
，特别涉及一种可调整观测角度的光学探头固定装置。

技术介绍

[0002]随着光电技术、机械技术的迅猛发展，其交叉技术衍生出光学测量这种高精科技，结合计算机、光发射光谱学等技术，已经广泛应用于半导体制造领域，而光学测量前端设备准直器光学探头是不可或缺的重要组成部分。光学探头接收光信号作为系统的第一个环节，将其平稳固定，以及可根据实际需求调整监测角度尤为重要。传统的探头安装时，平板型底座及丝杆型支撑容易出现不牢固及晃动现象；同时，定位安装好后探头的位置也随之固定，对于平行的多观测点需求不能快速调整观测角度，这些都会影响测量的准确性和工作效率。

技术实现思路

[0003]为解决以上技术问题，本技术提供一种可调整观测角度的光学探头固定装置。
[0004]本技术采用的技术方案如下：一种可调整观测角度的光学探头固定装置，关键在于：包括底座，阻尼转轴及探头支撑杆，所述阻尼转轴的上部与所述探头支撑杆固定连接，所述阻尼转轴的下部与所述底座固定；所述探头支撑杆包括杆体，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调整观测角度的光学探头固定装置，其特征在于：包括底座(1)，阻尼转轴(3)及探头支撑杆(4)，所述阻尼转轴(3)的上部与所述探头支撑杆(4)固定连接，所述阻尼转轴(3)的下部与所述底座(1)固定；所述探头支撑杆(4)包括杆体(41)，所述杆体(41)的下部开设有第一螺孔(42)，固定螺丝(5)穿过所述第一螺孔(42)与所述阻尼转轴(3)上部固定连接，所述杆体(41)的上部螺纹连接有锁定螺母(43)。2.根据权利要求1所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置，其特征在于：所述阻尼转轴(3)为一字型阻尼转轴。3.根据权利要求1所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置，其特征在于：还包括底座固定杆(2)，所述底座固定杆(2)的下端与所述底座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张自强，郑圣弘，施文俊，聂庆庆，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：