籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备技术方案

本实用新型专利技术公开了一种籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备，籽晶轴组件包括：籽晶轴和冷却管。籽晶轴为中空杆，籽晶轴内具有中空腔且中空腔的底部封闭，冷却管设在中空腔内，冷却管内限定出进液腔，冷却管的外周壁与中空腔的内周壁之间限定出出液腔，出液腔与进液腔连通，冷却液适于流入进液腔并经出液腔流出。根据本实用新型专利技术实施例的籽晶轴组件，在晶体生长设备工作的过程中，可以实现对籽晶轴进行冷却降温，使籽晶易产生冷点，利于引晶及晶体生长。利于引晶及晶体生长。利于引晶及晶体生长。

【技术实现步骤摘要】
籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其是涉及一种籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备。

技术介绍

[0002]晶体生长设备按照晶体生长方法可分为提拉法、坩埚下降法、区熔法等。其中，提拉法又称乔赫拉斯基法，是晶体生长领域中应用最广，产量最大的晶体制备方法。其基本原理是利用籽晶从坩埚熔体中向上提拉，使晶体按籽晶的晶向垂直向上生长成所需要直径的晶体。
[0003]利用晶体生长设备生产晶体需要在籽晶轴上安装籽晶，让籽晶与熔体接触，当籽晶与熔体的固液界面存在温度差时，固液界面上的熔体过冷，则沿籽晶晶向进行晶体生长。为了使晶体不断长大，就需要逐渐降低熔体的温度，同时旋转晶体，改善熔体的温度分布，也可以缓慢的上提拉晶体，以扩大散热面，晶体在生长的过程中始终不与坩埚壁接触。然而，相关技术中的籽晶轴的设计不利于引晶以及晶体的生长。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种籽晶轴组件，在晶体生长设备工作的过程中，可以实现对籽晶轴进行冷却降本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶轴组件，其特征在于，包括：籽晶轴，所述籽晶轴为中空杆，所述籽晶轴内具有中空腔且所述中空腔的底部封闭；冷却管，所述冷却管设在所述中空腔内，所述冷却管内限定出进液腔，所述冷却管的外周壁与所述中空腔的内周壁之间限定出出液腔，所述出液腔与所述进液腔连通，冷却液适于流入所述进液腔并经所述出液腔流出。2.根据权利要求1所述的籽晶轴组件，其特征在于，所述冷却管的底面与所述中空腔的底壁间隔开，以形成连通所述进液腔和所述出液腔的连通通道。3.根据权利要求1所述的籽晶轴组件，其特征在于，所述冷却管的顶端敞开以构成进液口，所述进液口与所述进液腔连通，所述冷却管的顶面高出所述籽晶轴的顶面，所述籽晶轴组件还包括：旋转套，所述旋转套套设在所述籽晶轴的上端和所述冷却管的上端，且所述旋转套相对所述籽晶轴以及所述冷却管固定，所述旋转套上形成有与所述出液腔连通的出液口。4.根据权利要求1所述的籽晶轴组件，其特征在于，包括：流量计和温度计，所述流量计用于检测单位时间内冷却液的流量，所述温度计用于检测所述籽晶轴的温度，所述温度计与所述流量计之间通信。5.一种晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，包括：固定支架；籽晶轴组件，所述籽晶轴组件为根据权利要求1
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4中任一项所述的籽晶轴组件，所述籽晶轴可上下移动地设在所述固定支架上，所述籽晶轴绕所述籽晶轴的中心轴线可转动。6.根据权利要求5所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，用于驱动所述籽晶轴转动的第一驱动机构包括中空轴电机，所述中空轴电机套设在所述籽晶轴上...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁长路，苗江涛，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：