磁记录媒体制造技术

提供一种具有分割为多个记录要素的记录层的磁记录媒体及具备这种磁记录媒体的磁记录重放装置，可以抑制记录磁场的扩宽并可以有效地对记录对象的记录要素施加记录磁场。磁记录媒体（１２）是一种垂直记录型的离散轨道型磁盘，包含基板（２２）、形成在基板（２２）上的软磁性层（２４）和形成在软磁性层（２４）上的记录层（２６），记录层（２６）被取向为在垂直于表面的方向上具有磁各向异性且按规定的凹凸图案被分割为多个记录要素（２６Ａ），将凹凸图案的凹部（２８）形成到软磁性层（２４）的厚度方向的途中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及按规定的凹凸图案把记录层分割为多个记录要素的磁记录媒体及磁记录重放装置。
技术介绍
以往，硬盘等磁记录媒体试图通过构成记录层的磁性粒子的微细化、材料的变更以及磁头加工的微细化等的改进来实现面记录密度的明显提高。另外，垂直记录型的磁记录媒体也正在被实用化，这种磁记录媒体是记录层被取向为在垂直于表面的方向上具有磁各向异性，在记录层的下面形成软磁性层，从而进一步提高了面记录密度，而且还期待今后能够更进一步提高面记录密度。软磁性层具有引入磁头的记录头的记录磁场的效果，以及构成将施加于记录层的记录磁场从记录头的主磁极返回到返回磁极的返回通路的效果。即，软磁性层实质上具有加强施加于记录层的记录磁场的效果。但是，显现出磁头的加工限制、磁头的记录磁场的扩宽引起的对邻接轨道的记录、记录重放时的串扰等问题，根据这些原来的改进方法的面记录密度的提高已经达到了极限，所以作为可以实现面记录密度进一步提高的候补方案，提出了一种按规定的凹凸图案形成记录层而构成的离散轨道媒体或图案化的媒体等磁记录媒体(例如参照专利文献1)。为了提高面记录密度，这样的离散轨道媒体或图案化的媒体最好都作成垂直记录型磁记录媒体。从磁头的漂浮稳定性的观点来看，最好用非磁性填料填充凹部，而使媒体表面平坦化(例如参照专利文献2)。专利文献1特开平7-129953号公报专利文献2特开2000-195042号公报但是，即使将记录层分割为记录要素，在记录层的下面连续形成的软磁性层不仅把记录磁场引入到记录对象的记录要素上，也会引入到邻接记录对象的记录要素的凹部内。即，由于记录磁场扩宽大，所以抵消了将记录层分割为记录要素而产生的面记录密度的提高效果。
技术实现思路
本专利技术的鉴于上述问题而成，目的在于提供一种具有分割为多个记录要素的记录层的磁记录媒体及具备这种磁记录媒体的磁记录重放装置，可以抑制记录磁场的扩宽并可以有效地对记录对象的记录要素施加记录磁场。本专利技术通过将把记录层分割为多个记录要素的凹凸图案的凹部一直形成到记录层下的软磁性层的厚度方向的途中，来实现上述的目的。专利技术者们当初在想到本专利技术的过程中曾经试图将软磁性层与记录层一起分割，即，试图将凹凸图案的凹部一直形成到软磁性层的基板侧的面上。这样作是因为认为可以实质上维持增强记录磁场的效果的同时，可以抑制记录磁场的扩宽。但是，实际上分割软磁性层的结果并未能有效地把记录磁场施加在记录对象的记录要素上。我们认为这是因为在凹部的底部不存在软磁性层，在与记录对象的记录要素邻接的凹部存在的方向上未构成记录磁场的返回通路。因此，专利技术者们进一步重新潜心研究的结果是把分割记录层的凹凸图案的凹部形成到软磁性层的厚度方向的途中为止，直至完成本专利技术。这样，通过把凹凸图案的凹部形成到软磁性层的厚度方向的途中为止就可以抑制记录磁场的扩宽，而能够将磁头的记录磁场引入到软磁性层的凸部上的记录要素上。另外，通过构成软磁性层中的凹部的底部的部分，也可以沿与记录对象的记录要素邻接的凹部存在的方向构成记录磁场的返回通路，从而能够有效地将磁头的记录磁场施加到记录对象的记录要素上。即，按照以下的本专利技术可以解决上述的问题。(1)一种磁记录媒体，其特征在于，包含有基板、形成在该基板上的软磁性层、取向为在垂直于表面的方向上具有磁各向异性并形成在所述软磁性层上、且按规定的凹凸图案分割成多个记录要素的记录层；所述凹凸图案的凹部一直形成到所述软磁性层的厚度方向的途中。(2)记载于(1)中的磁记录媒体，其特征在于，所述软磁性层中构成所述凹部的底部的部分具有该软磁性层的整个厚度的50％以上的厚度。(3)记载于(1)或(2)中的磁记录媒体，其特征在于，所述软磁性层中的所述凹部的深度是3nm以上。(4)记载于(1)至(3)任一项中的磁记录媒体，其特征在于，所述软磁性层中的所述凹部的深度是25nm以下。(5)一种磁记录重放装置，其特征在于，具有记载于(1)至(4)任一项中的磁记录媒体，以及用来对磁记录媒体进行数据的记录/重放的磁头。