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一种用于直写式光刻设备确定基底精确位置的背面对准装置，该光刻设备的运动载台装置包括装载部和设置于装载部下方的多轴运动台，装载部与多轴运动台之间有间隙；基底放置于装载部上，其背面设置有背面对准标记，装载部上对应于基底的背面对准标记设有透光孔；...
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