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本实用新型实施例公开了一种转移装置、转移系统，转移装置包括转移基板、激发部和柔性膜，激发部位于转移基板和柔性膜之间，激发部用于在激发源的激发下产生气体，以产生至少在转移基板厚度方向上的推力，使得柔性膜在受到推力的位置发生形变，使得待转移芯片...
该专利属于南昌广恒电子中心（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过南昌广恒电子中心（有限合伙）授权不得商用。

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