检测设备及检测方法技术

本申请公开了一种检测设备。检测设备用于检测工件，工件包括第一区域及第二区域，第一区域的反射率大于第二区域的反射率。检测设备包括第一探测装置及第二探测装置。第一探测装置用于以第一照明光投射至第一区域，并采集包括第一区域的第一图像。第二探测装置用于以第二照明光投射至第二区域，并采集包括第二区域的第二图像，第一照明光的强度小于第二照明光的强度。本申请还公开了一种检测方法。对于反射率较大的第一区域，利用第一探测装置，以强度较小的第一照明光照射后，采集包括第一区域的第一图像，对于反射率较小的第二区域，利用第二探测装置，以强度较大的第二照明光照射后，采集包括第二区域的第二图像，提高检测结果的准确性。果的准确性。果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
检测设备及检测方法


[0001]本申请涉及工业检测
，特别涉及一种检测设备及检测方法。

技术介绍

[0002]在检测面板时，通常采用自动光学检测(Automated Optical Inspection,AOI)设备中的相机采集面板的图像，通过分析所采集的图像以检测面板中的缺陷信息，因此，相机所采集的图像的质量好坏，对检测结果是否准确具有至关重要的影响，在实际的检测过程中，相机采集的同一张图像中，经常出现面板的有些区域过曝，同时有些区域却亮度不足的问题，导致图像的质量较低，且最终的检测结果的准确性较低。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供了一种检测设备及检测方法。
[0004]本申请实施方式的检测设备用于检测工件，所述工件包括第一区域及第二区域，所述第一区域的反射率大于所述第二区域的反射率，所述检测设备包括：
[0005]第一探测装置，所述第一探测装置用于以第一照明光投射至所述第一区域，并采集包括所述第一区域的第一图像；及
[0006]第二探测装置，所述第二探测装置用于以第二照明光投射至所述第二区域，并采集包括所述第二区域的第二图像，所述第一照明光的强度小于所述第二照明光的强度。
[0007]在某些实施方式中，所述第一区域沿第一方向延伸，所述检测设备还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述工件与所述第一探测装置在所述第一方向上相对运动。
[0008]在某些实施方式中，所述工件包括多个所述第一区域，多个所述第一区域沿第二方向排列，所述第二方向与所述第一方向不同；
[0009]所述检测设备还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述工件与所述第一探测装置在所述第二方向上相对运动，以使所述第一探测装置对准任意一个所述第一区域。
[0010]在某些实施方式中，所述第一探测装置的数量为多个，所述第二驱动装置用于驱动每个所述第一探测装置在所述第二方向上相对于其余的所述第一探测装置独立地运动。
[0011]在某些实施方式中，所述工件还包括第三区域，所述第三区域的反射率大于所述第二区域的反射率，所述第二探测装置还用于以第三照明光投射至所述第三区域，并采集包括所述第三区域的第三图像，所述第三照明光的强度小于所述第二照明光的强度。
[0012]在某些实施方式中，在所述第一方向上，所述第二区域与所述第三区域交替分布，所述第二探测装置用于交替且循环地采集所述第二区域的图像，及采集所述第三区域的图像。
[0013]本申请实施方式的检测方法用于检测工件，所述工件包括第一区域及第二区域，所述第一区域的反射率大于所述第二区域的反射率，所述检测方法包括：
[0014]第一采集步骤：通过第一探测装置以第一照明光投射至所述第一区域，并采集包括所述第一区域的第一图像；
[0015]第二采集步骤：通过第二探测装置以第二照明光投射至所述第二区域，并采集包括所述第二区域的第二图像，所述第一照明光的强度小于所述第二照明光的强度；及
[0016]检测步骤：基于所述第一图像及所述第二图像检测所述工件。
[0017]在某些实施方式中，所述检测步骤包括：
[0018]识别所述第一图像中与所述第一区域对应的第一图像区域；
[0019]识别所述第二图像中与所述第二区域对应的第二图像区域；及
[0020]基于所述第一图像区域与所述第二图像区域检测所述工件。
[0021]在某些实施方式中，所述工件还包括第三区域，所述第三区域的反射率大于所述第二区域的反射率，所述检测方法还包括第三采集步骤：通过第二探测装置以第三照明光投射至所述第三区域，并采集包括所述第三区域的第三图像；
[0022]所述检测步骤包括：基于所述第一图像、所述第二图像及所述第三图像检测所述工件。
[0023]在某些实施方式中，所述第二区域与所述第三区域沿第一方向上交替分布，所述检测方法还包括：
[0024]驱动步骤：驱动所述工件与所述第二探测装置在所述第一方向上相对运动；及
[0025]在实施所述驱动步骤的过程中，交替且循环实施所述第二采集步骤及所述第三采集步骤。
