本发明专利技术提供一种母盘制造方法，用保持曲率移动的水平移动装置来实现正确的母盘传送精度，包括：使光阻剂母盘（１０８）自转的工序；移动上述光阻剂母盘（１０８）的工序；读取与上述移动相伴的上述光阻剂母盘（１０８）的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对上述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随上述移动的上述光阻剂母盘（１０８）的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据上述检测结果，控制规定的制造参数的工序。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术，涉及像光盘等那样在母盘上螺旋状高精度地记录信号时所使用的母盘的制造方法、母盘的移动距离差检测方法、母盘制造装置、母盘的移动距离差检测装置、母盘检查方法、以及母盘检查装置。
技术介绍
光盘的制造工序，一般包括制作光盘母盘的工序，使用以激光或电子束等为源的光盘母盘记录装置，使涂有光致抗蚀剂的母盘曝光，通过对曝光后的母盘实施显影，来在表面上形成信息凹坑或槽等的凹凸图案；制作被称为压模的金属模具的工序，该压模从光盘母盘复刻凹凸图案；使用压模，制作树脂制的成形基板的工序；以及，使记录膜和反射膜等在成形基板上成膜并贴合的工序。图17表示使用电子束作为记录束的电子束记录装置的一般例，是用于对光盘的信息凹坑或槽等图案进行记录的母盘记录装置的一例。电子束记录装置构成为，电子柱203设置在真空槽213内。电子柱203具备以下部分而构成电子束源201，用来产生电子束；以及电子光学系统202，用来将发射的电子束汇聚到光阻剂母盘(resist master)210上，并根据输入的信息信号，将信息图案记录到光阻剂母盘210上。电子束源201，具有通过流过电流而发射电子的灯丝(filament)；困住所发射的电子的电极；以及，引出电子束并使其加速的电极等。能够从一点发射电子。电子光学系统202，具有使电子束汇聚的透镜204；决定电子束的束径的孔径205；根据输入的信息信号，使电子束偏转的电极206、207；遮挡被电极206偏转的电子束的挡板208；以及，使电子束汇聚到光阻剂母盘210表面上的透镜209。光阻剂母盘210，保持在自转装置211上，每个自转装置211都被水平移动装置212水平移动。使光阻剂母盘210旋转着水平移动后，可将电子束螺旋状地照射到光阻剂母盘210上，能将光盘的信息信号螺旋状地记录到母盘上。与光阻剂母盘210的表面高度大致相同的地方设有焦点调整用栅格214。之所以设置它，是为了将电子束汇聚到光阻剂母盘210的表面上，并调整透镜209的焦点位置。电子束照射到焦点调整用栅格214上，并被焦点调整用栅格214反射，通过用检测器检测出反射后的反射电子和发射的2次电子等，焦点调整用栅格214，监视栅格像，按照像的观察方法，就可以调整透镜209的焦点位置。电极206，被设置成使电子束在与水平移动装置212的移动方向大致垂直的方向上偏转。可以根据输入到电极206中的信号，来选择是否通过由电极206将电子束偏向挡板208侧来使电子束照射到光阻剂母盘210上，从而能够将信息凹坑图案等记录在光阻剂母盘210上。电极207，被设置成使电子束在大致垂直于电极206的方向上偏转。能够根据输入到电极中的信号，使电子束在与水平移动装置212的移动方向大致相同的方向上偏转。水平移动装置212的移动方向，相当于被记录的光阻剂母盘210的半径方向，通过输入到电极207中的信号，可以修正光盘的道间距的变动等。作为水平移动装置212，例如图18所示，具有以下结构丝杠传动式结构，用马达302旋转丝杠301，通过保持光阻剂母盘303的平台304上所刻有的螺距，直线地传送光阻剂母盘303；或者摆臂式结构，如图19所示，以一点401为中心，在旋转光阻剂母盘402的同时，用臂403保持曲率来传送，等等。作为用来提高水平移动装置212的传送精度等的水平移动装置212的位置检测装置，主要采用的是激光干涉测长仪等测长装置。对于图18那样的具有直线的传送结构的装置而言，利用激光干涉测长仪等，就可以从外部将激光照射到设于水平移动装置212上的目标，并根据其反射光等引起的干涉图案等，对水平移动装置212的位置进行测长，检测出与所希望的位置的偏差量。然后，驱动水平移动装置212来修正所检测出的偏差，另外通过驱动电极207等控制电子束的照射位置，从而能够进行修正(参照例如特开2002-141012号公报)。图19所示的摆臂式的水平移动装置212中，根据位置测定点保持曲率来运动的特性可知，它与直线传送的情况不同，使用激光干涉测长仪等十分困难。在制作具有CD或DVD那样的信息密度的光盘时，由于其道间距的变动量的允许值很大，所以即便使用如摆臂式的保持曲率来移动的水平移动装置212，不用激光干涉仪等测长仪，只通过对臂实施驱动的马达的精度、或者旋转轴上设有编码器等的输出的马达，就能够以足够的精度进行记录。但是，记录大容量的数字高清信息等的下一代光盘中，其与DVD相比，道间距大约为一半左右，道间距变动量的允许值也非常小。所以，如摆臂式等那样保持曲率来移动的水平移动装置212中，也需要导入能正确检测出位置并用伺服系统(servo)实施位置控制的系统。也就是说，在摆臂式的情况下，与水平移动装置212的移动相伴的电子束的轨迹，为图19所示的虚线。由于该轨迹是以点401为中心的圆弧状，所以，会与光阻剂母盘402的半径方向上的直线产生偏差。这种偏差越大，道间距的偏差就会越大。在制作上述大容量的下一代光盘的情况下，这种道间距的偏差就成了问题。例如，在图19所示的例子中，道间距在光阻剂母盘402的边缘要比中心附近窄。此外，在这种道间距变窄的区域中，有时振动等也会造成道间距的变动，这种道间距的变动，也会在制作大容量的下一代光盘时成为问题。此外，图20表示具备图18所示的丝杠传动式水平移动装置212的电子束记录装置的截面。虽然固定激光干涉测长仪305的部分(例如在电子束记录装置的情况下，为固定水平移动装置212的基台的真空槽底面306等)相对水平移动装置212的位置可以修正，但实际上，有时会做不到对汇聚记录束的记录束汇聚装置(例如在电子束记录装置的情况下，为电子柱)和水平移动装置212的相对位置关系进行修正。这种情况下，对于通过记录束照射到光阻剂母盘210上而形成的光盘等而言，要想提高螺旋状图案的传送精度仍不充分。
