一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，涉及刻蚀装置技术领域，包括装置外壳，所述装置外壳的顶部设置有风机，所述风机的出风口连通有风管。本实用新型专利技术，电机带动牵引轴进行转动，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的，使得装置能够对单晶硅本体进行稳定的刻蚀，提高了装置的实用性，在刻蚀过程中风机将风通过风管输送至装置外壳的内部，再由透风板输出，从而达到了风向的流通的目的，有利于装置在刻蚀过程中能够保持一个好的通风环境，提高了装置的工作效率，使得装置能够进行高效的对单晶刻蚀。行高效的对单晶刻蚀。行高效的对单晶刻蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置


[0001]本技术涉及刻蚀装置
，尤其涉及一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置。

技术介绍

[0002]传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
[0003]但是现有技术中，现有的传感器在制造过程中需要使用到单晶硅，然而单晶硅在刻蚀的过程中，如果装置在刻蚀过程中没有进行良好对的通风则会导致硅体产生黑边，且装置在刻蚀过程中如若发生抖动，可能导致硅体的某些部位刻蚀不足，以及黑边现象，且单晶硅在刻蚀的过程中所需液体的温度需在5
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10度之间，温度过高则会损害硅体。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，包括装置外壳(1)，其特征在于：所述装置外壳(1)的顶部设置有风机(2)，所述风机(2)的出风口连通有风管(3)，且风管(3)的一端延伸至装置外壳(1)的内部，所述装置外壳(1)的一侧外表面固定有透风板(4)，所述装置外壳(1)的内部前表壁与后表壁之间滑动有多个滚轮(5)，多个所述滚轮(5)的两端均固定有转杆(16)，多个所述转杆(16)共分为两组，一组多个所述转杆(16)的一端均与装置外壳(1)的内部前表壁滑动嵌设，另一组多个所述转杆(16)的一端均与装置外壳(1)的内部后表壁滑动嵌设，多个所述滚轮(5)的顶部之间放置有多个单晶硅本体(6)，所述装置外壳(1)的底部设置有刻蚀液体(7)，所述装置外壳(1)的内部底面固定有金属板(8)，所述装置外壳(1)的后表面固定有防护外壳(17)，所述防护外壳(17)的内部设置有电机(18)，所述电机(18)的输出轴固定有牵引轴(19)，所述牵引轴(19)的外表面与一个所述滚轮(5)的外表面之间滑动套设有牵引绳(20)，多个所述滚轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙拓夫，陈名佶，王彩英，奚君，
申请(专利权)人：芜湖致通汽车电子有限公司，
类型：新型
国别省市：