【技术实现步骤摘要】
晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备
[0001]本专利技术涉及晶体生长
，尤其是涉及一种晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备。
技术介绍
[0002]晶体生长设备按照晶体生长方法可分为提拉法、坩埚下降法、区熔法等。其中，提拉法又称乔赫拉斯基法，是晶体生长领域中应用最广，产量最大的晶体制备方法。其基本原理是利用籽晶从坩埚熔体中向上提拉，使晶体按籽晶的晶向垂直向上生长成所需要直径的晶体。
[0003]利用晶体生长设备生产晶体需要在籽晶轴上安装籽晶，让籽晶与熔体接触，当籽晶与熔体的固液界面存在温度差时，固液界面上的熔体过冷，则沿籽晶晶向进行晶体生长。为了使晶体不断长大，就需要逐渐降低熔体的温度，同时旋转晶体，改善熔体的温度分布，也可以缓慢的上提拉晶体，以扩大散热面，晶体在生长的过程中始终不与坩埚壁接触。
[0004]相关技术中使用的籽晶轴为钨丝绳加石墨重锤，由于钨丝绳加石墨重锤有钟摆现象，不利于晶体中原子的排列及生长，影响了晶体的生长质量。
技术实现思路
[0005]本专利技术旨在至少解决现...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，包括：固定支架；籽晶轴，所述籽晶轴可上下移动地设在所述固定支架上，所述籽晶轴绕所述籽晶轴的中心轴线可转动，所述籽晶轴为刚性件；密封组件，所述密封组件设在所述固定支架上且套设在所述籽晶轴的下端，所述籽晶轴相对所述密封组件可上下移动且可转动，所述密封组件与所述籽晶轴的外周面之间限定出适于容纳润滑油的润滑间隙，所述密封组件上形成有与所述润滑间隙连通的第一进口和第一出口，润滑油适于从所述第一进口进入所述润滑间隙，并适于从所述第一出口流出所述润滑间隙。2.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，包括：储油器，所述储油器内限定出用于容纳润滑油的储油腔，所述储油器具有与所述储油腔连通的第二进口和第二出口，所述储油器内的润滑油适于从所述第二出口流出并从所述第一进口流入所述润滑间隙，所述润滑间隙内的润滑油适于从所述第二出口流出并从所述第二进口流入所述储油腔。3.根据权利要求2所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述储油腔与外界大气连通，在所述晶体生长设备工作时，所述储油器内的润滑油液面高于所述润滑间隙内的润滑油液面；任选地，所述储油腔的最低位置高于所述润滑间隙的最高位置。4.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述密封组件包括：密封座，所述密封座设在所述固定支架上且套设在所述籽晶轴上，所述第一进口和所述第一出口均形成在所述密封座上；第一密封件和第二密封件，所述第一密封件和所述第二密封件均设在所述密封座内且相对所述密封座固定，所述第一密封件和所述第二密封件在上下方向上间隔排布，所述第一密封件和所述第二密封件均套设在所述籽晶轴上，所述籽晶轴、所述密封座、所述第一密封件和所述第二密封件共同限定出所述润滑间隙。5.根据权利要求4所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述第一密封件为沿上下方向排布的多个；任选地，所述密封组件还包括第一间隔垫片，所述第一间隔垫片设在相邻两个所述第一密封件之间；和/或，所述第二密封件为沿上下方向排布的多个；任选地，所述密封组件还包括第二间隔垫片，所述第二间隔垫片设在相邻两个所述第二密封件之间。6.根据权利要求4所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述密封组件还包括：密封支撑，所述密封支撑设在所述密封座内且位于所述第一密封件和所述第二密封件之间，所述密封支撑与所述密封座相连，最邻近所述密封支撑的所述第一密封件以及最邻近所述密封支撑的所述第二密封件均与所述密封支撑相连，所述籽晶轴、所述密封座、所述第一密封件、所述第二密封件和所述密封支撑共同限定出所述润滑间隙。7.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，用于驱动所述籽晶轴转动的第一驱动机构包括中空轴电机，所述中空轴电机套设在所述籽晶轴上，且所述籽...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁长路，苗江涛，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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