本实用新型专利技术公开了一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置，包括冷凝筒和冷凝盘管，所述冷凝筒的上端设有上盖，所述上盖的顶部连有进气管，冷凝筒的下端设有下盖，所述下盖的底部连有焦油收集管，冷凝筒的侧壁上连有排气管，所述冷凝盘管位于冷凝筒内，冷凝盘管的两端分别连有进水管和回水管。用于冷凝捕集化学气相沉积生产过程中产生的高温废气中的焦油，确保真空排气系统的运行不会受到焦油的影响，提高了真空系统的准确性，保证炉内压力的稳定性，保证了化学气相沉积炉的高真空度和符合标准的压升率，提高了化学气相沉积产品的质量，减少了对真空泵组的清理次数，降低了生产成本。了生产成本。了生产成本。
【技术实现步骤摘要】
一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置
[0001]本技术涉及真空化学气相沉积炉
，具体为一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置。
技术介绍
[0002]随着石墨和炭炭复合材料的发展，利用化学气相沉积炉，通过化学气相沉积法改变石墨和炭炭复合材料本身的缺陷，已经成为高端应用领域不可或缺的处理方法。而化学气相沉积法往往都会引入碳源做为前驱工艺气体，气相沉积的过程中含有焦油等的高温废气将会通过真空泵组来抽走，保证沉积过程中的炉体处于气氛平衡状态。
[0003]在实际运行过程中，真空泵组前往往采用一般的过滤系统，即带孔挡板和滤芯来过滤高温废气，经常会出现过滤不彻底导致焦油进入真空泵组和真空管道，使真空泵转子堵转，严重影响真空泵抽空能力，或过滤器滤芯堵塞造成炉内气体无法抽出，这些异常现象严重影响正常生产和产品质量。与此同时每炉生产结束后，都需要对真空泵组进行维护清理，并且造成真空泵油的污染，导致频繁更换真空泵油,由此增加大量生产成本。排气过程中，焦油也会吸附在真空管道、真空计、真空阀门上，严重影响化学气相沉积炉的真空系统的准确性和稳定性。
技术实现思路
[0004]本技术就是针对现有技术存在的上述不足，提供一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置，用于冷凝捕集化学气相沉积生产过程中产生的高温废气中的焦油，确保真空排气系统的运行不会受到焦油的影响，提高了真空系统的准确性，保证炉内压力的稳定性，保证了化学气相沉积炉的高真空度和符合标准的压升率，提高了化学气相沉积产品的质量，减少了对真空泵组的清理次数，降低了生产成本。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置，包括冷凝筒和冷凝盘管，所述冷凝筒的上端设有上盖，所述上盖的顶部连有进气管，冷凝筒的下端设有下盖，所述下盖的底部连有焦油收集管，冷凝筒的侧壁上连有排气管，所述冷凝盘管位于冷凝筒内，冷凝盘管的两端分别连有进水管和回水管。
[0007]优选的，所述进水管上设有进水压力表和进水阀门，所述回水管上设有回水压力表和回水阀门。
[0008]优选的，所述回水管上设有流量计和水温计。
[0009]优选的，所述进气管上设有进气口气动真空阀门，所述排气管上设有排气口气动真空阀门。
[0010]优选的，所述冷凝筒的侧壁上设有支撑腿。
[0011]优选的，所述冷凝筒与上盖、下盖之间均设有密封圈。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术用于冷凝捕集化学气相沉积生产过程中产生的高温废气中的焦油，确保真空排气系统的运行不会受到焦油的影响，提高了真空系统的准确性，保证炉内压力的稳定性，保证了化学气相沉积炉的高真空度和符合标准的压升率，提高了化学气相沉积产品的质量，减少了对真空泵组的清理次数，降低了生产成本。
[0014]2、本技术可以采用真空化学气相沉积炉自身配备的循环冷却水，冷却效果更加可靠，循环水可重复利用，避免了资源浪费，不会对环境造成污染。
[0015]3、本技术高温废气经过焦油冷凝捕捉装置，降低了排气温度，降低了真空阀门和真空管道的使用要求，增加安全。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术的剖视图。
[0018]图中：1
‑
进水压力表；2
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进水阀门；3
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进水管；4
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进气口气动真空阀门；5
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进气管；6
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上盖；7
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回水管；8
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回水阀门；9
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流量计；10
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水温计；11
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回水压力表；12
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冷凝筒；1201
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支撑腿；13
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排气管；14
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排气口气动真空阀门；15
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下盖；16
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焦油收集管；17
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密封圈；18
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冷凝盘管。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1
‑
2所示，一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置，包括冷凝筒12和冷凝盘管18，冷凝筒12的上端设有上盖6，上盖6的顶部连有进气管5，冷凝筒12的下端设有下盖15，下盖15的底部连有焦油收集管16，冷凝筒12的侧壁上连有排气管13，冷凝盘管18位于冷凝筒12内，冷凝盘管18的两端分别连有进水管3和回水管7，进水管3上设有进水压力表1和进水阀门2，回水管7上设有回水压力表11、回水阀门8、流量计9和水温计10。
[0021]在进气管5上设有进气口气动真空阀门4，排气管13上设有排气口气动真空阀门14。
[0022]为了便于固定，在冷凝筒12的侧壁上设有支撑腿1201。
[0023]系统开始运行时，打开进水阀门2，冷的循坏冷却水经进水压力表1导入进水管3，进入冷凝盘管18，冷凝盘管18是按照盘管中径、螺距和圈数要求采用整根不锈钢管经盘管而成，大幅增加水管长度，水流方向自下而上，螺旋漫延，可使冷却水在冷凝筒12中充分置换热量，置换热量的冷却水由回水管7流出，经回水阀门8、流量计9、水温计10、回水压力表11流入循环水回水系统。其中，冷凝盘管18按照盘管中径、螺距和圈数要求采用整根不锈钢管经盘管而成，具体的设计依据是：
[0024]G＝D
‑
nd；
[0025]P＝kd；
[0026]N＝(H
‑
2m)/P；
[0027]其中：
[0028]G：盘管中径；
[0029]P：螺距；
[0030]N:圈数；
[0031]D:焊接中筒11内径，取值需要根据换热量计算；
[0032]n：常数，一般取2～3之间；
[0033]d:不锈钢管外径，取值需要根据换热量计算；
[0034]k:常熟，一般取1.1～1.3之间；
[0035]m:安全间距常数，一般需大于20mm；
[0036]H：冷凝筒内部高度；
[0037]进水压力表1监视冷却水进水压力值，正常值在0.3～0.35MPa之间，回水压力表11监视冷却水回水压力值，正常值在0.2～0.25MPa之间，水温计10监视回水水温值，正常值不大于20℃，流量计9监视回水水流量值，正常值不小于50L/mi n。以上任何值的异常都会发出报警信号给本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置，其特征在于：包括冷凝筒和冷凝盘管，所述冷凝筒的上端设有上盖，所述上盖的顶部连有进气管，冷凝筒的下端设有下盖，所述下盖的底部连有焦油收集管，冷凝筒的侧壁上连有排气管，所述冷凝盘管位于冷凝筒内，冷凝盘管的两端分别连有进水管和回水管。2.如权利要求1所述的一种真空化学气相沉积炉高温废气焦油冷凝捕集装置，其特征在于：所述进水管上设有进水压力表和进水阀门，所述回水管上设有回水压力表和回水阀门。3.如权利要求2所述的一种真空化学气相...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛雁凯，刘添华，
申请(专利权)人：山东众弘新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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