一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置和方法，包括模式切换装置；所述模式切换装置包括夹持器、基座、滑座和导向销；所述基座固定安装在稳定结构上，所述导向销固定连接在所述基座内，所述滑座安装在所述基座内且能够沿所述导向销轴向方向自由移动；压电超声电机安装在所述滑座上；所述夹持器用于实现所述滑座的固定与释放，从而实现所述压电超声电机的运动状态切换，以提高所述压电超声电机的运动分辨率。本发明专利技术通过引入分辨率切换装置，实现驻波型压电超声电机粗定位、精定位运动模式转换，有效提高系统运动分辨率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置和方法


[0001]本专利技术属于精密致动
，具体涉及一种驻波型压电超声电机运动分 辨率提升装置和方法。

技术介绍

[0002]驻波型压电超声电机具有结构简单、低振动、无电磁噪声、定位精度高、 动态响应快、易于小型化等优点，在角度计量、定位平台、光刻等精密、超精 密制造及检测领域应用广泛。驻波型压电超声电机结构如图1所示，通过向电 极片上施加正交的正弦波使电机定子同时发生纵向振动和弯曲振动，在驱动足 位置处合成为椭圆运动，运动时驱动足与压电陶瓷材料制成的转子接触，通过 摩擦力将电极片的振动转化为直线或圆运动轨迹。
[0003]目前，以色列Nanomotion公司生产的驻波型压电超声电机运动分辨率可达 10nm、国内海德星公司的同类型产品标称运动分辨率为50nm。产品应用方面， 哈尔滨工业大学利用Nanomotion驻波型压电超声电机研制出晶圆处理预对准系 统，运动分辨率可达0.4
″
。中国工程物理研究院机械制造工艺研究所利用 Nanomotion HR系列驻波型压电超声电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置，其特征在于，包括模式切换装置；所述模式切换装置包括夹持器(1)、基座(2)、滑座(3)和导向销(6)；所述基座(2)固定安装在稳定结构上，所述导向销(6)固定连接在所述基座(2)内，所述滑座(3)安装在所述基座(2)内且能够沿所述导向销(6)轴向方向自由移动；压电超声电机(7)安装在所述滑座(3)上；所述夹持器(1)用于实现所述滑座(3)的固定与释放，从而实现所述压电超声电机(7)的运动状态切换，以提高所述压电超声电机(7)的运动分辨率。2.根据权利要求1所述的一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置，其特征在于，所述模式切换装置还包括弹性元件(4)；所述基座(2)内部沿所述导向销(6)轴向方向的两侧壁分别开设有2个开孔，在每个开孔内设置一个所述弹性元件(4)，所述弹性元件(4)的一端与所述滑座(3)端面接触，所述弹性元件(4)的另一端通过顶丝(5)封堵。3.根据权利要求2所述的一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置，其特征在于，所述弹性元件(4)采用弹簧。4.根据权利要求1所述的一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置，其特征在于，所述夹持器(1)采用气动装置，所述夹持器(1)内部装有两个伸缩气缸；气路接通后所述气缸伸出抵住所述滑座(3)，且所述气缸产生的摩擦力大于所述压电超声电机(7)的摩擦驱动力，使压电超声电机(7)运动时，所述滑座(3)无法沿所述导向销(6)移动，则所述滑座(3)与所述基座(2)不发生相对移动；气路断开后，所述气缸缩回，所述滑座(3)与所述夹持器(1)分离，所述滑座(3)可沿所述导向销(6)轴向方向滑动，则所述滑座(3)与所述基座(2)形成相对运动。5.根据权利要求1所述的一种驻波型压电超声电机运动分辨率提升装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡秋，李梦阳，郭英杰，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：