一种阳极结构、电极机构及电镀系统技术方案

本实用新型专利技术涉及电镀技术领域，具体提供了一种阳极结构、电极机构及电镀系统，其中阳极结构包括主阳极件和至少一个辅阳极件，分别与外部电源的正极电性连接，主阳极件较辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件，任一辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面，且辅阳极件的有效作用面在阴极件的阴极面上的投影落入阴极面的四周边缘之内。通过在主阳极件的一侧设置至少一个辅阳极件，通电后的辅阳极件产生的电流能够落入到阴极件的阴极面的四周边缘之内，对位于阴极面四周边缘之内的电流进行补充增加，使得阴极件受到的电流能够在阴极面上均匀分布，克服导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种阳极结构、电极机构及电镀系统


[0001]本技术涉及电镀的
，具体涉及一种阳极结构、电极机构及电镀系统。

技术介绍

[0002]电镀是指借助外界直流电的作用，以使导电体表面沉积金属或合金层。在进行电镀时，将电极的阳极电连接于电镀液中，并将电极的阴极与具有导电性的被加工物相连接。当电流导通时，溶液中带有正电的阳离子朝向电路的阴极游动，在被加工物的表面发生还原，并形成覆盖被加工物表面的电镀层。
[0003]在电镀的过程中，使用可溶性阳极或不溶性阳极来提供离子、电子，使阴极工件得到所需的电镀层，传统的电镀设备，在工件上形成电镀层时，在电流流动时，周围产生磁场，根据电磁感应定律，会感应与电流反向的电场(电动势)阻碍电流的流动，因此在电流输送的过程中，中间电流收到的阻力较大，而边缘电流受到的阻力较小，因此会出现工件的工件本体上电流分布不均匀的情况，位于边缘部分的工件本体是高电位高电流密度区，中间部分的工件本体是低电位低电流密度区，因此会在电镀结束后，工件边缘部分的电镀层比中间部分的电镀层相对厚，进而导致工件的电镀效果不均匀。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的工件受到的电流不均匀导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷，从而提供一种阳极结构，包括：主阳极件和至少一个辅阳极件，分别与外部电源的正极电性连接，所述主阳极件较所述辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件，任一所述辅阳极件的有效作用面小于所述主阳极件的有效作用面，且所述辅阳极件的有效作用面在所述阴极件的阴极面上的投影落入所述阴极面的四周边缘之内。
[0005]可选地，上述阳极结构中，所述辅阳极件为至少两个，所有所述阳极件层叠且间隔分布，相邻两个辅阳极件中，靠近所述主阳极件的辅阳极件的有效作用面小于远离主阳极件的辅阳极件的有效作用面。
[0006]可选地，上述阳极结构中，还包括在所述主阳极件与所述辅阳极件之间设置至少一个第一遮蔽件，所述第一遮蔽件至少遮挡住所述辅阳极件上面向主阳极件一侧的第一表面的部分边缘；和/或
[0007]还包括第二遮蔽件，所述主阳极件位于所述辅阳极件和所述第二遮蔽件之间，所述第二遮蔽件至少遮挡住所述主阳极件上面向阴极件一侧的第二表面的部分边缘。
[0008]可选地，上述阳极结构中，所述第一遮蔽件相对于所述辅阳极件可移动设置，以改变所述第一遮蔽件遮挡所述第一表面的面积；和/或
[0009]所述第二遮蔽件相对于所述主阳极件可移动设置，以改变所述第一遮蔽件遮挡所述第一表面的面积。
[0010]可选地，上述阳极结构中，所述第一遮蔽件呈第一框体，所述第一框体的内腔作为
第一避让通道；和/或
[0011]所述第二遮蔽件呈第二框体，所述第二框体的内腔作为第二避让通道。
[0012]可选地，上述阳极结构中，所述主阳极件呈网格状。
[0013]可选地，上述阳极结构中，所述辅阳极件和/或所述主阳极件呈板状。
[0014]可选地，上述阳极结构中，所述电镀槽内设有平行分布的至少两个连接杆；
[0015]任一主阳极件通过第一悬挂件挂设在一个连接杆上，任一辅阳极件通过第二悬挂件挂设在另一个连接杆上。
[0016]可选地，上述阳极结构中，还包括设在所述电镀槽内的安装座，所述安装座上设有平行分布的至少两个卡槽；
[0017]所述第一悬挂件和第二悬挂件中的任意一个的底部一一对应地卡接在所述卡槽内，其顶部悬挂在所述连接杆上。
[0018]一种电极机构，包括至少一个阳极结构，为如上任一项所述的阳极结构；至少一个阴极件，与所述阳极结构相对设置。
[0019]一种电镀系统，包括电镀槽；如上所述的电极机构；其中所述电极机构中的阳极结构沿竖向设在所述电镀槽内，阴极件沿竖向设在所述电镀槽内。
