本实用新型专利技术涉及一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，包括挡板，掩膜版托盘，样品托盘，公转工件盘，角接触轴承，轴承隔垫，自转齿轮，高温弹簧，定位轴套，DN200标准法兰，磁流体A，伺服电机A，焊接波纹管，磁流体B，伺服电机B，光轴A，伺服电机C，丝杠，升降上连接板，光轴B，升降中连接板，升降下连接板，不动轴，固定齿轮，公转轴；其具有结构设计合理、操作方便、运行稳定可靠，能够提高产品薄膜的均匀性，且能够实现多层图形镀膜等优点。且能够实现多层图形镀膜等优点。且能够实现多层图形镀膜等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置
[0001]本技术涉及真空镀膜领域，具体涉及一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其能够在真空环境下利用掩膜版遮挡非镀膜，所需要的图形方法，并用于要求质量高的产品镀膜工艺。
技术介绍
[0002]掩膜装置是在产品制备过程中利用掩膜版遮挡非镀膜位置，形成所需要的图形。由于其具有结构简单，制造成本低，更换多种掩膜版优点而使用广泛。然而，随着使用时间的增加，不断发现其存在诸多去欸但，表现在：无法真空下更换掩膜图形，掩膜版与产品之间存在缝隙会导致产品无需镀膜留有残余薄膜，掩膜版样式少。本技术正式基于上述研究背景而提出，旨在提供一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置以满足设计及使用需要。
技术实现思路
[0003]针对现有技术中掩膜装置中存在的上述不足，本技术的目的在于：提供一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其具有结构设计合理、操作方便、运行稳定可靠，能够提高产品薄膜的均匀性，且能够实现多层图形镀膜等优点。
[0004]为了达到上述目的，本技术采用如下技术方案实现：
[0005]一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，该装置包括挡板，掩膜版托盘，样品托盘，公转工件盘，角接触轴承，轴承隔垫，自转齿轮，高温弹簧，定位轴套，DN200标准法兰，磁流体A，伺服电机A，焊接波纹管，磁流体B，伺服电机B，光轴A，伺服电机C，丝杠，升降上连接板，光轴B，升降中连接板，升降下连接板，不动轴，固定齿轮，公转轴；其中，所述掩膜版托盘固定设置在样品托盘下方；所述公转工件盘、角接触轴承、轴承隔垫、自转齿轮自下而上同轴依次设置在所述伺服电机A的输出轴上；所述伺服电机A的输出轴设置在定位轴套内；所述高温弹簧的一端与定位轴套连接，另一端固定设置在自转齿轮的上表面；所述自转齿轮与所述固定齿轮啮合连接；所述固定齿轮固定设置在所述不动轴的下端处；所述伺服电机A与磁流体A固定，所述磁流体A固定设置在DN200标准法兰上；所述不动轴的上端固定设置在所述DN200标准法兰的中央轴心处；所述焊接波纹管固定设置在所述不动轴的顶部；所述磁流体A、所述升降下连接板分别固定设置在所述焊接波纹管的左右两侧；所述焊接波纹管的顶部设置有磁流体B，所述磁流体B的一端固定设置有伺服电机B；所述磁流体B的另一端与所述公转轴连接；所述升降下连接板的左右两端垂直设置有相互平行的光轴A、光轴B，沿所述光轴A、光轴B的轴向方向自下而上间隔设置有升降下连接板、升降中连接板、升降上连接板；所述升降中连接板与所述焊接波纹管固定连接；所述升降上连接板的顶部设置有伺服电机C，所述伺服电机C的输出轴上连接有丝杠的一端，所述丝杠的另一端依次穿过所述升降中连接板、升降下连接板；所述挡板固定设置在所述公转轴的底端。
[0006]作为上述方案的进一步优化，所述磁流体A的结构包括：磁流体外壳A、轴承A、磁液
A、转轴A，所述轴承A设置在磁流体外壳A内，所述磁液A设置于磁流体外壳A内；所述轴承A套设在转轴A的一端上，所述转轴A的另一端上设置有凹槽A，所述伺服电机A的输出轴插入所述转轴A的凹槽A中，所述伺服电机A的电机外壳A与磁流体外壳A通过螺钉固定；所述磁流体B的结构包括：磁流体外壳B、轴承B、磁液B、转轴B，所述轴承B设置在磁流体外壳B内，所述磁液B设置于磁流体外壳B内；所述轴承B套设在转轴B的一端上，所述转轴B的另一端上设置有凹槽B，所述伺服电机B的输出轴B插入所述转轴B的凹槽B中，所述伺服电机B的电机外壳B与磁流体外壳B通过螺钉固定。
[0007]作为上述方案的进一步优化，所述伺服电机A电压220V、额定功率100W、额定电流0.9A、额定扭矩0.32N
·
m，所述伺服电机B、伺服电机C的电压均为220V、额定功率均为400W、额定电流均为2.6A、额定扭矩均为1.27N
·
m。
[0008]作为上述方案的进一步优化，所述磁流体A的磁流体外壳A、轴承A、磁液A、转轴A分别与所述磁流体B的磁流体外壳B、轴承B、磁液B、转轴B的结构相同。
[0009]采用本技术一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置的有益效果表现在：
