轨道结构和芯片检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种轨道结构和芯片检测设备。本实用新型专利技术的轨道结构包括底座、第一滑块和第二滑块，底座设有至少三条第一轨道，所有第一轨道均平行，第一滑块与所有第一轨道连接，且第一滑块沿着第一轨道移动，至少一条第一轨道位于两条第一轨道之间，第一滑块相对第一轨道的另一侧设有第二轨道，第二滑块沿着第二轨道移动。轨道结构能够降低位于第二滑块上的芯片在移动过程中发生移位的概率。本实用新型专利技术还公开了一种芯片检测设备。新型还公开了一种芯片检测设备。新型还公开了一种芯片检测设备。

【技术实现步骤摘要】
轨道结构和芯片检测设备


[0001]本技术涉及芯片检测领域，尤其公开了一种轨道结构和芯片检测设备。

技术介绍

[0002]在对芯片进行检测的过程中，一般需要将芯片移动一段距离后，通过探针对其进行检测，在相关技术中，大部分的芯片承载板可以通过XY轴直线电机相对底座进行移动，但是由于X轴的轨道给予Y轴滑板的力不足，所以Y轴滑板的平整度不足，这使得沿着Y轴上的轨道容易产生凹陷或凸起，使沿着Y轴移动的芯片承载板的移动不够平稳，从而使得芯片在移动过程中容易发生移位，影响后续芯片的检测精度。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种轨道结构和芯片检测设备，能够降低在移动过程中芯片发生移位的概率。
[0004]本技术的实施例提供了一种轨道结构，包括：
[0005]底座，所述底座设有至少三条第一轨道，所有所述第一轨道均平行；
[0006]第一滑块，所述第一滑块与所有所述第一轨道连接，且所述第一滑块沿着所述第一轨道移动，至少一条所述第一轨道位于两条所述第一轨道之间，所述第一滑块相对所述第一轨道的另一侧设有第二轨道；
[0007]所述第二滑块，所述第二滑块沿着所述第二轨道移动。
[0008]根据本技术实施例的轨道结构，至少具有如下有益效果：由于底座上设有至少三条第一轨道，且第一轨道沿着至少三条第一轨道移动，所以通过第一轨道，底座对第一滑块的支撑力更加平均，这使得第一滑块的变形程度较低，所以第一滑块上的第二轨道更加的平稳，当第二滑块沿着第二轨道移动的过程中，第二滑块的移动能够更加平稳，从而降低位于第二滑块上的芯片在移动过程中发生移位的概率。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述底座上包括四条所述第一轨道，所述第一轨道在所述底座的顶面上均匀分布。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述第一轨道和所述第二轨道相互垂直。
[0011]根据本技术的一些实施例，还包括移动平台，所述移动平台与所述第二滑块相连接，所述移动平台相对所述底座的另一侧用于承载物料。
[0012]根据本技术的一些实施例，还包括保护罩，所述第一轨道上设有第一移动区域，所述第一滑块上设有第一连接部，所述第一滑块通过所述第一连接部与所述第一轨道连接，所述第一连接部能够在所述第一移动区域移动，所述第一轨道上排除所述第一移动区域的其他位置上设有保护罩。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述第二轨道上设有第二移动区域，所述第二滑块上设有第二连接部，所述第二滑块通过所述第二连接部与所述第二轨道连接，所述第二连接部能够在所述第一移动区域移动，所述第二轨道上排除所述第二移动区域的其他位置
上设有保护罩。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述保护罩为风琴罩。
[0015]本技术还提出一种具有上述轨道结构的芯片检测设备。
[0016]根据本技术的一些实施例，还包括探针，所述探针与所述底座相连接，所述第二滑块相对所述底座的另一侧用于承载芯片，所述探针位于所述底座的上方。
[0017]根据本技术的一些实施例，还包括承载板，所述承载板与所述底座相连接，所述承载板用于承载探针。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0019]图1为本技术实施例中轨道结构的立体图；
[0020]图2为本技术另一个实施例中轨道结构的立体图；
[0021]图3是图2的正视图；
[0022]图4是本技术实施例中芯片检测设备的立体图。
[0023]附图标记：底座101、第一轨道102、第一滑块103、第二轨道104、第二滑块105、保护罩201、第一移动区域202、第二移动区域203、第一连接部204、第二连接部205、间隙301、移动平台401、探针402、探针承载板403。
具体实施方式
[0024]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0027]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0028]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0029]在芯片的检测过程中，一般需要将芯片移动一段距离，在相关技术中，大多需要通过XY轴电机对芯片进行移动，但是在上述相关技术中，大多数的X轴的轨道均设有1至2条轨道，这使得X轴轨道给Y轴滑板的支撑力不足，这使得Y轴滑板由于其重力容易产生形变，这使得沿着Y轴滑板上移动的芯片承载板的移动产生波动，并使得位于芯片承载板上的芯片在移动的过程中产生移位，从而影响后续的检测精度。
[0030]针对上述问题，本技术的实施例提出了一种轨道结构，轨道结构包括底座101、第一滑块103和第二滑块105，底座101上设有顶面，底座101的顶面上设有凸起的若干条相互平行的第一轨道102，底座101上的第一轨道102至少包括三条，且其中一条第一轨道102位于两条第一轨道102之间。第一滑块103与所有第一轨道102连接，且第一滑块103能够相对第一轨道102移动。第二滑块105相对第一轨道102的另一侧设有第二轨道104，第二滑块105沿着第二轨道104移动，且第一轨道102和第二轨道104的方向不同，这使得通过第一轨道102和第二轨道104，第二滑块105能够做两个方向的移动。在上述的结构中，由于底座101上设有至少三条第一轨道102，且一条第一轨道102位于两条本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轨道结构，其特征在于，包括：底座，所述底座设有至少三条第一轨道，所有所述第一轨道均平行；第一滑块，所述第一滑块与所有所述第一轨道连接，且所述第一滑块沿着所述第一轨道移动，至少一条所述第一轨道位于两条所述第一轨道之间，所述第一滑块相对所述第一轨道的另一侧设有第二轨道；第二滑块，所述第二滑块能够沿着所述第二轨道移动。2.根据权利要求1所述的轨道结构，其特征在于，所述底座上包括四条所述第一轨道，所述第一轨道在所述底座的顶面上均匀分布。3.根据权利要求1所述的轨道结构，其特征在于，所述第一轨道和所述第二轨道相互垂直。4.根据权利要求1所述的轨道结构，其特征在于，还包括移动平台，所述移动平台与所述第二滑块相连接，所述移动平台相对所述底座的另一侧用于承载物料。5.根据权利要求1所述的轨道结构，其特征在于，所述第一轨道上设有第一移动区域，所述第一滑块上设有第一连接部，所述第一滑块通过所述第一连接部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈秋龙，阳香仁，
申请(专利权)人：深圳市盛世智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：