[0020]本技术技术方案，具有如下优点：
[0021]1.本技术提供的阳极结构，包括：主阳极件和至少一个辅阳极件，分别与外部电源的正极电性连接，所述主阳极件较所述辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件，任一所述辅阳极件的有效作用面小于所述主阳极件的有效作用面，且所述辅阳极件的有效作用面在所述阴极件的阴极面上的投影落入所述阴极面的四周边缘之内。
[0022]此结构的阳极结构，通过在主阳极件的一侧设置至少一个辅阳极件，该主阳极件与辅阳极件分别电性连接外部电源的正极，且该主阳极件比辅阳极件靠近待电镀的阴极件设置，将该辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面设置，且辅阳极件的有效作用面在阴极件的阴极面上的投影落入阴极面的四周边缘之内，在对阴极件进行电镀时，通电后的辅阳极件产生的电流能够落入到阴极件的阴极面的四周边缘之内，对位于阴极面四周边缘之内的电流进行补充增加，使得边缘之内的阴极件受到的电流相较于原只有一个主阳极件时受到的电流大小有一个幅度的提升，即增加工件的低电位区的电流分布，进而能够减少阴极面的四周边缘和位于四周边缘之内的阴极面的电流差，使得阴极件受到的电流能够在阴极面上均匀分布，实现阴极件的四周边缘和四周边缘之内的电镀层的层厚差减小甚至为零的效果，克服导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。
[0023]2.本技术提供的阳极结构中，还包括在所述主阳极件与所述辅阳极件之间设置至少一个第一遮蔽件，所述第一遮蔽件至少遮挡住所述辅阳极件上面向主阳极件一侧的第一表面的部分边缘；和/或还包括第二遮蔽件，所述主阳极件位于所述辅阳极件和所述第二遮蔽件之间，所述第二遮蔽件至少遮挡住所述主阳极件上面向阴极件一侧的第二表面的部分边缘，通过设置第一遮蔽件和第二遮蔽件，实现削弱工件的上下端高电位区的电流分布的效果，使得边缘部分的工件的电镀层厚较薄一些。
[0024]3.本技术提供的阳极结构中，所述主阳极件呈网格状。通过将主阳极件设置为网格状，使得辅阳极件上的电流能够更好的穿过主阳极件并作用到阴极板的阴极面上，使得电流的叠加效果更好。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本技术的第一种实施方式中提供的阳极结构的整体结构示意图；
[0027]图2为图1所示的连接杆与主阳极件和辅阳极件的位置结构示意图；
[0028]图3为图1所示的安装座与主阳极件和辅阳极件的安装结构示意图；
[0029]图4为3所示的安装座与主阳极件和辅阳极件的安装结构细节结构示意图；
[0030]图5为图1所示的第一遮蔽件与主阳极件和辅阳极件的位置结构示意图；、
[0031]图6为图5所示的第一遮蔽件与主阳极件和辅阳极件的位置结构顶部结构示意图；
[0032]图7为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阳极结构，其特征在于，包括：主阳极件(1)和至少一个辅阳极件(2)，分别与外部电源的正极电性连接，所述主阳极件(1)较所述辅阳极件(2)适于靠近待电镀的阴极件，任一所述辅阳极件(2)的有效作用面小于所述主阳极件(1)的有效作用面，且所述辅阳极件(2)的有效作用面在所述阴极件的阴极面上的投影落入所述阴极面的四周边缘之内。2.根据权利要求1所述阳极结构，其特征在于，所述辅阳极件(2)为至少两个，所有所述阳极件层叠且间隔分布，相邻两个辅阳极件(2)中，靠近所述主阳极件(1)的辅阳极件(2)的有效作用面小于远离主阳极件(1)的辅阳极件(2)的有效作用面。3.根据权利要求1或2所述阳极结构，其特征在于，还包括在所述主阳极件(1)与所述辅阳极件(2)之间设置至少一个第一遮蔽件(3)，所述第一遮蔽件(3)至少遮挡住所述辅阳极件(2)上面向主阳极件(1)一侧的第一表面的部分边缘；和/或还包括第二遮蔽件(4)，所述主阳极件(1)位于所述辅阳极件(2)和所述第二遮蔽件(4)之间，所述第二遮蔽件(4)至少遮挡住所述主阳极件(1)上面向阴极件一侧的第二表面的部分边缘。4.根据权利要求3所述的阳极结构，其特征在于，所述第一遮蔽件(3)相对于所述辅阳极件(2)可移动设置，以改变所述第一遮蔽件(3)遮挡所述第一表面的面积；和/或所述第二遮蔽件(4)相对于所述主阳极件(1)可移动设置，以改变所述第一遮蔽件(3)遮挡所述第一表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，方荣平，袁晓波，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：