具有使传感器间距最佳化的浅蚀刻空气轴承表面特征的滑板及其制造方法技术

一种在后沿移动板的浅蚀刻使滑板靠近记录媒体而浮动且对侧倾不敏感。滑板包括支承结构和移动板，移动板有侧沿和在支承结构上方抬起的空气轴承表面。移动板包含装于支承结构上的磁性元件。对接近磁性元件的移动板诸沿进行蚀刻，可使磁性元件在磁盘上的浮动高度减至最小同时防止移动板在侧倾状态时与磁盘碰撞；使接近磁性元件的移动板沿低于空气轴承表面但高于支承结构，且使极小机械滑板／磁盘间距与磁头／磁盘间距之间的差距最小又使传感器间距最佳化。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一般说来，本专利技术涉及用于记录媒体的空气轴承滑板；更详细地说，涉及一种有空气轴承面特点的滑板，这些特点可使最小机械滑板/磁盘间距与磁头/磁盘间距之间的差距为最小。常规的磁盘驱动器都是信息存储设备，它们利用至少一个具有同心数据磁道的可转动磁媒体盘，一个用于在不同磁道上读和写数据的读/写传感器，一个通常在媒体上方以浮动方式支撑靠近磁道的传感器的空气轴承滑板，一个用于在数据磁道上方弹性地支撑空气轴承滑板和传感器的悬浮体，和一个连接于悬浮体的定位致动器，它用于把跨越媒体的传感器移到期望的数据磁道，并且在一个读或写操作期间在数据磁道的上方维持传感器。在磁记录技术中，一直期望提高能够借以记录和可靠阅读信息的面积密度。因为磁盘驱动器的记录密度受限于传感器与磁媒体之间的距离，故空气轴承滑板设计之目的在于尽可能靠近磁媒体地“浮动”一个空气轴承滑板，同时避免与该媒体机械碰撞。期望间距或“浮动高度”较小，以便传感器能够对磁盘上密排区所发出的诸磁场进行识别。区段位记录能够在磁盘存储文件方面提供显著的性能与容量改进。为了改进这一技术，最好是在从磁盘的内径(ID)到外径(OD)的全部区中都维持读/写头与磁盘之间的恒定间距。还期望在全部数据区都尽可能低地浮动，以提高幅度与分辨率，并且进一步提高面积密度和文件容量。然而，低的浮动高度使人担心文件存储器方面的力学可靠性启动/停止寿命和长期浮动能力。越过数据区的恒定浮动高度向滑板设计提出一个重大的挑战，因为由旋转盘产生的空气速度相对于空气轴承滑板在大小和方向方面都完全随旋转致动器文件存储器中半径而变。空气轴承滑板也由于侧倾而经受浮动高度的变化。对于一个相对于磁盘转动有零斜交的空气轴承滑板来说，侧倾是对绕空气轴承滑板纵轴转动的角度的一种度量。当弹性安装的滑板经受一个斜交的气流，或者致动器经受一个与磁盘的碰撞时，就发生侧倾变化。对侧倾变化的不敏感性是空气轴承滑板的一个决定性要求。最后，当致动器存取磁盘各种部位上的数据时，在致动器的高速径向移动期间，空气轴承滑板经受不断变化的条件。高速移过磁盘能够导致大的滑板侧倾、俯仰和倾斜数值，并产生浮动高度上的变化。这就是空气轴承滑板必须对侧倾、俯仰和倾斜的变化不敏感的又一个理由。典型的锥形-平板型滑板不能够满足区位记录的恒定间距的要求。对大多数旋转致动器结构来说，锥形-平板型滑板的浮动高度会随着磁头从ID移出而迅速增加。当它接近数据区中部时，它达到一个最大的间距，可以增加到两倍于初始ID浮动高度。此后，当空气轴承滑板移向磁盘的外缘时，其间隙减小。当发生浮动高度上的任何上述变化时，都可导致空气轴承滑板与快速旋转记录媒体接触。任何这类接触都可导致空气轴承滑板与记录表面磨损，且可能毁坏。现有技术的滑板设计已试图通过解决一个或多个上述灵敏度问题来避免这一问题，以便生产一种在空气轴承滑板可能经受的变化条件下具有均匀浮动高度的空气轴承滑板。已开发出另一些用于空气轴承表面的结构，以提供所需的空气动力学性能。此外，这些结构常用一些滑板俯仰与侧倾之间的折衷办法去达到期望的平头/磁盘间距。然而，提供空气轴承表面的移动板宽度还必须能够适应读写传感器。因此，滑板浮动位置上的变化能够产生小得多的机械滑板/磁盘间距，因为磁头/磁盘间距相应地增加。举例来说，附图说明图1A说明一种现有技术的滑板10，它具有一个前沿12，一个后沿14和两个侧沿16，18。当磁盘开始旋转时，滑板如此俯仰使前沿12相对于后沿14而抬起，如图1A所示。图1A所示的滑板包括两个侧移动板20，22和一个中央移动板24，它们都符合给定的性能标准。两个侧移动板20，22和一个中央移动板24都装在一个支承结构26上。一个传感器28在后沿14处装于中央移动板24上，以在盘上进行读/写操作。图1B示出在滑板10的后沿14的中央移动板24的近观图。