一种源瓶输送柜制造技术

本实用新型专利技术涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种源瓶输送柜，包括柜体及柜门，所述柜体的顶部设有电气控制箱和指示灯，所述柜体中设有源瓶，所述源瓶的上方设有阀门控制组件，所述柜体管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯和阀门控制组件均与所述电气控制箱电连接。与现有技术相比，本实用新型专利技术提供的一种源瓶输送柜，集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置于一体的设备，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示。很大程度上解决了双瓶源液柜的存储放置问题，防止特殊气体泄露，使得源液柜变得方便安全，并且大大减少了设备的占地面积，节约工厂建设成本。节约工厂建设成本。节约工厂建设成本。

【技术实现步骤摘要】
一种源瓶输送柜


[0001]本技术涉及特殊供气源瓶储存
，特别涉及一种源瓶输送柜。

技术介绍

[0002]在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气供液系统。在供液系统中源瓶的存放是一个比较关键的问题，源液瓶的位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间的问题，在储存过程中会因为主观或客观问题造成气体的泄露，但是现有的储存柜中，不能够方便的将源液瓶安装在柜体中并保证其稳定，且柜体的防爆型与封闭性不够好，适用性与推广性不够好。

技术实现思路

[0003]针对以上述
技术介绍
的不足，本技术提供一种源瓶输送柜。
[0004]本技术采用的技术方案如下：一种源瓶输送柜，关键在于：包括柜体及柜门，所述柜体的顶部设有电气控制箱和指示灯，所述柜体中设有源瓶，所述源瓶的上方设有阀门控制组件，所述柜体管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯和阀门控制组件均与所述电气控制箱电连接。
[0005]优选的，所述源瓶为两个，其中一个为备用瓶。该方案的效果是保证源瓶可持续供应液体。
[0006]优选的，所述柜体顶部安装有排风阀和气体传感器，所述排风阀管道连接所述尾气处理装置。该方案的效果是以保证柜体内有可能泄露的气体经过尾气处理后及时排放出去，避免危险情况发生。
[0007]优选的，所述阀门控制组件包括与所述源瓶的瓶头阀连接的供气管路，所述供气管路上设有电磁阀。该方案的效果是可以用于控制源瓶的启闭。
[0008]优选的，所述柜体的顶部安装有负压表。该方案的效果是可以实时显示储气柜内的负压值。
[0009]优选的，所述指示灯为三色指示灯。该方案的效果是可以直观的告知工作人员气柜中气体泄露情况。
[0010]优选的，所述柜门开设有进气风口，所述进气风口覆盖有滤网。该方案的效果是保证储气柜在使用过程中空气流通及保证柜内洁净。
[0011]有益效果：与现有技术相比，本技术提供的一种源瓶输送柜，集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置于一体的设备，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，很大程度上解决了双瓶源液柜的存储放置问题，防止特殊气体泄露，使得源液柜变得方便安全，并且大大减少了设备的占地面积，节约工厂建设成本。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0013]为使本领域技术人员更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作详细说明。
[0014]实施例1
[0015]如图1所示，一种源瓶输送柜，包括柜体1及柜门2，所述柜体1的顶部设有电气控制箱3和指示灯4，所述柜体1中设有源瓶5，所述源瓶5的上方设有阀门控制组件6，所述柜体1管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯4和阀门控制组件6均与所述电气控制箱3电连接。
[0016]实施例2
[0017]如图1所示，一种源瓶输送柜，包括柜体1及柜门2，所述柜体1的顶部设有电气控制箱3、三色指示灯4、负压表8、排风阀7和气体传感器，所述排风阀7管道连接尾气处理装置，所述柜体1中设有两个源瓶5，其中一个为备用瓶，所述源瓶5的上方设有阀门控制组件6，所述柜体1管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯4和阀门控制组件6均与所述电气控制箱3电连接，所述柜门2开设有进气风口，所述进气风口覆盖有滤网9；所述阀门控制组件6包括与所述源瓶5的瓶头阀连接的供气管路61，所述供气管路61上设有电磁阀62；尾气处理装置包括与排风阀依次管道连接的尾气吸收器和风机。
[0018]工作原理：使用过程中，当气体传感器检测到柜内气体浓度达到预设值，电气控制箱会控制三色指示灯、电磁阀和风机工作，关闭源瓶，并将柜体内泄露的气体及时排出，避免避免危险情况发生。
[0019]最后需要说明，上述描述仅为本技术的优选实施例，本领域的技术人员在本技术的启示下，在不违背本技术宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种源瓶输送柜，其特征在于：包括柜体(1)及柜门(2)，所述柜体(1)的顶部设有电气控制箱(3)和指示灯(4)，所述柜体(1)中设有源瓶(5)，所述源瓶(5)的上方设有阀门控制组件(6)，所述柜体(1)管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯(4)和阀门控制组件(6)均与所述电气控制箱(3)电连接。2.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述源瓶(5)为两个，其中一个为备用瓶。3.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述柜体(1)顶部安装有排风阀(7)和气体传感器，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑少宾，甘泽光，胡云霞，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：