一种光学系统技术方案

本申请公开了一种光学系统，光学系统包括照明光路和成像光路，照明光路用于对待检测物投射照明光束，成像光路用于对待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像；照明光路包括在光路上依次设置的光源、匀光元件和偏振元件；匀光元件用于对光源发出的照明光束进行匀光；偏振元件用于滤除匀光后的光束在非偏振方向上的光分量；偏振元件的偏振方向垂直于光轴，且偏振方向在光轴垂面内的指向与检测图像的背景灰度分布有关；照明光路被用于提供照明功能时，偏振元件的偏振方向固定不变且被配置为将检测图像的背景灰度分布稳定在预设状态。避免图像灰度分布发生波动，能够提高照明光路的光束稳定性，提高成像质量，提高对待测物表面检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学照明领域，特别涉及一种光学系统。

技术介绍

1、在以往的照明光路中，通过匀波、检波、滤波等手段对进入光路的激光光束进行光束调整，调整后的照明光出射到晶圆等待测物的表面，反射光被传输到采集器，采集器形成待测图像以通过分析待测图像确定待测物表面存在的缺陷。

2、为了能够采集到高质量的待测图像，需要提供稳定的照明条件，所以对照明光路的光束调整性能有着很好的要求。在测试场景中，发现待测图像的灰度曲线存在动态波动且平均灰度值忽大忽小的问题，这种不稳定的现象无法满足照明要求，也会对成像结果造成不利影响，严重时会无法确定待测物表面存在的缺陷。因此，如何提高照明光路的光束稳定性成为目前急需解决的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种光学系统，能够提高照明光路的光束稳定性，提高成像质量，进而提高对待测物表面检测的准确性。其具体方案如下：

2、本申请提供了一种光学系统，包括：

3、照明光路和成像光路，所述照明光路用于对待检测物投射照明光束，所述成像光路用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学系统，其特征在于，包括照明光路和成像光路，所述照明光路用于对待检测物投射照明光束，所述成像光路用于对所述待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像；

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述照明光路还包括：

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，所述衰减器包括第一半波片、第一分光片和第二分光片，所述第一半波片用于设置所述光源发出的光束的偏振方向，所述第一分光片用于根据所述第一半波片出射光束的偏振方向确定分光比率并调节出射光功率，所述第二分光片用于消除所述第一分光片厚度产生的光程差。

4.根据权利要求3所述的光学系统，其特...

【技术特征摘要】

1.一种光学系统，其特征在于，包括照明光路和成像光路，所述照明光路用于对待检测物投射照明光束，所述成像光路用于对所述待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像；

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述照明光路还包括：

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，所述衰减器包括第一半波片、第一分光片和第二分光片，所述第一半波片用于设置所述光源发出的光束的偏振方向，所述第一分光片用于根据所述第一半波片出射光束的偏振方向确定分光比率并调节出射光功率，所述第二分光片用于消除所述第一分光片厚度产生的光程差。

4.根据权利要求3所述的光学系统，其特征在于，所述照明光路还包括与所述第一半波片连接的第一转动组件，所述第一转动组件用于驱动所述第一半波片绕光轴旋转以改变光束的偏振方向。

5.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述照明光路还包括在所述偏振元件和所述待检测物之间光路上设置的第二半波片，所述第二半波片用于对所述偏振元件的出射光束进行相位延迟以重设光束的偏振方向。

6.根据权利要求5所述的光学系统，其特征在于，所述照明光路还包括与所述第二半波片连接的第二转动组件；所述第二转动组件用于驱动所述第二半波片绕光轴旋转，通过改变光束的偏振方向调整所述检测图像的整体背景灰度。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟立春，杨乐，周璐阳，王宏宇，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：