还示出传感器28的磁头间隙32。在上面描述的条件下，滑板可能经受用纵向位移角34表示的侧倾，这可使滑板由于小得多的机械滑板/磁盘间距而接触旋转的磁盘。图2说明一个极小的侧倾角34是如何使中央移动板缘42的机械间距比磁头间隙浮动高度小得多的。图2示出一个沿图1A的A-A线的现有技术滑板10的后视图。图2中的视图是为说明起见而放大的。在图2中，示出了装于支承结构26上的中央移动板24。当滑板10经受一个极小的侧倾角34时，在中央移动板24的缘42与磁盘44之间的机构间距40减小，而在磁头间隙48与磁盘44之间的磁间距46则减小程度较小，保持相同，或者变大，这取决于侧倾轴是否从滑板的中央纵轴移开。图2说明一种在磁头间隙48与磁盘44之间的磁间距46变大的情况。在机械间距40与磁头间隙浮动高度48之间的差值可以是相当大的。例如，一个具有400μm后沿移动板宽度和极小的50μrad浮动侧倾方位角的滑板将具有一个最小的机械间距40，它比期望的磁间距46浮动高度小10nm，期望的磁间距46浮动高度使滑板抬起，以提高耐磨性，即提高使用寿命。因此可以看出，有必要使滑板具有一些使最小机械滑板/磁盘间距与磁头/磁盘间距之间差距为最小的空气轴承表面特点。还可以看出，有必要使滑板具有一些容许传感器间距最佳化的浅蚀刻特点。还可以看出，有必要使磁盘驱动器具有一个呈现窄后沿移动板的滑板，同时仍提供用于读/写传感器的足够区，从而使最小机械滑板/磁盘间距与磁头/磁盘间距之间的差距减至最小。为了克服在上述现有技术中的限制，和克服会在阅读和了解本说明书中明了的其他限制，本专利技术公开一种容许滑板更靠近记录媒体浮动的在后沿移动板处的浅蚀刻。一种根据本专利技术原理的系统包括一个支承结构，该结构具有，相对于记录媒体的运动来说，一些侧沿，一个前沿和一个后沿；并包括至少一个移动板，该板具有一些侧沿和一个在支承结构上方抬起的空气轴承表面；其中至少一个移动板包括一个磁性元件，并且其中靠近磁性元件的移动板的诸沿被蚀刻，使磁性元件在磁盘上方的浮动高度减至最小，同时防止移动板在处于侧倾状态期间与磁盘发生碰撞。移动板的蚀刻特点可产生一些辅助的后沿段，在此，靠近磁性元件的移动板沿可以低于其他的空气轴承表面，但高于支承结构。本专利技术的一个方面是，滑板具有空气轴承特点，这些特点可使最小机械滑板/磁盘间距与磁头/磁盘间距之间的差距为最小。本专利技术的另一个方面是，滑板具有浅蚀刻的特点，这些特点可使传感器的间距最佳化。本专利技术的又一个方面是，磁盘驱动器可以包括一个滑板，该板呈现一个有窄后沿的移动板，同时仍提供用于读/写传感器的足够区，从而使最小机械滑板/磁盘间距与磁头/磁盘间距之间的差距减至最小。在另一个实施例中，靠近磁性元件的空气轴承表面沿是用蚀刻或离子蚀刻方法变短的，即，它们不完全延伸到后沿。表示本专利技术特征的这些和其他各种新颖性的优点和特点，会在此附上的权利要求书中具体指出，并且构成它的一部分。然而，为更好地了解本专利技术，它的优点和按其应用得到的目的，应参考构成本专利技术另一部分的图及其有关描述，其中有一些根据本专利技术的设备的说明和描述性具体实例。现在参阅诸图，其中相同的标号始终表示相应的部分图1A说明一个现有技术的滑板；图1B说明用于图1现有技术滑板的中央移动板的后沿；图2说明沿图1A线A-A的现有技术滑板的后视图；图3A说明根据本专利技术的具有浅蚀刻特点的滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滑板，用来支承一个在一个移动记录媒体上的传感器，包括： 一个支承结构，具有相对于记录媒体的运动的一些侧沿，一个前沿和一个后沿；和 至少一个移动板，它具有一些侧沿和在支承结构上抬起的空气轴承面，其中至少一个移动板包含一个磁元件，并且其中最接近磁元件的移动板沿是被蚀刻的，以便使磁元件在记录媒体上方的浮动高度减至最小，并使移动板沿与记录媒体之间的间隙成为最大，从而防止移动板与记录媒体碰撞。

【技术特征摘要】
