【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体检测，尤其涉及一种承载装置和一种检测设备。
技术介绍
1、半导体检测技术中例如晶圆检测设备通常需要设置承载装置对晶圆等待测件进行承载，在检测过程中需要控制承载装置带动待测件进行空间上各个方向的移动、旋转等操作，有时还需要调节承载装置的承载角度，从而方便从不同的角度对待测件进行调整。现有技术中承载装置在使用音圈电机进行上下移动时，会带动承载待测样品的平台发生共同偏移，从而导致待测件位置偏移检测结果不准确的问题。
2、因此，亟需提供一种方案以解决上述音圈电机造成的承载装置偏移的问题。
技术实现思路
1、因此，为克服现有技术中的至少部分缺陷，本专利技术实施例提供了一种承载装置和一种检测设备，能对音圈电机进行导向，减少承载装置的偏差。
2、具体地，一方面，本专利技术一个实施例提供一种承载装置，包括：底板；顶板，与所述底板相对设置；驱动电机，固定在所述底板上且所述驱动电机的输出端连接所述顶板；弹簧片，叠放在所述底板和所述顶板之间，且邻近所述驱动电机设置；所述弹簧片具有相对的第一固定区域和第二固定区域；所述顶板固定连接所述第一固定区域，所述底板连接所述第二固定区域，所述第一固定区域与所述第二固定区域在所述底板上的正投影位置不相同。
3、在一个实施例中，所述弹簧片的数量为多片，所述多片弹簧片沿从所述底板至所述顶板方向依次层叠。
4、在一个实施例中，所述承载装置还包括：第一上固定块，固定在所述顶板上邻近所述多个弹簧片的一侧，且与所
5、在一个实施例中，所述承载装置还包括：第二上固定块，固定在所述多个弹簧片背离所述第一下固定块的一侧，且与所述顶板间隔设置；第二下固定块，固定在所述多个弹簧片背离所述第一上固定块的一侧，且与所述底板间隔设置。
6、在一个实施例中，所述第一上固定块具有沿从所述底板至所述顶板方向上的第一高度；所述第二上固定块具有沿从所述底板至所述顶板方向上的第二高度，所述第一高度大于所述第二高度；所述底板上对应所述第二下固定块设置有凹槽。
7、在一个实施例中，所述第一固定区域和所述第二固定区域之间设置有第一镂空间隙。
8、在一个实施例中，所述第一固定区域位于所述第一镂空间隙邻近所述弹簧片的周边一侧；所述第二固定区域位于所述第一镂空间隙邻近所述弹簧片的中心的一侧。
9、在一个实施例中，所驱动电机的数量为多个，所述多个驱动电机围绕所述弹簧片的周边设置；所述第一固定区域上设置有与所述多个驱动电机一一对应的多个第二镂空间隙，所述多个第二镂空间隙各自沿所述第一固定区域朝靠近所述第二固定区域的方向延伸并将所述第一固定区域分隔成多个第一子固定区域。
10、在一个实施例中，所述承载装置还包括：吸盘，固定所述顶板背离所述弹簧片的一侧；转台，固定在所述底板背离所述弹簧片的一侧，可驱动所述底板转动。
11、本专利技术的另一个实施例提供一种检测设备，包括如前述任意一项实施例所述的承载装置。
12、由上可知，本专利技术上述实施例可以达成以下一个或多个有益效果：通过设置弹簧片与顶板和底板特定的连接，使得驱动电机在驱动顶板靠近或远离底板时在弹簧片的作用下顶板只能相对底板上下移动，减少水平方向的偏差，保证承载装置移动待测物时的精准度。
13、通过以下参考附图的详细说明，本专利技术的其它方面和特征变得明显。但是应当知道，该附图仅仅为解释的目的设计，而不是作为本专利技术的范围的限定。还应当知道，除非另外指出，不必要依比例绘制附图，它们仅仅力图概念地说明此处描述的结构和流程。
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1.一种承载装置(100)，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的承载装置(100)，其特征在于，所述弹簧片(40)的数量为多片，所述多片弹簧片(40)沿从所述底板(10)至所述顶板(20)方向依次层叠。
3.如权利要求2所述的承载装置(100)，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的承载装置(100)，其特征在于，还包括：
5.如权利要求4所述的承载装置(100)，其特征在于，所述第一上固定块(51)具有沿从所述底板(10)至所述顶板(20)方向上的第一高度；所述第二上固定块(53)具有沿从所述底板(10)至所述顶板(20)方向上的第二高度，所述第一高度大于所述第二高度；所述底板(10)上对应所述第二下固定块(54)设置有凹槽(11)。
6.如权利要求1所述的承载装置(100)，其特征在于，所述第一固定区域(41)和所述第二固定区域(42)之间设置有第一镂空间隙(43)。
7.如权利要求6所述的承载装置(100)，其特征在于，所述第一固定区域(41)位于所述第一镂空间隙(43)邻近所述弹簧片(40
8.如权利要求7所述的承载装置(100)，其特征在于，所驱动电机(30)的数量为多个，所述多个驱动电机(30)围绕所述弹簧片(40)的周边设置；所述第一固定区域(41)上设置有与所述多个驱动电机(30)一一对应的多个第二镂空间隙(44)，所述多个第二镂空间隙(44)各自沿所述第一固定区域(41)朝靠近所述第二固定区域(42)的方向延伸并将所述第一固定区域(41)分隔成多个第一子固定区域(411)。
9.如权利要求1所述的承载装置(100)，其特征在于，还包括：
10.一种检测设备(200)，其特征在于，包括如权利要求1～9中任意一项所述的承载装置(100)。
...【技术特征摘要】
1.一种承载装置(100)，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的承载装置(100)，其特征在于，所述弹簧片(40)的数量为多片，所述多片弹簧片(40)沿从所述底板(10)至所述顶板(20)方向依次层叠。
3.如权利要求2所述的承载装置(100)，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的承载装置(100)，其特征在于，还包括：
5.如权利要求4所述的承载装置(100)，其特征在于，所述第一上固定块(51)具有沿从所述底板(10)至所述顶板(20)方向上的第一高度；所述第二上固定块(53)具有沿从所述底板(10)至所述顶板(20)方向上的第二高度，所述第一高度大于所述第二高度；所述底板(10)上对应所述第二下固定块(54)设置有凹槽(11)。
6.如权利要求1所述的承载装置(100)，其特征在于，所述第一固定区域(41)和所述第二固定区域(42)之间设置有第一镂空间隙(43...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，王赢，张龙，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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