技术实现思路
本专利技术鉴于以往的课题，其目的在于提供一种用保持曲率移动的水平移动装置来实现正确的母盘传送精度的母盘的制造方法、母盘的制造装置、母盘的移动距离差检测方法、母盘的移动距离差检测装置、母盘的检查方法以及母盘的检查装置。此外，本专利技术的另一目的在于提供一种能够掌握水平移动装置与记录束汇聚装置的相对位置关系的母盘的制造方法、母盘的制造装置、母盘的检查方法、以及母盘的检查装置。为了解决上述课题，本专利技术的第1专利技术，是一种母盘制造方法，包括使母盘自转的工序；移动所述母盘的工序；读取与所述移动相伴的所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对所述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随所述移动的所述母盘的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据所述检测结果，控制规定的制造参数的工序。本专利技术的第2专利技术是根据本专利技术第1专利技术的母盘制造方法，所述母盘的移动，是绕着不同于所述母盘的中心点的旋转中心旋转的公转。本专利技术的第3专利技术是根据本专利技术第2专利技术的母盘制造方法，所述母盘的自转，在长条形状的臂的一端进行，所述母盘的公转，是绕着所述臂的旋转中心的公转，读取所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离，是利用设在所述臂的端面上的规定图案来进行的。本专利技术的第4专利技术是根据本专利技术第3专利技术的母盘制造方法，读取所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离，是通过将激光照射到全息图像上，并对其衍射光的干涉条纹进行计数来实本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种母盘制造方法，包括：使母盘自转的工序；移动所述母盘的工序；读取与所述移动相伴的所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对所述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随所述移动的所述母盘的中心点在直线上的移动距离之 差进行检测的工序；以及，根据所述检测结果，控制规定的制造参数的工序。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-9-8 315998/20031.一种母盘制造方法，包括使母盘自转的工序；移动所述母盘的工序；读取与所述移动相伴的所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对所述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随所述移动的所述母盘的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据所述检测结果，控制规定的制造参数的工序。2.根据权利要求1所述的母盘制造方法，其特征在于，所述母盘的移动，是绕着不同于所述母盘的中心点的旋转中心旋转的公转。3.根据权利要求2所述的母盘制造方法，其特征在于，所述母盘的自转，在长条形状的臂的一端进行，所述母盘的公转，是绕着所述臂的旋转中心的公转，读取所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离，是利用设在所述臂的端面上的规定图案来进行的。4.根据权利要求3所述的母盘制造方法，其特征在于，读取所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离，是通过将激光照射到全息图像上，并对其衍射光的干涉条纹进行计数来实施的，所述全息图像设置在所述臂的端面上，且形状与所述中心点的轨迹相似。5.根据权利要求3所述的母盘制造方法，其特征在于，读取所述中心点在轨迹上的移动距离，是通过磁头对所述臂的端面上设置的磁化图案进行计数来实施的。6.根据权利要求3所述的母盘制造方法，其特征在于，读取所述中心点在轨迹上的移动距离，是通过将激光照射到全息图像上，并对其衍射光的干涉条纹的间隔进行测量来实施的，所述全息图像设置在所述臂的端面上且为直线形状。7.根据权利要求6所述的母盘制造方法，其特征在于，测量所述干涉条纹的间隔，是以所述臂的旋转的最大边界点为基准进行的。8.根据权利要求1所述的母盘制造方法，其特征在于，所述控制规定的制造参数的工序，是控制对所述母盘的照射束的位置的工序。9.根据权利要求8所述的母盘制造方法，其特征在于，所述照射束的位置的控制，是通过电场使电子束偏转来进行的。10...
【专利技术属性】
技术研发人员：佃雅彦，阿部伸也，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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