下载一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法的技术资料

文档序号:30766801

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本发明公开了一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法,包括上层驱动结构和下层驱动结构;所述上层驱动结构包括上层转子、沿上层转子圆心对称布置于所述上层转子圆周侧的上层压电马达组;所述下层驱动结构包括下层转子、沿下层转子圆心对称布置于所述下层...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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