【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及脉冲光生成装置、脉冲光生成方法以及加工装置。本申请基于2021年11月30日申请的日本特愿2021-194049号主张优先权，这里引用其内容。
技术介绍
1、以往，已知有如下方法：向被加工物体照射具有近红外的波长的第1激光超短脉冲光和通过使用非线性光学晶体单元对第1激光超短脉冲光进行波长转换而生成且具有紫外的波长的第2激光超短脉冲光，通过两种激光超短脉冲光而高效地进行加工。(例如，参照专利文献1。)
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2008-272794号公报
技术实现思路
1、本专利技术的一个方式为一种脉冲光生成装置，其具有：非线性光学晶体，从脉冲光源射出的第1脉冲光入射到该非线性光学晶体，并且该非线性光学晶体射出对第1脉冲光进行了波长转换的第2脉冲光；以及衍射光栅，其配置在从非线性光学晶体射出的第2脉冲光的行进路径上，射出减少了入射的脉冲光的指向的变化量相对于频率的变化量的比例的第3脉冲光。
2、本专利技术的一个方式为一种脉冲光生成方法，其具有如下步骤：从非线性光学晶体朝向衍射光栅射出对从脉冲光源入射的第1脉冲光进行了波长转换的第2脉冲光；以及在从非线性光学晶体射出的第2脉冲光的行进路径上射出减少了入射到衍射光栅的脉冲光的指向的变化量相对于频率的变化量的比例的第3脉冲光。
3、本专利技术的一个方式为一种加工装置，其具有：脉冲光源，其射出第1脉冲光；非线性光学晶体，其射出对从脉冲光源
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种脉冲光生成装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的脉冲光生成装置，其中，
3.根据权利要求2所述的脉冲光生成装置，其中，
4.根据权利要求3所述的脉冲光生成装置，其中，
5.根据权利要求4所述的脉冲光生成装置，其中，
6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的脉冲光生成装置，其中，
7.一种脉冲光生成方法，其中，
8.一种加工装置，其具有：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种脉冲光生成装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的脉冲光生成装置，其中，
3.根据权利要求2所述的脉冲光生成装置，其中，
4.根据权利要求3所述的脉冲光生成装置，其中，
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