US 1996-3-1 6096021.一种滑板，用来支承一个在一个移动记录媒体上的传感器，包括一个支承结构，具有相对于记录媒体的运动的一些侧沿，一个前沿和一个后沿；和至少一个移动板，它具有一些侧沿和在支承结构上抬起的空气轴承面，其中至少一个移动板包含一个磁元件，并且其中最接近磁元件的移动板沿是被蚀刻的，以便使磁元件在记录媒体上方的浮动高度减至最小，并使移动板沿与记录媒体之间的间隙成为最大，从而防止移动板与记录媒体碰撞。2.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，磁元件是在支承结构的后沿支承的。3.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，移动板还包括一些辅助后沿段，在此，靠近磁元件的移动板沿是相对于支承结构的后沿而被弄短的。4.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，具有支承于其上的磁元件的移动板是以在支承结构的诸侧沿之间的滑板为中心的。5.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，具有支承于其上的磁元件的移动板是沿着支承结构的一侧而安装的。6.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，它还至少包括一个附加的移动板，用于提供滑板的空气动力学控制。7.根据权利要求3所述的滑板，其特征在于，接近磁性元件的移动板的诸弄短沿是被完全去除到支承结构高度的。8.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，接近磁性元件的移动板的诸沿是用活性离子蚀刻技术蚀刻的。9.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，接近磁性元件的移动板的诸沿是用离子铣技术蚀刻的。10.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，接近磁性元件的两侧的空气轴承面的诸沿是被除去的。11.根据权利要求10所述的滑板，其特征在于，接近磁性元件的空气轴承面的诸沿是被去除到一个低于空气轴承表面但高于支承结构的高度的。12.根据权利要求1所述的滑板，其特征在于，接近磁性元件的空气轴承面的诸沿是被去除到一个低于空气轴承表面但高于支承结构的高度的。13.一种用于支承一个传感器的滑板，该滑板在一个移动记录磁盘上方浮动，并且具有一个机械磁盘/滑板间隙和一个磁头/磁盘间隙，它包括一个支承结构，具有相对于记录磁盘的运动的一些侧沿，一个前沿和一个后沿；和至少一个空气轴承表面，它安排在面对着移动记录磁盘的支承结构上，其中至少一个空气轴承表面提供一个用于磁头的安装表面，并且其中至少一个接近磁头的空气轴承表面的沿是被去除的，以便增加磁盘与滑板之间的机械间隙。14.根据权利要求13所述的滑板，其特征在于，接近磁头的两侧的空气轴承表面的诸沿是被去除的。15.根据权利要求13所述的滑板，其特征在于，提供用于安装磁头的表面的空气轴承表面，是在滑板中心定位的。16.根据权利要求15所述的滑板，其特征在于，接近磁头两侧的空气轴承表面的诸沿是被去除的。17.根据权利要求16所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的诸沿是被完全去除的，以便露出其支承结构。18.根据权利要求16所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的诸沿是被去除到一个低于空气轴承表面但高于支承结构的高度的。19.根据权利要求16所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的诸沿是用活性离子蚀刻技术去除的。20.根据权利要求16所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的诸沿是用离子铣技术去除的。21.根据权利要求13所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的诸沿是用活性离子蚀刻法去除的。22.根据权利要求13所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的诸沿是用离子铣技术去除的。23.根据权利要求13所述的滑板，其特征在于，接近磁头的空气轴承表面的分段是相对于支承结构的后沿而弄短的，...

【专利技术属性】
技术研发人员：桑福德A博拉那，劳伦斯S塞缪尔森，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]