【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测领域,特别涉及一种动态划定检测区域的面板检测方法及装置。
技术介绍
1、在面板module段的aoi(automated optical inspection,自动光学检测)检测领域,随着工艺技术的更新换代,对于特殊类型的缺陷检出提出了更高精度要求,像原来的微米级的缺陷检出要求,现在升级为亚微米级,使得所使用的镜头放大倍率越来越高,相应地镜头的景深范围逐步被压缩。
2、然而,面板表平面很难保证一个很好的平面度,所以为了保证拍照清晰度,需要对面板表平面进行高度测定,即面板表面探高,探高的结果会引导检测探头(图像检测传感器)在检测过程中适时调整z向高度,以使得探头能够对面板表平面上检测视场范围的区域的对焦。
3、传统技术中,只根据探头的检测视场范围的中心点位置的高度信息调整z向高度或者探头,这就使得,当检测视场范围内高度不均匀时,探头拍摄的图像会出现局部不清晰的情况,影响了面板检测的准确度。
技术实现思路
1、为解决上述问题,本专利技术提供一种动态划定
...【技术保护点】
1.一种动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述高度测量探头为线型高度测量探头。
3.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的高度信息之前还包括:
4.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述至少二个所述检测区域的大小和/或形状不同。
5.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述通过所述图像检测传感器对所述检测区域
...【技术特征摘要】
1.一种动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述高度测量探头为线型高度测量探头。
3.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的高度信息之前还包括:
4.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述至少二个所述检测区域的大小和/或形状不同。
5.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测之前还包括:
6.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息包括:
7.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法,其特征在于,所述根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域包括:
8.一种动态划定检测区域的面板检...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈鲁,王天民,张嵩,
申请(专利权)人:深圳中科飞测科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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