【技术实现步骤摘要】
一种用于抽气管路的阀组件和抽真空装置
[0001]本技术涉及抽真空设备领域，特别是一种用于抽气管路的阀组件和抽真空装置。
技术介绍
[0002]目前，许多半导体加工需要再降压或炽热放电的环境中进行，例如低压化学气相沉积(LPCVD)，等离子体辅助化学气相沉淀(PECVD)、蒸镀、磊晶、溅镀、干刻蚀等，因此，用于这些工序的相关设备需要使用真空系统，已达到所要求的的工作条件。
[0003]现有的刻蚀机台中，例如Tegal 901，其抽气系统通常包括抽气泵、隔离泵和腔体，隔离泵连接于抽气泵和腔体之间，晶圆1放置于腔体的底座2内，在隔离泵和腔体连接处设置有中心环3，参见图1，其为中空的环状结构。在抽气系统工作时，腔体内会产生较大的气流，且压力快速下降，容易导致腔体内的晶圆片3偏移，参见图2和图3，这种情况下进行加工，会对产品的品质造成影响。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于克服现有技术中抽气过程中压力下降过快，影响产品的品质，提出一种用于抽气管路的阀组件和抽真空装置，能避免压力下降过快导致的产品移位...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于抽气管路的阀组件，包括环座，其安装于抽气管路并设有通孔，其特征在于：还包括阀片，其位于环座一侧且可在外力或重力作用下与通孔形成开启的粗抽通道，阀片与环座可转动连接且可在抽气气流作用下覆盖通孔以关闭粗抽通道；该环座和/或阀片，或环座和阀片之间还设有细抽通道。2.如权利要求1所述的一种用于抽气管路的阀组件，其特征在于：还包括有弹片，其一端与环座固定相连，另一端与阀片相连以使粗抽通道开启。3.如权利要求2所述的一种用于抽气管路的阀组件，其特征在于：所述弹片另一端与所述阀片的靠近中部或远离弹片一端处相连。4.如权利要求2所述的一种用于抽气管路的阀组件，其特征在于：所述细抽通道包括至少一小孔。5.如权利要求1所述的一种用于抽气管路的阀组件，其特征在于：所述环座所在平面与抽气管路截面具有夹角以使粗抽通道开启。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖彦铵，蔡文必，赵盛达，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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