部件更换系统和部件更换装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够削减半导体装置的制造中的系统的设置面积的部件更换系统和部件更换装置。进行消耗部件的更换的部件更换系统包括部件收纳装置和部件更换装置。部件收纳装置收纳使用前的消耗部件。部件更换装置与处理装置和部件收纳装置连接，能够将安装于该处理装置内的使用后的消耗部件与收纳于部件收纳装置内的使用前的消耗部件进行更换。此外，部件更换装置能够移动至安装有作为更换对象的消耗部件的处理装置的位置，与该处理装置连接。此外，部件收纳装置能够移动至与安装有作为更换对象的消耗部件的处理装置连接的部件更换装置的位置，与该部件更换装置连接。与该部件更换装置连接。与该部件更换装置连接。

【技术实现步骤摘要】
部件更换系统和部件更换装置


[0001]本专利技术的各种方面和实施方式涉及部件更换系统和部件更换装置。

技术介绍

[0002]在处理基片的处理装置的内部，存在随着进行基片的处理而消耗的消耗部件。这样的消耗部件在消耗量比预先设定的消耗量大的情况下，与使用前的消耗部件进行更换。在消耗部件的更换中，停止处理装置中的基片的处理，将处理装置的容器向大气开放。然后，用人手取出使用后的消耗部件，安装使用前的消耗部件。然后，再次关闭容器，将容器内抽真空，再次开始基片的处理。
[0003]如上所述，在消耗部件的更换中，处理装置的内部向大气开放，因此在更换消耗部件后处理装置内需要抽真空，处理的停止时间变长。此外，在消耗部件中，也存在大型的部件，因此用人手进行的更换耗费时间。
[0004]为了避免上述问题，已知具有使用前的消耗部件和用于更换消耗部件的更换操作部的更换站(例如，参照下述专利文献1)。在这样的更换站中，处理装置与更换站连接，在对更换站内抽真空之后打开处理装置与更换站之间的切断阀。之后，用更换站内的更换操作部从处理装置内取出使用后的消耗部件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进行消耗部件的更换的部件更换系统，其特征在于，包括：收纳使用前的消耗部件的部件收纳装置；部件更换装置，其与处理装置和所述部件收纳装置连接，能够将安装于该处理装置内的使用后的消耗部件与收纳于所述部件收纳装置内的使用前的消耗部件进行更换，所述部件更换装置能够移动至安装有作为更换对象的消耗部件的处理装置的位置，与该处理装置连接，所述部件收纳装置能够移动至与安装有作为更换对象的消耗部件的处理装置连接的所述部件更换装置的位置，与该部件更换装置连接。2.如权利要求1所述的部件更换系统，其特征在于：所述部件更换装置包括：输送臂，其经由所述部件更换装置在所述处理装置与所述部件收纳装置之间输送消耗部件；和操作臂，其从所述处理装置内卸下使用后的消耗部件并将其载置在所述输送臂，将载置于所述输送臂的使用前的消耗部件安装在所述处理装置内。3.如权利要求2所述的部件更换系统，其特征在于：还包括治具收纳装置，其收纳能够安装在所述操作臂的前端的末端执行器，并能够行驶至与安装有作为更换对象的消耗部件的处理装置连接的所述部件更换装置的位置，与该部件更换装置连接，所述操作臂将用于更换作为更换对象的消耗部件的末端执行器从所述治具收纳装置取出并安装，使用所安装的末端执行器进行作为更换对象的消耗部件的更换。4.如权利要求3所述的部件更换系统，其特征在于：末端执行器包含传感器，所述操作臂在更换消耗部件之前使用安装于前端的传感器，对所述处理装置内的状态进行感测，所述部件更换装置具有判断部，所述判断部基于所述操作臂的感测的结果来判断是否能够进行消耗部件的更换，在能够进行消耗部件的更换的情况下使所述操作臂执行消耗部件的更换，在无法进行消耗部件的更换的情况下将该情况通知给操作员。5.如权利要求3或4所述的部件更换系统，其特征在于：所述治具收纳装置收纳能够安装在所述输送臂的前端的保持部件，所述输送臂将适合于更换作为更换对象的消耗部件的保持部件从所述治具收纳装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽地淳，曾根一朗，佐藤优，西嶋拓哉，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：