光学数据存储介质及其制造方法技术

披露了一种光学数据存储介质。它至少包括：基底，具有数据存储在模压到基底中的凹坑和隔开凹坑的间隔中的表面；反射层，覆盖所述表面并在波长λ下具有固有光学反射率Ｒ；形成在所述反射层上的透明覆盖叠层，凹坑的图案可借助具有波长λ的聚焦射束通过所述覆盖叠层而读取。在隔开凹坑的间隔上的Ｒ值显著不同于在凹坑底部上的Ｒ值。例如对于ＢＤ－ＲＯＭ盘，获得了一种改进的信号质量。另外，还披露了用于制造这种介质的方法，例如倾斜溅射或选择性蚀刻。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光学数据存储介质，至少包括-基底，具有数据存储在模压(emboss)到基底中的凹坑和隔开凹坑的间隔(space)中的表面；-反射层，覆盖所述表面并在波长λ下具有固有光学反射率R；-形成在所述反射层上的透明覆盖叠层，凹坑的图案可借助具有波长λ的聚焦辐射束通过所述覆盖叠层而读取。本专利技术还涉及制造这种介质的方法。
技术介绍
只读(ROM)光学介质的读出是在凹坑的图案上进行反射时基于聚焦辐射束的相位调制进行的。在数字多功能盘(DVD)和致密盘(CD)型的介质中，凹坑被复制在基底中并且随后由薄的金属层覆盖。该反射层会导致较高的反射信号。因为数据的读出是通过盘的基底侧进行的，所以凹坑形状被很好的保存。在较新的高密度蓝光盘(BD)ROM中，ROM信息也被复制在基底中，随后用金属镜面覆盖凹坑的图案。类似BD的下一代盘与类似CD和DVD的老盘的不同之处在于数据是从盘的相对侧读取的，即通过较薄的覆盖层读取的。由于通过凹坑形状的金属层的不完美的转移，就会导致凹坑形状略微恶化。在凹坑被复制在基底中的情况下通过基底的读出和通过覆盖层的读出之间的差别被显示在图1中。尤其是在较小的通道位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学数据存储介质，至少包括：－基底，具有数据存储在模压到基底中的凹坑和隔开凹坑的间隔中的表面；－反射层，覆盖所述表面并在波长λ下具有固有光学反射率Ｒ；－形成在所述反射层上的透明覆盖叠层，凹坑的图案可借助具有波长λ 的聚焦射束通过所述覆盖叠层而读取，其特征在于在隔开凹坑的间隔上的Ｒ值显著不同于在凹坑底部上的Ｒ值。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】EP 2004-6-28 04102998.41.一种光学数据存储介质，至少包括-基底，具有数据存储在模压到基底中的凹坑和隔开凹坑的间隔中的表面；-反射层，覆盖所述表面并在波长λ下具有固有光学反射率R；-形成在所述反射层上的透明覆盖叠层，凹坑的图案可借助具有波长λ的聚焦射束通过所述覆盖叠层而读取，其特征在于在隔开凹坑的间隔上的R值显著不同于在凹坑底部上的R值。2.如权利要求1所述的介质，其中所述反射层仅仅地或主要地存在于隔开凹坑的间隔上。3.如权利要求1所述的介质，其中所述反射层仅仅地或主要地存在于凹坑的底部上。4.如权利要求2或3中的任何一个所述的介质，其中所述反射层的材料的折射率nr显著不同于覆盖叠层的材料的折射率nc，以便在反射层和覆盖叠层之间的界面处获得充分的反射。5.如权利要求4所述的介质，其中所述反射层是一金属层。6.如权利要求5所述的介质，其中λ大约为405nm，而凹坑是以螺旋形轨迹图案形成的，具有0.320+/-0.010μm的轨迹间距。7.如权利要求6所述的介质，其中凹坑在轨迹方向上的长度按照游程长度≥2CBL且≤8CBL的游程长度受限码进行调制，其中CBL＝80.00nm+/-0.07...

【专利技术属性】
技术研发人员：ER梅因德斯，A米吉里茨基，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]