一种金属掩膜版框架密封装载箱制造技术

一种金属掩膜版框架密封装载箱，包括箱体，箱体的一侧设有箱门，箱门的内侧面上均匀水平设有多个压板，压板的外侧设有压垫，箱体的顶板和底板都设有金属框架放置装置，底板上的金属框架放置装置的前方安装有递进台，顶板上的金属框架放置装置的前方安装有固定按压装置，轮槽上均布有多个滑轮，本发明专利技术结构简单，通过对掩膜版金属框架上侧以及左右两侧的按压可以实现对掩膜版金属框架稳定的夹持，防止掩膜版金属框架在运输过程中因夹持不稳定产生划伤，在箱壁内设有隔热棉可以保持箱内温度在一定范围内，防止外部温度过高导致箱内掩膜版金属框架发生较大热形变，可以对箱内的湿度进行实时监控，防止湿度过高导致掩膜版金属框架被腐蚀。架被腐蚀。架被腐蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜版框架密封装载箱


[0001]本专利技术属于掩膜版金属框架装载运输设备
，尤其是涉及一种金属掩膜版框架密封装载箱。

技术介绍

[0002]目前，在有机发光二极管显示面板的制作过程中，需要用到掩膜版，且在蒸镀工艺过程中多采用超精细掩膜版来将有机发光材料蒸镀在基板的规定位置，超精细掩膜版的平坦度直接影响蒸镀的良率，面板的分辨率越高，所需的超精细掩膜版越精细，进而对超精细掩膜版的平坦度要求越高。
[0003]现有的装载箱密封性不好且装载方式不完善，使得金属掩膜版框架的运输工程中容易发生划伤和腐蚀，会影响后期的蒸镀良率。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是针对上述问题，提供一种金属掩膜版框架密封装载箱，包括箱体，所述箱体的一侧设有箱门，所述箱门的内侧面上均匀水平设有多个压板，所述压板的外侧设有压垫，所述箱体的顶板和底板都设有金属框架放置装置，所述底板上的金属框架放置装置的前方安装有递进台，所述顶板上的金属框架放置装置的前方安装有固定按压装置，所述金属框架放置装置包括多个轮槽，所述轮槽上均布有多个滑轮。
[0005]进一步的，所述箱门内侧边缘设有密封橡胶垫。
[0006]进一步的，所述固定按压装置包括压座，所述压座的正下方安装有软垫，所述压座通过两侧的限位棒与所述箱体的顶板连接，所述限位棒的底部套设有复位弹簧，所述复位弹簧处于所述压座与所述限位棒的底限位端之间，所述压座的两端安装有拉扣，所述拉扣的正下方设有拉扣下拉装置。
[0007]进一步的，所述拉扣下拉装置包括固定座和下拉闸刀，所述固定座与所述箱体的侧壁固定连接，所述下拉闸刀与所述固定座转动连接，所述下拉闸刀上设有转轴，所述转轴与拉环的一端连接。
[0008]进一步的，所述箱体内配设有多个干燥剂放置盒。
[0009]进一步的，所述箱体的侧壁上设有氮气进气口，且所述氮气进气口上安装有干燥管，所述干燥管包括承接管，所述承接管的两端都安装有接头管，所述承接管与所述接头管螺纹连接，所述接头管的管腔内横置有多块干燥板，所述干燥板包括双层隔板，所述双层隔板之间填充有干燥剂颗粒且所述双层隔板上均布有通风小孔。
[0010]进一步的，所述承接管内设有半封闭管，所述半封闭管的开口端与所述承接管的进风口连接，所述半封闭管的侧壁上均布有出气孔，所述半封闭管与所述承接管之间的空腔内填充有干燥剂颗粒，所述承接管进气外端设有密封垫，所述出气孔、所述承接管的进气端和出气端以及所述半封闭管的封闭端与所述承接管之间都设有过滤筛网。
[0011]进一步的，所述箱门上安装有湿度计。
[0012]进一步的，所述箱体的壁内都填充有隔热棉。
[0013]与现有的技术相比具有以下有益效果：本专利技术结构简单，通过对掩膜版金属框架上侧以及左右两侧的按压可以实现对掩膜版金属框架稳定的夹持，防止掩膜版金属框架在运输过程中因夹持不稳定产生划伤，而且整体密封性好，在箱壁内设有隔热棉可以保持箱内温度在一定范围内，防止外部温度过高导致箱内掩膜版金属框架发生较大热形变，可以对箱内的湿度进行实时监控，防止湿度过高导致掩膜版金属框架被腐蚀。
附图说明
[0014]图1是本专利技术立体结构示意图；图2是本专利技术金属框架放置装置结构示意图；图3是本专利技术内部结构示意图；图4是本专利技术固定按压装置结构示意图；图5是本专利技术拉扣下拉装置结构示意图；图6是本专利技术侧视图；图7是本专利技术干燥管结构示意图；图8是本专利技术接头管剖视图；图9为本专利技术承接管剖视图。
[0015]图中，箱体1、箱门2、密封橡胶垫3、压板4、压垫5、金属框架放置装置6、递进台7、干燥剂放置盒8、固定按压装置9、氮气进气口10、湿度计11、干燥管12、轮槽601、滑轮602、压座901、拉扣902、拉扣下拉装置903、限位棒904、复位弹簧905、软垫906、固定座9031、下拉闸刀9032、转轴9033、拉环9034、接头管121 、干燥板122、承接管123、半封闭管124、密封垫125、出气孔126。
具体实施方式
[0016]以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本专利技术的范围。
