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本申请公开了一种光学系统，光学系统包括照明光路和成像光路，照明光路用于对待检测物投射照明光束，成像光路用于对待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像；照明光路包括在光路上依次设置的光源、匀光元件和偏振元件；匀光元件用于对光源发出的照明光...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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