磁头研磨装置以及研磨方法制造方法及图纸

本发明专利技术是研磨用夹具（５０）保持排列多个磁头的被研磨物（７０）的磁头研磨装置。本发明专利技术的磁头研磨装置具备，具有被驱动旋转的研磨面的旋转研磨用台（１１）；被配置成相对该旋转研磨用台的研磨面可以移动的研磨装置主体部分，该研磨装置主体部分具备，被设置在该研磨装置主体的下方保持夹具的夹具保持部分（２３）；在沿着夹具（５０）的长方向设置的多个负荷附加部分上分别附加规定的负荷的负荷附加单元，负荷附加单元，为了使夹具变形为规定形状，在负荷附加部分内的至少一处从多个不同方向附加负荷。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及以研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的。当通过研磨工序把薄膜磁头的喉部高度设置成适宜的值的情况下，存在作为被研磨物的陶瓷棒歪斜，或者在陶瓷棒上存在不希望的弯曲的问题。即，如果在陶瓷棒上存在歪斜或者弯曲，则因为在研磨装置的旋转研磨用台上不能均匀地研磨陶瓷棒，所以例如即使陶瓷棒中央部分的薄膜磁头的喉部高度是适宜值，也有因为两端部分的薄膜磁头的喉部高度过大或者过小而有可能出现不良。因此，在美国专利第5620356号公报中公开的磁头研磨装置中提出了，把陶瓷棒粘贴在板状的横向长夹具的底面上，一边测量由于被排列在陶瓷棒上的多个薄膜磁头的喉部高度引起变化的电阻值，一边通过修正研磨陶瓷棒的歪曲，把被形成在陶瓷棒上的各个薄膜磁头的喉部高度设定为最佳值。在美国专利所揭示的以往的研磨装置中，设置成根据用由于喉部高度引起变化的电阻值求得的研磨量，在粘贴有陶瓷棒的横向长夹具的长方向的3处的上下方向施加负荷，修正陶瓷的弯曲。但是，今后越来越要求喉部高度的高精度化，但在美国专利的研磨装置中，因为对横向长夹具的长方向的3处在上下方向上作用负荷，所以只能使陶瓷棒变形为近似于4次曲线那样的形状。因此，可以修正的喉部高度的图案也被限制在如近似于4次以下的低次曲线那样的形状。与此相反，在实际研磨后的陶瓷棒中的磁头的喉部高度值分布，呈现例如近似于6次以上的高次曲线那样复杂的图案。因此，在以往的研磨装置中，在不能与近似于该高次曲线那样的喉部高度分布图案对应的部分中，存在喉部高度不能被充分修正的问题。图28是展示使用以往的研磨装置，一边自动地进行喉部高度的控制，一边进行例如约50mm长度的陶瓷棒的研磨时的最终喉部高度分布的一例的图。在该图28中，实线表示喉部高度分布的6次曲线，虚线表示喉部高度分布的4次曲线。从图28可以明确看出，在该例子中，最终的喉部高度分布近似于6次曲线。这样，相对于在研磨前的陶瓷棒中的喉部高度的实际分布图案是近似于6次以上的次数的曲线来说，在上述以往的研磨装置中，可以修正的喉部高度分布图案被限制在近似于4次以下的曲线。因此，如图28所示，在研磨后的喉部高度分布图案中，高次成分未被修正而残留下来。这样，在以往的研磨装置中，当要求磁头的喉部高度高精度化的情况下，存在不能进行充分的修正的问题。另外，本专利技术的目的在于提供一种可以根据被研磨物的歪斜以及弯曲的分布图案高精度修正的。为了实现上述的目的，本专利技术在研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨装置中具有以下特征具有被驱动旋转的研磨面的旋转研磨用台，和被配置成可以相对该旋转研磨用台的研磨面移动的研磨装置主体部分，该研磨装置主体具有，被设置在该研磨装置主体的下方保持夹具的夹具保持部分，和在沿着夹具的长方向上设置的多个负荷附加部分上分别附加规定的负荷的负荷附加单元，负荷附加单元，为了使夹具变形为规定的形状，在负荷附加部分内的至少一处从多个不同的方向附加负荷。在这样构成的本专利技术中，因为，设置成用负荷附加单元，在负荷附加部分内的至少一处从多个不同方向附加负荷，使夹具变形为规定形状，所以，例如，在研磨前，即使被研磨物的各磁头的喉部高度值分布为近似于高次曲线那样复杂的图案，也可以使夹具变形而与该图案忠实地对应，因此，可以非常高精度地修正被研磨物的歪斜和弯曲。在本专利技术中理想的是，负荷附加单元具有在夹具的至少一处负荷附加部分上附加垂直方向的负荷的垂直方向负荷附加单元。在本专利技术中理想的是，负荷附加单元具有在夹具的至少一处负荷附加部分上附加水平方向的负荷的水平方向负荷附加单元。在本专利技术中理想的是，负荷附加单元具有在夹具的至少一个负荷附加部分上附加旋转方向的负荷的旋转方向负荷附加单元。在本专利技术中理想的是，夹具保持单元在夹具的长方向的大致中央部分保持夹具。在本专利技术中理想的是，研磨装置主体，以与研磨面平行的倾斜动作轴为中心把研磨装置主体部分保持为可以倾斜动作的倾斜动作单元。本专利技术理想的是，进一步具有把研磨装置主体保持为可摇动的摇动单元。另外，本专利技术在研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨方法中，其特征在于包括准备具有被驱动转动的研磨面的旋转研磨用台，和具有在被配置成可以相对该旋转研磨用台的研磨面移动的同时在其下方保持上述夹具的夹具保持部分的研磨装置主体部分的工序；在夹具保持部分上安装沿着其长度方向具备多个负荷附加部分的夹具的工序；为了使夹具变形为规定的形状一边在负荷附加部分内的至少一处从多个不同的方向附加负荷，一边研磨作为被研磨物的多个磁头的工序。图2是展示附图说明图1中的夹具保持部分附近的斜视图。图3是展示在夹具保持部分上固定着夹具的状态的正面图。