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本实用新型公开了一种硅片吹干设备，包括：升降装置、花篮、第一硅片传输装置、第二硅片传输装置、上风刀、下风刀和高压风机；所述花篮内放置有多个互相间隔的硅片，所述硅片和水平面平行，所述升降装置承载所述花篮，所述升降装置用于改变所述花篮的高度，所...
该专利属于元能微电子科技南通有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过元能微电子科技南通有限公司授权不得商用。

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