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本实用新型公开了一种籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备，籽晶轴组件包括：籽晶轴和冷却管。籽晶轴为中空杆，籽晶轴内具有中空腔且中空腔的底部封闭，冷却管设在中空腔内，冷却管内限定出进液腔，冷却管的外周壁与中空腔的内周壁之间限定出出液腔，出液腔与...
该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。

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