下载晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备的技术资料

文档序号:28053887

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本发明公开了一种晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备,提拉系统包括:固定支架、籽晶轴和密封组件。籽晶轴为刚性件,密封组件设在固定支架上且套设在籽晶轴的下端,籽晶轴相对密封组件可上下移动且绕籽晶轴的中心轴线可转动,密封组件与籽晶轴的外周面之间...
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