一种基于LCOS芯片的曝光装置制造方法及图纸

一种基于LCOS芯片的曝光装置，该装置包括匀光光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，第一LCOS芯片中的第一部分像素点将P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回偏振分光棱镜，第二LCOS芯片中的第一部分像素点将S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回偏振分光棱镜，第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过偏振分光棱镜分光界面处，重合后形成偏振合束，同轴传播进入成像透镜。由此，本实用新型专利技术的曝光装置使得光源经过偏振分光棱镜后得到的P偏振方向和S偏振方向的光均能够得到有效的利用，提高了光源光功率的利用效率和曝光强度，有利于兼使分辨率、光功率、效率获得最佳性能。率获得最佳性能。率获得最佳性能。

【技术实现步骤摘要】
一种基于LCOS芯片的曝光装置


[0001]本技术涉及曝光技术，特别是涉及一种基于LCOS芯片的曝光装置。

技术介绍

[0002]曝光机是3D打印、电路板光刻常用的关键部件之一，曝光机的分辨率是曝光机的重要性能参数之一，为提升曝光机的分辨率，专利申请201810170660.2公开了一种基于LCOS技术的曝光机，该曝光机采用LCOS芯片替代了常规曝光机中所采用的DMD芯片，为提升像素分辨率提供了新思路。但是，由于LCOS属于偏振器件，调制时光源经过PBS(偏振分光棱镜)时只有一个偏振方向的光得到有效利用，另一个偏振方向的光白白损失掉，也就是只有一半光功率是有效的，从而造成光功率利用效率低，以至于整体设备的效率低下，从而导致了曝光机的曝光强度和效率两个重要参数性能的降低。
[0003]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于克服上述
技术介绍
的缺陷，提供一种基于LCOS芯片的曝光装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种基于LCOS芯片的曝光装置，包括光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，其中所述光源为均光光源，所述光源发出的光经过所述偏振分光棱镜后形成沿第一方向透射传播的P偏振光和沿第二方向反射传播的S偏振光，所述第一LCOS芯片设置在所述第一方向上，所述第二LCOS芯片设置在所述第二方向上，所述第一LCOS芯片和所述第二LCOS芯片相对于所述光源的光程保持一致，其中，所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点将所述P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点将所述P偏振光中的另一部分光保持为P偏振光反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点将所述S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点将所述S偏振光中的另一部分光保持为S偏振光反射回所述偏振分光棱镜；所述第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和所述第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过所述偏振分光棱镜分光界面处，重合后形成偏振合束，同轴传播进入所述成像透镜。
[0007]进一步地：
[0008]所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点在各自芯片上对应的坐标相同，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点在各自芯片上对应的坐标相同。
[0009]所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点反色显示，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第二部分像
素点反色显示。
[0010]所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点显示白色，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点显示黑色，所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点显示黑色，所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点显示白色。
[0011]所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点同色显示，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点同色显示，并且，所述第一LCOS芯片与所述第二LCOS芯片对偏振光的调制方向相反。
[0012]所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点显示白色，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点显示黑色，所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点显示白色，所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点显示黑色。
[0013]所述光源为非偏振光，由所述偏振分光棱镜将所述非偏振光分成P偏振光和S偏振光。
[0014]所述光源为偏振光，其偏振方向与偏振分光棱镜选偏方向成45
°
夹角，由所述偏振分光棱镜将所述光源发出的偏振光分解为P偏振光和S偏振光。
[0015]本技术具有如下有益效果：
[0016]本技术提供一种基于LCOS芯片的曝光装置，其中，在偏振分光棱镜透射传播P偏振光的第一方向上设置第一LCOS芯片，在偏振分光棱镜反射传播S偏振光的第二方向上设置第二LCOS芯片，并且，所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点将所述P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点将所述S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和所述第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过所述偏振分光棱镜分光界面处，重合后形成偏振合束，同轴传播进入所述成像透镜，由此，本技术的曝光装置使得光源经过PBS后得到的P偏振方向和S偏振方向的光均能够得到有效的利用，提高了光功率利用效率，从而提高了曝光装置的效率和曝光强度。本技术的曝光装置既能够发挥LCOS芯片高分辨率特点，又能够充分利用光源的光功率，有利于兼使分辨率、光功率、效率三个重要参数获得最佳性能。
附图说明
[0017]图1为本技术一种实施例的基于LCOS芯片的曝光装置结构示意图。
具体实施方式
[0018]以下对本技术的实施方式做详细说明。应该强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本技术的范围及其应用。
[0019]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。另外，连接既可以是用于固定作用也可以是用于耦合或连通作用。
[0020]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关
系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多该特征。在本技术实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0022]参阅图1，本技术实施例提供一种基于LCOS(硅基液晶)芯片的曝光装置，包括光源1、偏振分光棱镜2(PBS)、第一LCOS芯片3、第二LCOS芯片4以及成像透镜5，其中所述光源为均光光源，所述光源1发出的光经过所述偏振分光棱镜2后形成沿第一方向透射传播的P偏振光和沿第二方向反射传播的S偏振光，所述第一LCOS芯片3设置在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于LCOS芯片的曝光装置，其特征在于，包括光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，其中所述光源为均光光源，所述光源发出的光经过所述偏振分光棱镜后形成沿第一方向透射传播的P偏振光和沿第二方向反射传播的S偏振光，所述第一LCOS芯片设置在所述第一方向上，所述第二LCOS芯片设置在所述第二方向上，所述第一LCOS芯片和所述第二LCOS芯片相对于所述光源的光程保持一致，其中，所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点将所述P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点将所述P偏振光中的另一部分光保持为P偏振光反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点将所述S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点将所述S偏振光中的另一部分光保持为S偏振光反射回所述偏振分光棱镜；所述第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和所述第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过所述偏振分光棱镜分光界面处，重合后形成偏振合束，同轴传播进入所述成像透镜。2.如权利要求1所述的基于LCOS芯片的曝光装置，其特征在于，所述第一LCOS芯片中的第一部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第一部分像素点在各自芯片上对应的坐标相同，所述第一LCOS芯片中的第二部分像素点和所述第二LCOS芯片中的第二部分像素点在各自芯片上对应的坐标相同。3.如权利要求2所述的基于LCOS芯片的曝光装置，其特征在于，所述第一LCOS芯片中的第一部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：马建立，甘新昌，
申请(专利权)人：深圳光韵达光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：