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一种用于抽气管路的阀组件和抽真空装置,包括环座,其安装于抽气管路并设有通孔,其特征在于:还包括阀片,其位于环座一侧且可在外力或重力作用下与通孔形成开启的粗抽通道,阀片与环座可转动连接且可在抽气气流作用下覆盖通孔以关闭粗抽通道;该环座和/或阀...该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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一种用于抽气管路的阀组件和抽真空装置,包括环座,其安装于抽气管路并设有通孔,其特征在于:还包括阀片,其位于环座一侧且可在外力或重力作用下与通孔形成开启的粗抽通道,阀片与环座可转动连接且可在抽气气流作用下覆盖通孔以关闭粗抽通道;该环座和/或阀...