一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法，包括上层驱动结构和下层驱动结构；所述上层驱动结构包括上层转子、沿上层转子圆心对称布置于所述上层转子圆周侧的上层压电马达组；所述下层驱动结构包括下层转子、沿下层转子圆心对称布置于所述下层转子圆周侧的下层压电马达组，所述上层压电马达组和下层压电马达组均包括N个压电马达；所述上层转子和下层转子同轴设置，且所述上层转子在所述上层压电马达组的驱动下沿顺时针方向转动，所述下层转子在所述下层压电马达组的驱动下沿逆时针方向转动。本发明专利技术采用两组分布在不同驱动半径上的压电马达反向运动，形成差动位移，从而实现运动分辨率的提升。从而实现运动分辨率的提升。从而实现运动分辨率的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法


[0001]本专利技术属于精密致动
，具体涉及一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法。

技术介绍

[0002]压电马达是一种新型的微致动器，其原理是利用压电陶瓷的逆压电效应和弹性体的超声振动，将微观变形通过共振放大和机电耦合转换成动子或滑块的宏观运动。由于压电马达具有低速、高分辨率等优点，且无信号输入时可依靠静摩擦力使马达输出轴保持自锁，因此在精密机械和自动控制领域中得到了良好的应用。根据其驱动机理可分为行波型、声表面波型和驻波型。驻波型压电马达通过电压控制压电材料的弯曲模态，在驱动端形成空间椭圆轨迹，拨动转子运动。具有设计灵活，结构简单，易于小型化等优点，近年来被广泛应用在精密气浮平台、微型手术机器人和光刻机等领域。
[0003]超精密运动平台尤其是气浮平台应用压电电机作为运动组件时，是利用压电马达驱动头拨动陶瓷转子实现陶转子运动的。图1所示为典型驻波式压电马达驱动转台方案。两台压电马达1、2对称安装在转子圆周两侧，调节两套马达位置使驱动头法向压紧转子。当施加一定的电压信号于压电马本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置，其特征在于，包括上层驱动结构和下层驱动结构；所述上层驱动结构包括上层转子、沿上层转子圆心对称布置于所述上层转子圆周侧的上层压电马达组；所述下层驱动结构包括下层转子、沿下层转子圆心对称布置于所述下层转子圆周侧的下层压电马达组，所述上层压电马达组和下层压电马达组均包括N个压电马达，其中，N为大于等于2的正整数；所述上层转子和下层转子同轴设置，且所述上层转子在所述上层压电马达组的驱动下沿顺时针方向转动，所述下层转子在所述下层压电马达组的驱动下沿逆时针方向转动。2.根据权利要求1所述的一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置，其特征在于，所述上层转子和下层转子构成双层一体式同轴结构。3.根据权利要求1所述的一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置，其特征在于，所述上层转子和下层转子构成双层分离式同轴结构。4.根据权利要求1所述的一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置，其特征在于，2N个所述压电马达错层均布于转子圆周侧。5.根据权利要求1所述的一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置，其特征在于，N的取值为3，6个压电马达...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡秋，李梦阳，王佳昌，张日升，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：