【技术实现步骤摘要】
与FOUP处理器的快速FOUP交换
[0001]本公开总体上涉及一种包括盒处理器的立式批处理炉组件。
技术介绍
[0002]用于处理晶圆的立式批处理炉组件包括盒处理空间、晶圆处理空间以及将这两个空间分开的壁。壁具有晶圆传送开口，其设置有盒门开启器装置，用于晶圆盒的晶圆传送位置设置在该装置前面。盒处理空间设置有盒处理器，其可以在晶圆传送位置和可以存放晶圆盒的盒存放设备之间运送晶圆盒。竖直批处理炉组件的晶圆处理空间还可以设置有晶圆处理器，其可以从处于晶圆传送位置的晶圆盒中取出晶圆，并且将这些晶圆通过晶圆传送开口传送到晶圆舟皿，以在处理室中施加处理。在处理所述晶圆之后，晶圆处理器还可以将晶圆放回到处于晶圆传送位置的晶圆盒中。随后，盒处理器可以将晶圆盒传送到盒存放设备，并用盒存放设备中的另一晶圆盒来替换它。
技术实现思路
[0003]提供本
技术实现思路
是为了以简化的形式介绍概念选择。在下面的本公开的示例实施例的详细描述中进一步详细描述了这些概念。本
技术实现思路
并非旨在必须标识所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于处理晶圆的立式批处理炉组件(10)，包括：
–
盒处理空间(12)；
–
晶圆处理空间(14)；以及
–
第一壁(16)，其将盒处理空间(12)与晶圆处理空间(14)分开，并且具有至少一个晶圆传送开口(20)，在第一壁(16)的朝向盒处理空间(12)的一侧，用于晶圆盒(60)的晶圆传送位置(22)设置在所述晶圆传送开口(20)的前面；其中，所述盒处理空间(12)包括：
–
具有多个盒存放位置(24)的盒存放设备，每个盒存放位置(24)配置为存放装有多个晶圆的晶圆盒(60)；以及
–
盒处理器(26、28、30)，其配置为在盒存放位置(24)和晶圆传送位置(22)之间传送晶圆盒(60)，其中，所述盒处理器(26、28、30)包括：
–
第一盒处理器臂(28)；以及
–
第二盒处理器臂(30)。2.根据权利要求1所述的立式批处理炉组件，其中，所述盒处理器(26、28、30)还包括可沿第一方向(32)移动的可移动托架(26)，其中，所述第一盒处理器臂(28)和第二盒处理器臂(30)各自具有连接到可移动托架(26)的相应第一端。3.根据权利要求2所述的立式批处理炉组件，其中，所述第一盒处理器臂(28)和第二盒处理器臂(30)各自具有相应第二端，其中，每个相应臂(28、30)配置成移动其第二端远离和朝向其第一端。4.根据权利要求3所述的立式批处理炉组件，其中，所述第一和第二盒处理器臂(28、30)在其第一端或附近可枢转地连接到盒处理器(26、28、30)的可移动托架(26)，并且其中，相应的盒处理器臂(28、30)在其第二端或附近包括配置为夹持晶圆盒(60)的盒夹持器(34)。5.根据权利要求4所述的立式批处理炉组件，其中，所述第一盒处理器臂(28)的盒夹持器(34)可枢转地连接到第一盒处理器臂(28)，并且其中，所述第二盒处理器臂(30)的盒夹持器(34)可枢转地连接到第二盒处理器臂(30)。6.根据权利要求2
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5中任一项所述的立式批处理炉组件，其中，所述第一方向是基本竖直的，其中，所述盒处理器(26、28、30)还包括升降机机构，其配置成向上和向下传送所述可移动托架(26)，使得所述第一和第二盒处理器臂(28、30)能够到达放置在盒处理空间内的不同竖直高度处的盒存放位置上的晶圆盒。7.根据权利要求2和6所述的立式批处理炉组件，其中，所述升降机机构(36、38、40)包括沿第一方向(32)延伸的至少一个第一方向引导件(36、38)，其中，所述可移动托架(26)可移动地安装在至少一个第一方向引导件(36、38)上，并且可沿着第一方向(32)移动。8.根据权利要求2
‑
5中任一项所述的立式批处理炉组件，其中，所述可移动托架(26)还可在垂直于第一方向(32)的第二方向(42)上移动。9.根据权利要求6和8所述的立式批处理炉组件，其中，所述升降机机构(36、38、40)包括沿第一方向(32)延伸的至少一个第一方向引导件(36、38)和沿第二方向(42)延伸的横向引导件(40)，其中，所述可移动托架(26)可移动地安装在横向引导件(40)上，并且可沿着第二方向(42)移动，其中，所述横向引导件(40)可移动地安装在至少一个第一方向引导件
(36、38)上，并且可...
【专利技术属性】
技术研发人员：J弗卢特，TGM奥斯特拉肯，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：
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