一种石英片加工镀膜机的镀膜机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，涉及石英片加工技术领域，包括镀膜柜和工作柜，所述镀膜柜的下方设置有工作柜，所述镀膜柜通过设置的活动槽与工作柜相贯通，所述镀膜柜的顶部设置有电镀器和空气感应装置，所述镀膜柜的内壁左右两侧均开设有圆形槽，所述圆形槽的内壁均活动连接有转动壳体，所述转动壳体的底部均固定连接有转动器，所述转动器贯穿于圆形槽延伸于镀膜柜的外侧。本实用新型专利技术方便在石英晶片镀膜完成后进行翻面，并且使在动过程中石英晶片能够保持稳定，同时可以对镀膜环境内的真空状态进行感应，使电镀装置也能够在最佳的环境中对石英晶片进行镀膜，提高了镀膜工作的效率。提高了镀膜工作的效率。提高了镀膜工作的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英片加工镀膜机的镀膜机构


[0001]本技术涉及一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，涉及石英片加工


技术介绍

[0002]石英，地质学专业术语，一般指低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物。主要成分是SiO2，无色透明，常含有少量杂质成分，而变为半透明或不透明的晶体，质地坚硬。石英是一种物理性质和化学性质均十分稳定的矿产资源，晶体属三方晶系的氧化物矿物。石英块又名硅石，主要是生产石英砂(又称硅砂)的原料，也是石英耐火材料和烧制硅铁的原料，镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质层，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性，目前镀膜广泛应用于光学、半导体等诸多领域，薄膜制作通常以物理蒸镀法为主，该方法为将薄膜材料由固态转化为气态或离子态的材料，由蒸发源穿越空间抵达基板表面，材料抵达基板表面后，将沉积而逐渐形成薄膜，目前的镀膜装置在使用时直接将材料喷向铸件的表面。
[0003]针对现有技术存在以下问题：
[0004]1、现有技术中，石英片加工镀膜机的镀膜机构存在不便于石英晶片翻面镀膜的问题；
[0005]2、现有技术中，对一些石英片加工镀膜机的镀膜机构来说，由于不便于对镀膜工作环境内的真空状态进行检测，导致电镀装置也无法在最佳的环境中对石英晶片进行镀膜，进而达不到提高石英晶片的镀膜效率的使用初衷，该石英片加工镀膜机的镀膜机构的适用性变差，因此需要进行结构创新来解决具体问题。

