一种背光吸盘及曝光设备制造技术

技术编号:40537999 阅读:29 留言:0更新日期:2024-03-01 14:00
一种背光吸盘及曝光设备,所述曝光设备包括背光吸盘,所述背光吸盘包括吸盘主体,所述背光吸盘还包括背光源和吸盘垫,所述背光源容置于吸盘主体,所述吸盘垫覆盖所述吸盘主体,所述吸盘主体包括真空槽,所述真空槽划分为气体流通区和背光源容置区,所述背光源设置于背光源容置区。通过气体流通区支撑所述吸盘垫,保证空气流通,在背光源容置区放置背光源,使得工件边缘更加清晰,既保证了吸盘的平面度,真空吸附效果,同时实现了背光效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏产品加工领域,尤其是应用于光伏产品的背光吸盘及曝光设备


技术介绍

1、目前,在制作光伏电池片栅线时,主要采用银浆丝网印刷技术或者铜电镀工艺。银浆丝网印刷技术成本高,效率产能低,同时栅线的导电性及电池能效转换相对偏低,使得铜电镀工艺更受关注。

2、铜电镀工艺包括沉积种子层、图形化、铜电镀、后处理四大步骤,其中图形化是铜电镀工艺中比较重要的环节,采用曝光工艺在基底上生成图形。光伏电池片尺寸相比印刷电路板小很多,可以采用多片同时曝光的方式,对于没有标记点的光伏电池片,需要根据通过光伏电池片的轮廓进行定位,常规的应用于印刷电路板的吸盘,对位机构无法清晰的获取光伏电池片的轮廓。


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种清晰获取工件轮廓的背光吸盘及曝光设备。

2、为了解决上述问题,本专利技术提供了一种背光吸盘,其包括吸盘主体,所述背光吸盘还包括背光源和吸盘垫,所述背光源容置于吸盘主体,所述吸盘垫为透明材质,覆盖所述吸盘主体,所述吸盘主体包括真空槽,所述真空槽划分为气体流通区和背光源容置区,所述背光源设置于背光源容置区。

3、进一步的,所述气体流通区设置多个凸块,相邻凸块之间具有间隙。

4、进一步的,所述凸块的高度高于所述背光源的高度。

5、进一步的,所述凸块规则排列。

6、进一步的,所述凸块呈行列布置。

7、进一步的,所述背光源为红外波段的光源。

8、进一步的,所述吸盘主体下方设置有吸盘连接板,位于吸盘中间位置。

9、进一步的,所述吸盘垫所述吸盘垫设置有多个吸孔,所述吸孔对应于背光源容置区及背光源容置区之间的气体流通区设置。

10、进一步的,所述背光源容置区和所述气体流通区间隔设置。

11、一种曝光设备,其包括基座、支撑架、运动机构、对位机构和曝光机构,所述支撑架和运动机构设置于所述基座,所述对位机构和所述曝光机构设置于所述支撑架,其特征在于:所述曝光设备上述的背光吸盘,所述背光吸盘设置于所述运动机构,所述运动机构带动所述背光吸盘,分别移动至所述对位机构和所述曝光机构。

12、与现有技术相比,所述背光吸盘划分为气体流通区和背光源容置区,通过气体流通区支撑所述吸盘垫,保证空气流通,在背光源容置区放置背光源,使得工件边缘更加清晰,既保证了吸盘的平面度,真空吸附效果,同时实现了背光效果。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种背光吸盘,其包括吸盘主体,其特征在于:所述背光吸盘还包括背光源和吸盘垫,所述背光源容置于吸盘主体,所述吸盘垫为透明材质,覆盖所述吸盘主体,所述吸盘主体包括真空槽,所述真空槽划分为气体流通区和背光源容置区,所述背光源设置于背光源容置区,所述背光源容置区和所述气体流通区间隔设置,所述气体流通区设置多个凸块,相邻凸块之间具有间隙,所述凸块支撑所述吸盘垫。

2.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述凸块的高度高于所述背光源的高度。

3.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述凸块规则排列。

4.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述凸块呈行列布置。

5.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述背光源为红外波段的光源。

6.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述吸盘主体下方设置有吸盘连接板,位于吸盘中间位置。

7.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述吸盘垫所述吸盘垫设置有多个吸孔,所述吸孔对应于背光源容置区及背光源容置区之间的气体流通区设置。

8.一种曝光设备,其包括基座、支撑架、运动机构、对位机构和曝光机构,所述支撑架和运动机构设置于所述基座,所述对位机构和所述曝光机构设置于所述支撑架,其特征在于:所述曝光设备还包括权利要求1-7所述的任一背光吸盘,所述背光吸盘设置于所述运动机构,所述运动机构带动所述背光吸盘,分别移动至所述对位机构和所述曝光机构。

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【技术特征摘要】

1.一种背光吸盘,其包括吸盘主体,其特征在于:所述背光吸盘还包括背光源和吸盘垫,所述背光源容置于吸盘主体,所述吸盘垫为透明材质,覆盖所述吸盘主体,所述吸盘主体包括真空槽,所述真空槽划分为气体流通区和背光源容置区,所述背光源设置于背光源容置区,所述背光源容置区和所述气体流通区间隔设置,所述气体流通区设置多个凸块,相邻凸块之间具有间隙,所述凸块支撑所述吸盘垫。

2.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述凸块的高度高于所述背光源的高度。

3.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述凸块规则排列。

4.根据权利要求1所述的背光吸盘,其特征在于:所述凸块呈行列布置。

5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴竹青陈远何文哲张雷
申请(专利权)人:源能智创江苏半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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