蒸镀装置以及显示装置的制造方法制造方法及图纸

在蒸镀装置(600)所具备的触摸板(601)上设置有在将基板(120)与触摸板(601)分离时与基板(120)抵接的多个可动突起部(652)。基板(120)抵接的多个可动突起部(652)。基板(120)抵接的多个可动突起部(652)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀装置以及显示装置的制造方法


[0001]本专利技术关于蒸镀装置以及显示装置的制造方法。

技术介绍

[0002]专利文献1、2中公开了在蒸镀掩模和磁铁之间配置基板，通过磁铁的磁力，蒸镀掩模与基板紧密接触的蒸镀装置。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1:日本国专利公报“专利第6302150号(2018年03月28日发行)”专利文献2:日本国再公开专利(A1)“国际公开号W02017/154234(2017年09月14日国际公开)”
技术实现思路

本专利技术所要解决的技术问题
[0004]然而，在如上所述的现有的蒸镀装置中，基板在接受蒸镀处理后，从蒸镀掩模和触摸板分离，从蒸镀装置搬出。
[0005]但是，在如上所述的现有的蒸镀装置中，在从触摸板分离基板时，基板与触摸板有时相互紧密接触而不分离。因此，在现有的蒸镀装置中，在使从蒸镀掩模紧密接触的基板及触摸板离开该蒸镀掩模的上方后，基板因其自重有时会从触摸板上分离，基板与蒸镀掩模接触，有时在基板上产生裂纹。其结果是，在现有的蒸镀装置中，存在显示装置的制造成品率降低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括:蒸镀源；具有掩模片材和掩模框架的蒸镀掩模；用于使所述掩模片材与基板密接的磁体；配置在所述基板与所述磁体之间的触摸板；使所述基板相对于所述蒸镀掩模升降的升降装置；以及进行所述蒸镀掩模与所述基板的对准的对准装置，其中，在所述触摸板上设置有在分离所述基板和该触摸板时与所述基板抵接的多个凸部。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个凸部包括能够从所述触摸板的所述基板侧的基板侧表面朝向该基板突出的可动突起部。3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还具备驱动机构，该驱动机构以与所述基板抵接的抵接状态和与所述基板分离的分离状态中的任一状态，驱动所述可动突起部。4.如权利要求1
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3中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，在所述触摸板上以始终与所述基板抵接的方式设置有固定在所述基板侧表面上的固定突起部。5.如权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述固定突起部仅设置在所述基板侧表面中的周边区域。6.如权利要求1
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5中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述可动突起部至少设置在所述基板侧表面中的中央区域。7.如权利要求1
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6中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述触摸板是能够弹性变形的一张片材部件。8.如权利要求1
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6中任一项所述的蒸镀装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原圣士，武正杰，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：