技术实现思路

[0006]本技术需要解决的技术问题是提供一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，其中一种目的是为了具备便于石英晶片翻面的功能,解决传统石英片加工镀膜机的镀膜机构存在不便于石英晶片翻面问题；其中另一种目的是为了解决镀膜工作环境内的空气状态无法检测的问题，以达到电镀装置也能够在最佳的环境中对石英晶片进行镀膜效果。
[0007]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0008]一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，包括镀膜柜和工作柜，所述镀膜柜的下方设置有工作柜，所述镀膜柜通过设置的活动槽与工作柜相贯通，所述镀膜柜的顶部设置有电镀器和空气感应装置，所述镀膜柜的内壁左右两侧均开设有圆形槽，所述圆形槽的内壁均活动连接有转动壳体，所述转动壳体的底部均固定连接有转动器，所述转动器贯穿于圆形槽延伸于镀膜柜的外侧，所述转动器远离圆形槽的一端设置有限位块。
[0009]本技术技术方案的进一步改进在于：所述转动壳体的顶部固定连接有活动杆，所述活动杆包括固定杆和连接杆，所述固定杆的顶部开设有活动腔，所述活动腔的内壁活动连接有连接杆。
[0010]本技术技术方案的进一步改进在于：所述活动腔的内壁底部固定连接有弹
簧，所述弹簧的顶部与连接杆的底部固定连接，所述连接杆的顶部固定连接有晶片固定器，所述晶片固定器远离连接杆的一侧均开设有固定槽。
[0011]本技术技术方案的进一步改进在于：所述镀膜柜的右侧设置有储气瓶，所述储气瓶的左侧设置有第一流通管、第二流通管，所述第一流通管、第二流通管远离储气瓶的左右两端分别与镀膜柜和储气瓶相贯通。
[0012]本技术技术方案的进一步改进在于：所述第一流通管上设置有第一阀门和真空泵，所述第二流通管上设置有第二阀门和增压泵，所述第一阀门位于真空泵左侧，所述第二阀门位于增压泵右侧，所述空气感应装置与第一阀门信号连接。
[0013]本技术技术方案的进一步改进在于：所述活动槽的内壁左右两侧均设置有滑动槽，所述滑动槽的内壁均滑动连接有滑动块，所述滑动块远离滑动槽的一侧固定连接有滑动密封板。
[0014]本技术技术方案的进一步改进在于：所述工作柜的内壁底部设置有清洁装置，所述清洁装置的顶部设置有风管，所述风管延伸于活动槽的内部，所阿虎清洁装置的左侧通过设置的滑槽滑动连接有过滤网，所述过滤网的后方设置有负压风机，所述清洁装置的背面开设有通风槽。
[0015]由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
[0016]1、本技术提供一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，通过设计精妙，采用转动器与镀膜柜结合，方便在石英晶片镀膜完成后进行翻面，进行第二面的镀膜，同时通过活动杆和弹簧组合设置，使在动过程中石英晶片能够保持稳定，为镀膜工作提供了便利。
[0017]2、本技术提供一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，通过采用空气感应装置与第一阀门组合设置，可以对镀膜环境内的真空状态进行感应，真空泵可对镀膜柜内进行空气的抽取，当空气感应装置监测镀膜柜内的真空环境达到一定数值时，即可控制第一阀门关闭，使电镀装置也能够在最佳的环境中对石英晶片进行镀膜。提高了镀膜工作的效率。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为本技术左侧结构示意图；
[0020]图3为本技术石英晶片固定器结构示意图；
[0021]图4为本技术储气瓶结构示意图；
[0022]图5为本技术的清洁装置剖面结构示意图。
[0023]图中：1、镀膜柜；101、电镀器；102、空气感应装置；2、工作柜；3、活动槽；301、滑动槽；302、滑动块；303、滑动密封板；4、圆形槽；5、转动壳体；6、转动器；7、限位块；8、活动杆；801、固定杆；802、连接杆；9、活动腔；10、弹簧；11、晶片固定器；12、固定槽；13、储气瓶；14、第一流通管；15、第二流通管；16、第一阀门；17、真空泵；18、第二阀门；19、增压泵；20、清洁装置；21、风管；22、负压风机；23、过滤网；24、通风槽。
具体实施方式
[0024]下面结合实施例对本技术做进一步详细说明：
[0025]实施例1
[0026]如图1
‑
图5所示，本技术提供了一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，包括镀膜柜1和工作柜2，镀膜柜1的下方设置有工作柜2，镀膜柜1内进行石英晶片的镀膜工作，工作柜2的作用是进行清洁装置20的放置，镀膜柜1通过设置的活动槽3与工作柜2相贯通，以便于在镀膜完成之前对镀膜柜1内进行清洁，避免有异物灰尘存在与镀膜柜1内从而影响镀膜柜1的镀膜工作，镀膜柜1的顶部设置有电镀器101和空气感应装置102，镀膜柜1的内壁左右两侧均开设有圆形槽4，圆形槽4的内壁均活动连接有转动壳体5，转动壳体5的底部均固定连接有转动器6，转动器6贯穿于圆形槽4延伸于镀膜柜1的外侧，转动器6远离圆形槽4的一端设置有限位块7，转动壳体5的顶部固定连接有活动杆8，活动杆8包括固定杆801和连接杆802，固定杆801的顶部开设有活动腔9，活动腔9的内壁活动连接有连接杆802，活动腔9的内壁底部固定连接有弹簧10，弹簧10的顶部与连接杆802的底部固定连接，连接杆802的顶部固定连接有晶片固定器11，晶片固定器11远离连接杆802的一侧均开设有固定槽12，当石英晶片即将进行镀膜时，控制晶片固定器11，使弹簧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，包括镀膜柜(1)和工作柜(2)，其特征在于：所述镀膜柜(1)的下方设置有工作柜(2)，所述镀膜柜(1)通过设置的活动槽(3)与工作柜(2)相贯通，所述镀膜柜(1)的顶部设置有电镀器(101)和空气感应装置(102)，所述镀膜柜(1)的内壁左右两侧均开设有圆形槽(4)，所述圆形槽(4)的内壁均活动连接有转动壳体(5)，所述转动壳体(5)的底部均固定连接有转动器(6)，所述转动器(6)贯穿于圆形槽(4)延伸于镀膜柜(1)的外侧，所述转动器(6)远离圆形槽(4)的一端设置有限位块(7)。2.根据权利要求1所述的一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，其特征在于：所述转动壳体(5)的顶部固定连接有活动杆(8)，所述活动杆(8)包括固定杆(801)和连接杆(802)，所述固定杆(801)的顶部开设有活动腔(9)，所述活动腔(9)的内壁活动连接有连接杆(802)。3.根据权利要求2所述的一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，其特征在于：所述活动腔(9)的内壁底部固定连接有弹簧(10)，所述弹簧(10)的顶部与连接杆(802)的底部固定连接，所述连接杆(802)的顶部固定连接有晶片固定器(11)，所述晶片固定器(11)远离连接杆(802)的一侧均开设有固定槽(12)。4.根据权利要求1所述的一种石英片加工镀膜机的镀膜机构，其特征在于：所述镀膜柜(1)的右侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：王长征，尹佐水，王磊，
申请(专利权)人：山东宇峰维创电子有限公司，
类型：新型
国别省市：