一种背面对准装置制造方法及图纸

技术编号:30840624 阅读:33 留言:0更新日期:2021-11-18 14:33
一种用于直写式光刻设备确定基底精确位置的背面对准装置,该光刻设备的运动载台装置包括装载部和设置于装载部下方的多轴运动台,装载部与多轴运动台之间有间隙;基底放置于装载部上,其背面设置有背面对准标记,装载部上对应于基底的背面对准标记设有透光孔;背面对准装置具体包括成像部、照明部、光路转折部和镜筒,成像部、照明部和光路转折部通过镜筒连接;光路转折部位于透光孔下方,镜筒部分位于间隙。通过使用镜筒将背面对准装置部分设于装载部与多轴运动台之间的间隙,便于安装拆卸。便于安装拆卸。便于安装拆卸。

【技术实现步骤摘要】
一种背面对准装置


[0001]本技术涉及直写式光刻
,具体是一种背面对准装置。

技术介绍

[0002]随着电子信息技术的飞速发展,诸如手机、平板、电脑、电视等数码产品的使用已处处可见,这些数码产品的重要组成部件可能包括集成芯片、电路板、显示面板、半导体器件等。对这些组成部件日益增长的需求提升,使得对其加工周期要求越来越短。光刻加工用于在上述各种基底表面上印刷具有特征的构图,是加工周期的重要一环。而光刻加工分为掩模式光刻和直写式光刻,掩模式光刻虽然精度高,但掩模板制作要求高、周期长,难以满足大批量的需求。而基于数字微镜器件的直写式光刻能够灵活的实现不同图形的转印,工艺相对简单且成本较低,正广泛应用于电路板、半导体器件、显示器的图形制作。
[0003]在进行直写式光刻加工时,为实现图形在基底上的精确定位,通常是通过基底上的对准标记来确认基底的精确位置。一般情况下,在对基底的待加工面进行直写光刻写入时,该待加工面上会制作对准标记用于位置的确认。但在一些特殊的应用场景下,不希望在基底的待加工面上出现任何其他的特征,即待加工面上无法设置对准本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种背面对准装置,用于直写式光刻设备确定放置于装载部上的基底的精确位置,所述基底的背面设置有背面对准标记,其特征在于,所述装载部下方设有多轴运动台,所述装载部与所述多轴运动台之间有间隙;所述装载部上对应于所述基底的背面对准标记设有透光孔;所述背面对准装置包括:成像部、照明部、光路转折部和镜筒,所述成像部、照明部和所述光路转折部通过所述镜筒连接;所述光路转折部位于所述透光孔下方,所述镜筒部分位于所述间隙。2.根据权利要求1所述的背面对准装置,其特征在于:所述镜筒可拆卸的连接到所述多轴运动台。3.根据权利要求1所述的背面对准装置,其特征在于:所述镜筒内设置有对照明部产生的照明光束进行整形传输的透镜组。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘栋李伟成张雷
申请(专利权)人:源能智创江苏半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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