[0026]本申请实施方式的检测设备及检测方法中，对于反射率较大的第一区域，利用第一探测装置，以强度较小的第一照明光照射后，采集包括第一区域的第一图像，对于反射率较小的第二区域，利用第二探测装置，以强度较大的第二照明光照射后，采集包括第二区域的第二图像，由此，通过第一图像可以较准确地检测第一区域，通过第二图像可以较准确地检测第二区域，提高检测结果的准确性。
[0027]本申请实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0028]本申请的上述和/或附加的方面和优点可以从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0029]图1为本申请某些实施方式的检测设备的立体结构示意图；
[0030]图2为本申请某些实施方式的检测设备的平面状态示意图；
[0031]图3至图5为本申请某些实施方式的工件的平面结构示意图；
[0032]图6为本申请某些实施方式的检测设备检测工件时的场景示意图；
[0033]图7为本申请某些实施方式的工件的平面结构示意图；
[0034]图8为本申请某些实施方式的检测设备检测工件时的场景示意图；
[0035]图9至图12为本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图。
[0036]主要元件及符号说明：
[0037]检测设备100、第一探测装置10、第二探测装置20、第一驱动装置30、第二驱动装置
40、处理装置50、复检装置60、第一主体70、第二主体80、工件200、第一区域201、第二区域202、第三区域203。
具体实施方式
[0038]下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中，相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的实施方式的限制。
[0039]请参阅图1及图2，图1为本申请某些实施方式的检测设备100的立体结构示意图，图2为本申请某些实施方式的检测设备100的平面状态示意图，本申请实施方式的检测设备100用于检测工件200。其中，请参阅图3至图5所示的例子中，工件200包括第一区域201及第二区域202，第一区域201的反射率大于第二区域202的反射率。
[0040]检测设备100包括第一探测装置10及第二探测装置20。第一探测装置10用于以第一照明光投射至第一区域201，并采集包括第一区域201的第一图像。第二探测装置20用于以第二照明光投射至第二区域202，并采集包括第二区域202的第二图像，第一照明光的强度小于第二照明光的强度。
[0041]在本申请实施方式的检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备用于检测工件，所述工件包括第一区域及第二区域，所述第一区域的反射率大于所述第二区域的反射率，所述检测设备包括：第一探测装置，所述第一探测装置用于以第一照明光投射至所述第一区域，并采集包括所述第一区域的第一图像；及第二探测装置，所述第二探测装置用于以第二照明光投射至所述第二区域，并采集包括所述第二区域的第二图像，所述第一照明光的强度小于所述第二照明光的强度。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一区域沿第一方向延伸，所述检测设备还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述工件与所述第一探测装置在所述第一方向上相对运动。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述工件包括多个所述第一区域，多个所述第一区域沿第二方向排列，所述第二方向与所述第一方向不同；所述检测设备还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述工件与所述第一探测装置在所述第二方向上相对运动，以使所述第一探测装置对准任意一个所述第一区域。4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测装置的数量为多个，所述第二驱动装置用于驱动每个所述第一探测装置在所述第二方向上相对于其余的所述第一探测装置独立地运动。5.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述工件还包括第三区域，所述第三区域的反射率大于所述第二区域的反射率，所述第二探测装置还用于以第三照明光投射至所述第三区域，并采集包括所述第三区域的第三图像，所述第三照明光的强度小于所述第二照明光的强度。6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，在所述第一方向上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，王天民，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：