一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头制造技术

本实用新型专利技术涉及紫外光刻机用的镜头设计、制造和装调技术领域，具体为一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头，该设计包括前镜组、中间镜组、光栏组、偏心调整机构组和后镜组，中间镜组镜框的偏心圆柱面与后镜组镜框配合，以及外偏心镜框与后镜组镜框配合形成双偏心结构，调整中间镜组镜框和外偏心镜框之间的位置关系以满足双偏心调整机构组光轴与中间镜组光轴重合，偏心机构压圈边缘固定于后镜组镜框上，将内偏心镜框、外偏心镜框固定在后镜组镜框内，该镜头的所有透镜工作面均未受机械应力施加，能够很好的保证镜头成像质量，减小畸变，并能够便捷的调节透镜同轴性。能够便捷的调节透镜同轴性。能够便捷的调节透镜同轴性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头


[0001]本技术涉及紫外光刻机用的镜头设计、制造和装调
，特别是涉及一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头。

技术介绍

[0002]光刻机工作原理为由等离子光源发出紫外光，经收集系统收集后，传输系统照射到掩膜板上，掩膜板上的紫外光谱图形经过紫外镜头按一定比例精确地缩印到涂有光刻胶的硅片上，经过相关后续工艺的处理后，留下所需的微形图或电路结构，而电路结构的精密程度又主要取决于紫外镜头，紫外镜头自然成为光刻机的关重部件。
[0003]目前应用于市场的紫外镜头由多个透镜组成的镜头组通过镜筒按照一定间隔尺寸组装而成，虽然基本能够实现光刻功能，但由于机械零件和透镜采用辊边法紧固，即将透镜装入镜框后在精密车床上用专用工具把镜框边缘挤压弯折，使其沿着透镜圆角倒角的斜面紧紧地包住透镜，这种紧固方式下透镜倍率和边缘畸变较大，镜头组成像质量低下，最终导致制备的电路难以满足系统要求。
[0004]公开号为CN207232486U的文献公开了一种用于光刻机的紫外镜头，其采用的技术方案为通过压圈、大隔圈和螺钉在外镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头，其特征在于包括前镜组、中间镜组、光栏组、偏心调整机构组和后镜组，其中：前镜组由前镜组镜框和第一透镜组成，所述前镜组镜框头部内设置第一透镜，中间镜组由中间镜组镜框、第二透镜、第三透镜和第四透镜组成，所述中间镜组镜框内依次向后设置第二透镜、第三透镜和第四透镜，中间镜组镜框外表面采用偏心圆柱面；光栏组由光栏组镜框、光栏和光栏压圈组成，所述光栏头部由光栏压圈固定在光栏组镜框内；偏心调整机构组由内偏心镜框、外偏心镜框、第五透镜、第六透镜和第七透镜组成，所述内偏心镜框和外偏心镜框旋转连接，外偏心镜框内表面设置为偏心圆柱面；内偏心镜框内依次向后设置第五透镜、第六透镜和第七透镜；后镜组由后镜组镜框、第八透镜和后镜组压圈组成，所述前镜组镜框与后经组镜框通过螺栓连接，后经组镜框内依次向后设置中间镜组镜框、光栏组镜框和外偏心镜框；中间镜组镜框的偏心圆柱面与后镜组镜框配合，以及外偏心镜框与后镜组镜框配合形成双偏心结构，偏心机构压圈边缘固定于后镜组镜框上，将内偏心镜框、外偏心镜框固定在后镜组镜框内；所述后镜组镜框尾部内设置第八透镜并由后镜组压圈固定。2.如权利要求1所述的一种用于光刻机的...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗凤旺，吕复坡，
申请(专利权)人：云南富端科技有限公司，
类型：新型
国别省市：