【技术实现步骤摘要】
SUS初步过滤器
[0001]本技术涉及半导体
,尤其涉及SUS初步过滤器。
技术介绍
[0002]由于半导体一部分光刻过程中使用的特殊光刻胶膜厚较厚,在光刻后去除表面残胶时候,残胶多为片状,去胶液无法在短时间内将胶溶解,在液体循环时候容易将过滤器内滤芯堵塞,所以本技术提供了一种SUS初步过滤器以供使用。
技术实现思路
[0003]技术目的:为了解决
技术介绍
中存在的不足,所以本技术公开的SUS初步过滤器。
[0004]技术方案:SUS初步过滤器,包括壳体和可拆式过滤芯,所述可拆式过滤芯设置在壳体的内部,所述可拆式过滤芯的顶部设置有流量入口,且所述流量入口设置为斜坡结构,所述壳体的一侧表面设置有进液口,且所述进液口的高度高于流量入口的高度,所述壳体的另一侧表面设置有出液口,且所述出液口的高度低于流量入口的高度,所述可拆式过滤芯的内置有过滤网,所述可拆式过滤芯的表壁成型有数个过滤孔,所述壳体的外部设置有排液口。
[0005]进一步的是,所述壳体顶部设置有壳盖,且所述壳体与壳盖通过活动式卡扣固定。
[0006]进一步的是,所述可拆式过滤芯的顶部固设有拎把手。
[0007]进一步的是,所述过滤孔具体设计为圆形孔结构。
[0008]进一步的是,所述过滤网为100目过滤网。
[0009]本技术实现以下有益效果:
[0010]本技术能解决去胶液因无法在短时间内将胶溶解,并在液体循环时候容易将过滤器内滤芯堵塞的问题,且成本较低,实用性相对较强。
附图说 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.SUS初步过滤器,其特征在于,包括壳体和可拆式过滤芯,所述可拆式过滤芯设置在壳体的内部,所述可拆式过滤芯的顶部设置有流量入口,且所述流量入口设置为斜坡结构,所述壳体的一侧表面设置有进液口,且所述进液口的高度高于流量入口的高度,所述壳体的另一侧表面设置有出液口,且所述出液口的高度低于流量入口的高度,所述可拆式过滤芯的内置有过滤网,所述可拆式过滤芯的表壁成型有数个过滤孔,所述壳体的外部设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员:周志刚,王静强,徐福兴,黄锡钦,陈亮,
申请(专利权)人:昆山基侑电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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