[0010]采用磁流体和金属密封可在超高真空环境下使用，其中优点真空下更换掩膜图形，无需破坏真空环境。掩膜版与产品无缝掩膜产品无需镀膜不会留有残余薄膜，公转自转提高产品薄膜均匀性。标准法兰接口方便与其他设备对接。掩膜版样式多，可实现多层图形镀膜。
附图说明
[0011]附图1为本技术一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置的结构示意图。
[0012]附图2为本技术图1的竖向截面示意图。
具体实施方式
[0013]下面结合附图1
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2对本技术一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置的具体结构作以详细说明。
[0014]一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，该装置包括挡板1，掩膜版托盘2，样品托盘3，公转工件盘4，角接触轴承5，轴承隔垫6，自转齿轮7，高温弹簧8，定位轴套9，DN200标准法兰10，磁流体A11，伺服电机A12，焊接波纹管13，磁流体B14，伺服电机B15，光轴A16，伺服电机C17，丝杠18，升降上连接板19，光轴B20，升降中连接板21，升降下连接板22，不动轴23，固定齿轮24，公转轴25；其中，所述掩膜版托盘固定设置在样品托盘下方；所述公转工件盘、角接触轴承、轴承隔垫、自转齿轮自下而上同轴依次设置在所述伺服电机A的输出轴上；所述伺服电机A的输出轴设置在定位轴套内；所述高温弹簧的一端与定位轴套连接，另一端固定设置在自转齿轮的上表面；所述自转齿轮与所述固定齿轮啮合连接；所述固定齿轮固定设置在所述不动轴的下端处；所述伺服电机A与磁流体A固定，所述磁流体A固定设置在DN200标准法兰上；所述不动轴的上端固定设置在所述DN200标准法兰的中央轴心处；所述焊接波纹管固定设置在所述不动轴的顶部；所述磁流体A、所述升降下连接板分别固定设置在所述焊接波纹管的左右两侧；所述焊接波纹管的顶部设置有磁流体B，所述磁流
体B的一端固定设置有伺服电机B；所述磁流体B的另一端与所述公转轴连接；所述升降下连接板的左右两端垂直设置有相互平行的光轴A、光轴B，沿所述光轴A、光轴B的轴向方向自下而上间隔设置有升降下连接板、升降中连接板、升降上连接板；所述升降中连接板与所述焊接波纹管固定连接；所述升降上连接板的顶部设置有伺服电机C，所述伺服电机C的输出轴上连接有丝杠的一端，所述丝杠的另一端依次穿过所述升降中连接板、升降下连接板；所述挡板固定设置在所述公转轴的底端。所述磁流体A的结构包括：磁流体外壳A、轴承A、磁液A、转轴A，所述轴承A设置在磁流体外壳A内，所述磁液A设置于磁流体外壳A内；所述轴承A套设在转轴A的一端上，所述转轴A的另一端上设置有凹槽A，所述伺服电机A的输出轴插入所述转轴A的凹槽A中，所述伺服电机A的电机本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其特征在于：该装置包括挡板(1)，掩膜版托盘(2)，样品托盘(3)，公转工件盘(4)，角接触轴承(5)，轴承隔垫(6)，自转齿轮(7)，高温弹簧(8)，定位轴套(9)，DN200标准法兰(10)，磁流体A(11)，伺服电机A(12)，焊接波纹管(13)，磁流体B(14)，伺服电机B(15)，光轴A(16)，伺服电机C(17)，丝杠(18)，升降上连接板(19)，光轴B(20)，升降中连接板(21)，升降下连接板(22)，不动轴(23)，固定齿轮(24)，公转轴(25)；其中，所述掩膜版托盘固定设置在样品托盘下方；所述公转工件盘、角接触轴承、轴承隔垫、自转齿轮自下而上同轴依次设置在所述伺服电机A的输出轴上；所述伺服电机A的输出轴设置在定位轴套内；所述高温弹簧的一端与定位轴套连接，另一端固定设置在自转齿轮的上表面；所述自转齿轮与所述固定齿轮啮合连接；所述固定齿轮固定设置在所述不动轴的下端处；所述伺服电机A与磁流体A固定，所述磁流体A固定设置在DN200标准法兰上；所述不动轴的上端固定设置在所述DN200标准法兰的中央轴心处；所述焊接波纹管固定设置在所述不动轴的顶部；所述磁流体A、所述升降下连接板分别固定设置在所述焊接波纹管的左右两侧；所述焊接波纹管的顶部设置有磁流体B，所述磁流体B的一端固定设置有伺服电机B；所述磁流体B的另一端与所述公转轴连接；所述升降下连接板的左右两端垂直设置有相互平行的光轴A、光轴B，沿所述光轴A、光轴B的轴向方向自下而上间隔设置有升降下连接板、升降中连接板、升降上连接板；所述升降中连接板与所述焊接波纹管固定连接；所...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏守冲，曹宇，
申请(专利权)人：磐石创新江苏电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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