硅片吹干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片吹干设备，包括：升降装置、花篮、第一硅片传输装置、第二硅片传输装置、上风刀、下风刀和高压风机；所述花篮内放置有多个互相间隔的硅片，所述硅片和水平面平行，所述升降装置承载所述花篮，所述升降装置用于改变所述花篮的高度，所述第一硅片传输装置将所述花篮内的硅片传输到所述第二硅片传输装置上，所述高压风机连接所述上风刀和所述下风刀，所述上风刀位于所述第二硅片传输装置的上侧，所述下风刀位于所述第二硅片传输装置的下侧。本实用新型专利技术的有益效果：利用升降装置和第一硅片传输装置将花篮内的硅片依次运输到第二硅片传输装置上，上风刀和下风刀从上下两侧对硅片进行烘干，效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
硅片吹干设备


[0001]本技术涉及硅片生产领域，具体涉及一种硅片吹干设备。

技术介绍

[0002]在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
[0003]传统技术存在以下技术问题：
[0004]硅片制作过程中，需要对清洗后花篮中的硅片进行烘干，现有都是工人手持吹风机进行烘干，效率低。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是提供一种硅片吹干设备，效率高。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种硅片吹干设备，包括：升降装置、花篮、第一硅片传输装置、第二硅片传输装置、上风刀、下风刀和高压风机；所述花篮内放置有多个互相间隔的硅片，所述硅片和水平面平行，所述升降装置承载所述花篮，所述升降装置用于改变所述花篮的高度，所述第一硅片传输装置将所述花篮内的硅片传输到所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片吹干设备，其特征在于，包括：升降装置、花篮、第一硅片传输装置、第二硅片传输装置、上风刀、下风刀和高压风机；所述花篮内放置有多个互相间隔的硅片，所述硅片和水平面平行，所述升降装置承载所述花篮，所述升降装置用于改变所述花篮的高度，所述第一硅片传输装置将所述花篮内的硅片传输到所述第二硅片传输装置上，所述高压风机连接所述上风刀和所述下风刀，所述上风刀位于所述第二硅片传输装置的上侧，所述下风刀位于所述第二硅片传输装置的下侧。2.如权利要求1所述的硅片吹干设备，其特征在于，所述第一硅片传输装置包括传输装置机架、驱动电机、电机驱动轮组、传动皮带组和传动轮组；所述驱动电机驱动所述电机驱动轮组旋转，所述电机驱动轮组通过所述传动皮带组带动所述传动轮组；所述传动轮组和所述传输装置机架转动连接。3.如权利要求2所述的硅片吹干设备，其特征在于，所述电机驱动轮组包括第一电机驱动轮和第二电机驱动轮；所述第一电机驱动轮和第二电机驱动轮通过电机驱动轴固定连接；所述传动轮组包括第一传动轮和第二传动轮；所述第一传动轮和第二传动轮通过传动驱动轴固定连接；所述传动皮带组包括第一传动皮带和第二传动皮带；所述第一电机驱动轮通过所述第一传动皮带带动所述第一传动轮，所述第二电机驱动轮通过所述第二传动皮带带动所述第二传动轮。4.如权利要求3所述的硅片吹干设备，其特征在于，所述第一电机驱动轮上设有圆周均匀分布的第一驱动齿，所述第一传动皮带内侧设有第一传动凹槽，所述第一传动轮上设有圆周均匀分布的第一传动齿；所述第一驱动齿和所述第一传动凹槽互相配合，所述第一传动齿和所述第一传动凹槽互相配合。5.如权利要求3所述的硅片吹干设备，其特征在于，所述第二电机驱动轮上设有圆周均匀分布的第二驱动齿，所述第二传动皮带内侧设有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世贤，戴军，吴廷斌，杨欣，
申请(专利权)人：元能微电子科技南通有限公司，
类型：新型
国别省市：