图4是沿着图3的A-A线看的断面图。图5是展示夹具的正面图。图6是展示在实施方案1的磁头研磨装置中使用的夹具的另一例子的正面图。图7是展示在实施方案1的磁头研磨装置中使用的夹具的另一例子的正面图。图8是展示在实施方案1的磁头研磨装置中使用的夹具的又一例子的正面图。图9是展示本专利技术的实施方案2的磁头研磨装置的整体正面图。图10是图9的平面图。图11是展示本专利技术的实施方案2的磁头研磨装置的主要部分正面图。图12是展示本专利技术的实施方案2的主要部分的平面图。图13是展示在本专利技术的实施方案2中使用的调节环的底面图。图14是展示本专利技术的实施方案2的研磨装置主体部分的正面图。图15是图14的侧面部分断面图。图16是图14的平面图。图17是只取出倾斜动作机构展示的侧面图。图18是只取出平衡负荷驱动机构展示的侧面图。图19是只取出X轴方向驱动机构展示的正面图。图20是图19的局部侧面图。图21是沿着图19的B-B线看的侧面断面图。图22是只取出Y方向驱动机构展示的正面图。图23是沿着图22的C-C线看的侧面断面图。图24是只取出θ方向驱动机构展示的正面图。图25是图24的侧面局部断面图。图26是沿着图25的D-D线看的平面断面图。图27是用于说明本专利技术实施方案2中的被研磨物的锥度加工的被研磨物的侧面断面图。图28是展示使用以往的研磨装置进行棒的研磨时的最终的喉部高度分布的一例的曲线图。首先，参照图1至图8说明本专利技术的实施方案1。图1是展示本专利技术的磁头研磨装置的实施方案1的整体斜视图。研磨装置1包括台10；被设置在台10上的旋转研磨用台11；在该旋转研磨用台11的侧面，被设置在台10上的支柱12；通过悬臂13对该支柱安装的研磨装置主体部分20。旋转研磨用台11，具有与棒接触的研磨面11a。研磨装置主体部分20具备被连结在悬臂13上的支撑部分27；被配置在该支撑部分27的前方的基础部件22；被配置在该基础部件22的前面的夹具保持部分23；在该夹具保持部分23的前方位置等间隔配置的3根载重负荷棒25A、25B、25C。支撑部分27、基础部件22以及载重负荷棒25A、25B、25C的上部，用盖子21盖着。基础部件22，经过未图示的悬臂，与被设置在支撑部分27内的传动装置连结，通过驱动传动装置，可以上下移动。横向长的夹具50，被固定在夹具保持部分23上。图2是展示图1中的夹具保持部分23附近的斜视图，图3是展示在夹具保持部分23上固定着夹具的状态的正面图，图4是沿着图3的A-A线看的断面图。夹具保持部分23具有保持部分主体31；在位于该保持部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁头研磨装置，在研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨装置中，其特征在于，包括： 具有被驱动旋转的研磨面的旋转研磨用台； 被配置成相对该旋转研磨用台的研磨面可以移动的研磨装置主体部分，该研磨装置主体具备，保持被设置在该研磨装置主体的下方的上述夹具的夹具保持部分； 在沿着上述夹具的长方向设置的多个负荷附加部分上分别附加规定的负荷的负荷附加单元， 上述负荷附加单元，为了使上述夹具变形为规定形状，在上述负荷附加部分内的至少一处上从多个不同方向附加负荷。

【技术特征摘要】
JP 2000-1-7 1640/001.一种磁头研磨装置，在研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨装置中，其特征在于，包括具有被驱动旋转的研磨面的旋转研磨用台；被配置成相对该旋转研磨用台的研磨面可以移动的研磨装置主体部分，该研磨装置主体具备，保持被设置在该研磨装置主体的下方的上述夹具的夹具保持部分；在沿着上述夹具的长方向设置的多个负荷附加部分上分别附加规定的负荷的负荷附加单元，上述负荷附加单元，为了使上述夹具变形为规定形状，在上述负荷附加部分内的至少一处上从多个不同方向附加负荷。2.权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于上述负荷附加单元，具有在上述夹具的至少一处的负荷附加部分上附加垂直方向的负荷的垂直方向负荷附加单元。3.权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述负荷附加单元，具有在上述夹具的至少一处的负荷附加部分上附加水平方向的负荷的水平方向负荷附加单元。4.权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述负荷附加单元，具有在上述夹具的至少一处的负荷附加部分上附加旋转方向的负荷的旋转方向负荷附加单元。5.权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述夹具保持单元，把上述夹具保持在其长方向的大致中央。6.权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述研磨装置主体部分，具有以与上述研磨面平行的倾斜动作轴为中心保持研磨装置主体部分可以倾斜动作的倾斜动作单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：进藤宏史，小川昭雄，
申请(专利权)人：TDK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]