【技术实现步骤摘要】
移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法
[0001]本专利技术为申请日为2017年09月29日，申请号为“201780059376.1”，专利技术名称为“移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法”的专利技术专利的分案申请。
[0002]本专利技术关于移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法。
技术介绍
[0003]以往，于制造液晶显示器件、半导体器件(积体电路等)等电子器件(微器件)的光刻工艺，使用通过投影光学系统(透镜)以照明光(能量束)使感光性的玻璃板或晶片(以下，统称为“基板”)曝光，据以将光掩膜(photomask)或标线片(以下，统称为“光掩膜”)所具有的既定图案转印至该基板的曝光装置。
[0004]作为此种曝光装置，有一种具备使用基板载台装置所具有的长条镜(bar mirror)来求出曝光对象基板于水平面内的位置信息的光干涉仪系统者广为人知(例如，参照专利文献1)。
[0005]此处，使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情形时，因激光光至长条镜的光路长较长，而无法忽视所谓空气波动的影响。
[0006]先行技术文献
[0007]专利文献
[0008][专利文献1]美国专利申请公开第2010/0266961号说明书
技术实现思路
[0009]解决课题的手段
[0010]本专利技术第1态样提供一种移动体装置，其具备：第1...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种移动体装置，其特征在于，具备：第1移动体，其保持物体、能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置且包含该第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，测量通过该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头所测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该多个第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，其包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，第2格子区域与该第2格子区域中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制系统，其根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息、与用以补偿因该第1格子构件、该多个第1读头及该第1移动体的移动中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行该第1移动体于包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的移动控制。2.如权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因在该多个格子区域的至少1个的变形、变位、平坦性及形成误差中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差。3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因该多个第1读头的至少1个的光学特性、及在与该第2方向不同的方向的变位中的至少一方而产生的该测量系统的测量误差。4.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因用以进行该移动体的位置控制的基准面、或该物体的曝光动作中该基板所一致的基准面与该格子部的格子面、在与该既定平面正交的第3方向的位置的差所产生的该测量系统的测量误差。5.如权利要求4所述的移动体装置，其特征在于，该基准面包含该光学系统的像面。6.一种移动体装置，通过光学系统以照明光使基板曝光，其特征在于，具备：移动体，配置在该光学系统的下方，保持该基板；驱动系统，其能在与该光学系统的光轴正交的既定平面内彼此正交的第1、第2方向移动该移动体；测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置的格子构件、与对该格子构件分别照射测量光束且能于该第2方向移动的多个第1读头中的一方设于该移动体，且该格子构件与该多个第1读头中的另一方被设置成与该移动体对向，该测量系统，具有于该多个第1读头设置标尺构件与第2读头中的一方、且该标尺构件与该第2读头中的另一方被设置成与该多个第1读头对向，通过该第2读头对该标尺构件照射测量光束以测量于该第2方向的该多个第1读头的位置信息的测量装置，根据该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头的测量信息、与该测量装置的测量信息，测量至少于该既定平面内的3自由度方向的该移动体的位置信息；以及控制系统，根据用以补偿因该标尺构件与该第2读头中的至少一方而产生的该测量装
置的测量误差的修正信息、与以该测量系统测量的位置信息，控制该驱动系统；该多个第1读头，分别在该移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离、并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域。7.如权利要求5所述的移动体装置，其特征在于，进一步具备支承该光学系统的框架构件；该测量装置的该标尺构件与该第2读头中的一方设于该多个第1读头，该标尺构件与该第2读头中的另一方设于该光学系统或该框架构件。8.如权利要求6或7所述的移动体装置，其特征在于，该标尺构件具有于该第2方向彼此分离配置的多个格子部；该测量装置具有包含于该第2方向该测量光束的位置不同的至少2个该第2读头的多个该第2读头；该至少2个第2读头，于该第2方向，以较该多个格子部中相邻的一对格子部的间隔大的间隔配置。9.如权利要求8所述的移动体装置，其特征在于，该多个第2读头，包含在该第1方向、与和该既定平面正交的第3方向中的一方，与该至少2个第2读头的至少1个的该测量光束的位置不同的至少1个第2读头。10.如权利要求6至9中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量装置对该标尺构件于互异的位置照射多个该测量光束，以测量该多个第1读头在与该第2方向不同的方向的位置信息。11.如权利要求6至10中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量装置测量该多个第1读头的旋转与倾斜中的至少一方的位置信息。12.如权利要求6至11中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该标尺构件具有反射型2维格子、或彼此排列方向不同的2个1维格子中的至少一方。13.如权利要求6至12中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因该标尺构件的变形、变位、平坦性及形成误差中的至少1个而产生的该测量装置的测量误差。14.如权利要求1至13中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向中的一方为测量方向；于该测量系统被用于测量的该至少3个第1读头，包含以该2方向中的一方为测量方向的至少1个第1读头、与以该2方向中的另一方为测量方向的至少2个第1读头。15.如权利要求1至14中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头包含以在该既定平面内与该第1方向不同的方向为测量方向的第1读头；该测量系统，为了使用该测量方向与该第1方向不同的第1读头测量该移动体的位置信息，使用该测量装置的测量信息。16.如权利要求14或15所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，包含以该第1方向为测量方向的至少2个第1读头、与以该第2方向为测量方向的至少2个第1读头。17.如权利要求1至16中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头可在该第2方向与该第1移动体相对移动。18.如权利要求1至17中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，包含在该第1方向、以较该多个格子区域中相邻一对格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束
的2个第1读头、与在该第2方向与该2个第1读头中的至少一方的该测量光束的位置不同的至少1个第1读头。19.如权利要求1至18中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个格子区域，分别具有反射型2维格子或排列方向互异的2个1维格子。20.如权利要求1至19中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该格子构件，具有分别形成有该多个格子区域的多个标尺。21.如权利要求1至20中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量系统，具有可使该多个第1读头移动于该第2方向的驱动部；该控制系统，以该移动体的移动中、于该测量系统被用于测量的该至少3个第1读头的各个，于该第2方向该测量光束不会从该多个格子区域脱离的方式，控制该驱动部。22.如权利要求1至21中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量系统，具有可分别保持该多个第1读头中的1个或多个第1读头移动的多个可动部，通过该测量装置以该多个可动部分别测量该第1读头的位置信息。23.如权利要求1至22中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向中的一方、与和该既定平面正交的第3方向的2方向为测量方向；该测量系统，可使用该至少3个第1读头，测量包含该第3方向的在与该3自由度方向不同的3自由度方向的该移动体的位置信息。24.如权利要求1至23中任一项所述...
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