实施例
[0017]如图1
‑
6所示，一种金属掩膜版框架密封装载箱，包括箱体1，箱体1的一侧设有箱门2，箱门2的内侧面上均匀水平设有多个压板4，压板4的外侧设有压垫5，箱体1的顶板和底板都设有金属框架放置装置6，金属框架放置装置6包括多个轮槽601，轮槽601上均布有多个滑轮602，底板上的金属框架放置装置6的前方安装有递进台7，递进台7可以使得掩膜版金属框架在进行装载时可以直接滑倒滑轮602上，避免磕碰，划伤掩膜版金属框架，顶板上的金属框架放置装置6的前方安装有固定按压装置9；箱门2内侧边缘设有密封橡胶垫3；可以增加箱门2与箱体1之间的气密性。
[0018]固定按压装置9包括压座901，压座901的正下方安装有软垫906，压座901通过两侧的限位棒904与箱体1的顶板连接，限位棒904穿透压座901且底端设有限位结构，限位棒904的底部套设有复位弹簧905，复位弹簧905处于压座901与限位棒904的底限位端之间，压座901的两端安装有拉扣902，拉扣902的正下方设有拉扣下拉装置903；拉扣下拉装置903包括
固定座9031和下拉闸刀9032，固定座9031与箱体1的侧壁固定连接，下拉闸刀9032与固定座9031转动连接，下拉闸刀9032上设有转轴9033，转轴9033与拉环9034的一端连接。
[0019]箱体1内配设有多个干燥剂放置盒8；箱体1的侧壁上设有氮气进气口10，且氮气进气口10上安装有干燥管12，干燥管12包括承接管123，承接管123的两端都安装有接头管121，承接管123与接头管121螺纹连接，接头管121的管腔内横置有多块干燥板122，干燥板122包括双层隔板，双层隔板之间填充有干燥剂颗粒且双层隔板上均布有通风小孔。
[0020]承接管123内设有半封闭管124，半封闭管124的开口端与承接管123的进风口连接，半封闭管124的侧壁上均布有出气孔126，半封闭管124与承接管123之间的空腔内填充有干燥剂颗粒，承接管123进气外端设有密封垫125，出气孔126、承接管123的进气端和出气端以及半封闭管124的封闭端与承接管123之间都设有过滤筛网箱门2上安装有湿度计11；箱体1的壁内都填充有隔热棉。
[0021]本专利技术在具体使用时，分别将掩膜版金属框架装载到金属框架放置装置6上，然后向下按压下拉闸刀9032，下拉闸刀9032带动拉环9034，拉环9034就会将拉扣902往下拉，从而会使得软垫906紧紧按压在掩膜版金属框架上，关上箱门2上配设有的门锁会使得压板4的外侧的压垫5压紧掩膜版金属框架侧边，箱体1的侧壁上也对称设有压板和压垫，形成对掩膜版金属框架两侧的夹紧固定。
[0022]为了防止掩膜版金属框架发生腐蚀，先需要通过氮气进气口10将密封箱体1内进行抽空，然后充入氮气，本专利技术通过干燥管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜版框架密封装载箱，其特征在于：包括箱体（1），所述箱体（1）的一侧设有箱门（2），所述箱门（2）的内侧面上均匀水平设有多个压板（4），所述压板（4）的外侧设有压垫（5），所述箱体（1）的顶板和底板都设有金属框架放置装置（6），所述底板上的金属框架放置装置（6）的前方安装有递进台（7），所述顶板上的金属框架放置装置（6）的前方安装有固定按压装置（9），所述金属框架放置装置（6）包括多个轮槽（601），所述轮槽（601）上均布有多个滑轮（602）。2.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版框架密封装载箱，其特征在于：所述箱门（2）内侧边缘设有密封橡胶垫（3）。3.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版框架密封装载箱，其特征在于：所述固定按压装置（9）包括压座（901），所述压座（901）的正下方安装有软垫（906），所述压座（901）通过两侧的限位棒（904）与所述箱体（1）的顶板连接，所述限位棒（904）的底部套设有复位弹簧（905），所述复位弹簧（905）处于所述压座（901）与所述限位棒（904）的底限位端之间，所述压座（901）的两端安装有拉扣（902），所述拉扣（902）的正下方设有拉扣下拉装置（903）。4.根据权利要求3所述的一种金属掩膜版框架密封装载箱，其特征在于：所述拉扣下拉装置（903）包括固定座（9031）和下拉闸刀（9032），所述固定座（9031）与所述箱体（1）的侧壁固定连接，所述下拉闸刀（9032）与所述固定座（9031）转动连接，所述下拉闸刀（9032）上设有转轴（9033）...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，张超，
申请(专利权)人：江苏高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：