本申请中，所谓“按凹凸图案分割为多个记录要素的记录层”是除将凹凸图案的凹部形成到基板侧的面上的记录层且把记录要素之间完全分割的记录层之外，还包含在凹部以外的(凸部的)区域中记录要素彼此之间局部连续的记录层、螺旋状的旋涡形的记录要素那样在基板上的一部分连续形成记录要素的记录层。在本申请中，所谓“磁记录媒体”并不限定于在信息记录、读出时采用的硬盘、软(注册商标)盘、磁带等，还包含磁光并用的MO(磁光碟机MagnetoOptical)等光磁记录媒体、磁热并用的热辅助型的记录媒体。按照本专利技术，能够实现具有分割为多个记录要素的记录层的可以抑制记录磁场的扩宽并可以有效地对记录对象的记录要素施加磁头的记录磁场的磁记录媒体。附图说明图1是本专利技术的实施方式的磁记录重放装置的主要部分的概略结构的立体示意图。图2是该磁记录重放装置的磁记录媒体的放大的结构侧断面示意图。图3是该磁记录重放装置的磁头结构的立体示意图。图4是该磁记录重放装置的软磁性层的凹部的深度与磁场的扩宽的关系曲线。图5是构成软磁性层中的凹部的底部的部分的厚度对该磁记录重放装置的软磁性层的整个厚度的比率与记录要素上面的记录磁场的强度的关系曲线。具体实施例方式以下，参照附图详细说明本专利技术的最佳实施方式。如图1所示，按照本专利技术的实施方式的磁记录重放装置10具备磁记录媒体12、用来对磁记录媒体12进行数据的记录/重放的磁头14；磁记录媒体12的结构具有特征。由于为了理解本专利技术并不特别需要其他结构，所以适宜地省略了其说明。磁记录媒体12被固定在卡盘16上，并能与卡盘16一起自由旋转；磁头14被安装在悬臂18的前端附近，悬臂18被可自由旋转地安装在基座20上。这样，磁头14就可以按沿磁记录媒体12的径向的圆弧轨道接近于磁记录媒体12的表面地移动。磁记录媒体12是垂直记录型的离散轨道型磁盘，如图2所示，其特征在于包含基板22、形成在基板22上的软磁性层24和形成在软磁性层24上的记录层26，记录层26被取向为在垂直于表面的方向上具有磁各向异性且按规定的凹凸图案被分割为多个记录要素26A，将凹凸图案的凹部28一直形成到软磁性层24的厚度方向的途中。基板22的软磁性层24侧的面被研磨成镜面，可以把用玻璃、NiP被覆的Al合金、Si、Al2O3等非磁性材料用作基板22的材料。在基板22与软磁性层24之间形成有用来将径向的磁各向异性赋予底层31和软磁性层24的反强磁性层32。底层31的厚度为2～40nm，可以用Ta等作为底层31的材料。反强磁性层32的厚度为5～50nm，可以用PtMn合金、RuMn合金等作为反强磁性层32的材料。软磁性层24的厚度为50～300nm，可以用Fe(铁)合金、Co(钴)非晶质合金、铁氧体等作为软磁性层24的材料。软磁性层24也可以是具有软磁性的层和非磁性层的叠层结构。构成软磁性层24中的凹部28的底部的部分最好具有软磁性层24的整个厚度的50％以上的厚度。软磁性层24中的凹部28的深度最好为3nm以上、25nm以下。凹凸图案的凹部28用非磁性填料30填充，直到记录层26中与基板22相对侧的面为止；可以使用SiO2、Al2O3、TiO2、铁氧体等氧化物、AlN等氮化物、SiC等炭化物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁记录媒体，其特征在于，包含有：基板、形成在该基板上的软磁性层、按规定的凹凸图案分割成多个记录要素的记录层，其以在垂直于表面的方向上具有磁各向异性的方式被取向，并形成在所述软磁性层上；所述凹凸图案的凹部形 成到所述软磁性层的厚度方向的途中。

【技术特征摘要】
JP 2004-7-12 2004-2053111.一种磁记录媒体，其特征在于，包含有基板、形成在该基板上的软磁性层、按规定的凹凸图案分割成多个记录要素的记录层，其以在垂直于表面的方向上具有磁各向异性的方式被取向，并形成在所述软磁性层上；所述凹凸图案的凹部形成到所述软磁性层的厚度方向的途中。2.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，所述软磁性层中构成所述凹部的底部的部分具有该软磁性层的整个厚度的50％以上的厚度。3.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，所述软磁性层中的所述凹部的深度是3nm以上。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：添野佳一，田上胜通，高井充，海津明政，岛川和也，
申请(专利权)人：TDK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]