转移装置、转移系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种转移装置、转移系统，转移装置包括转移基板、激发部和柔性膜，激发部位于转移基板和柔性膜之间，激发部用于在激发源的激发下产生气体，以产生至少在转移基板厚度方向上的推力，使得柔性膜在受到推力的位置发生形变，使得待转移芯片阵列中的待转移芯片与柔性膜的接触面积减小，最终使得待转移芯片阵列与转移装置分离，实现对待转移芯片的大批量转移。柔性膜的设置，可以起到缓冲和均匀应力的作用，使得待转移芯片阵列中的至少部分待转移芯片可以在均匀应力的作用下，分离至目标基板的需要对准的位置，提高了转移精度。柔性膜的设置，还可以避免激发部受激发产生的气体对待转移芯片的腐蚀等损害。产生的气体对待转移芯片的腐蚀等损害。产生的气体对待转移芯片的腐蚀等损害。

【技术实现步骤摘要】
转移装置、转移系统


[0001]本技术实施例涉及显示
，尤其涉及一种转移装置、转移系统。

技术介绍

[0002]目前，微发光二极体(Micro Light Emitting Diode，Micro LED)由于其高响应速度，高色域，高亮度，长寿命等，被称为未来显示技术；液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)配合毫米发光二极管(Mini Light Emitting Diode，MINI LED)背光技术，量子的技术或者高演色性技术，也是使之相对于有机发光二极管(Organic light
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emitting diode，OLED)保持寿命，亮度优势同时，缩小其在对比度，色域方面的相对劣势的手段。
[0003]目前大批量转移以上技术的瓶颈之一，目前采用的技术是机械式的打件，印章式，静电式，流体组装等等。都由于转移效率，良率和精度的问题，难以支撑Micro LED，MINI LED技术的大批量生产和普及化。
[0004]因此，提供一种装置来实现Micro LED和MINI LED等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转移装置，其特征在于，包括：转移基板、激发部和柔性膜，所述激发部位于所述转移基板和所述柔性膜之间，所述激发部用于在激发源的激发下产生气体，以产生至少在所述转移基板厚度方向上的推力，以使所述柔性膜的至少部分位置发生形变。2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移基板上具有多个凹槽；所述激发部位于所述凹槽内，所述柔性膜位于所述转移基板具有凹槽的表面。3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述凹槽的截面为矩形、梯形或弧形。4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述凹槽的截面形状为抛物线形。5.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述柔性膜为非粘性材料，所述转移装置还包括第一粘附层和第二粘附层，所述第一粘附层位于所述柔性膜与所述转移基板之间，所述第二粘附层位于所述柔性膜远离所述转移基板的一侧；或者，所述柔性膜的材料为粘性材料。6.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述激发源为电磁波能量源、热源或化学源，其中所述化学源包括化学物质。7.根据权利要求6所述的转移装置，其特征在于，所述激发源为电磁波能量源，所述激发部的至少一侧可透过所述电磁波能量源发出的设定波长的电磁波，所述设定波长的电磁波用于激发所述激发部。8.根据权利要求7所述的转移装置，其特征在于，所述柔性膜和所述转移基板中至少一者可透过所述设定波长的电磁波。9.根据权利要求8所述的转移装置，其特征在于，可透过所述设定波长的电磁波的结构远离所述激发部的一侧设置有电磁波能量吸收膜，所述电磁波能量吸收膜用于至少吸收所述设定波长的电磁波，其中所述可透过所述设定波长的电磁波的结构为...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维善，
申请(专利权)人：南昌广恒电子中心有限合伙，
类型：新型
国别省市：