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本发明涉及一种与FOUP处理器的快速FOUP交换。一种用于处理晶圆的立式批处理炉组件(10)具有盒处理空间(12)、晶圆处理空间(14)以及第一壁(16)，其将盒处理空间(12)与晶圆处理空间(14)分开。第一壁(16)具有至少一个晶圆传送...
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